¿Por qué EFU necesita un filtro químico adecuado?

La EFU (Unidad de filtro de ventilador de equipo) generalmente se instala dentro del equipo o en un área local del equipo para proporcionar suministro de aire limpio al área de transferencia de obleas, la estación de inspección óptica y la posición de ensamblaje de precisión. Su configuración estándar es un ventilador más filtro de partículas, el cual se encarga de controlar las partículas en el aire.

Sin embargo, el filtro de partículas no puede soportar la contaminación gaseosa dentro del equipo. Obleas, lentes ópticas, sensores, superficies metálicas de precisión: estos objetos sensibles no sólo temen a las partículas, sino que también pueden temer a ciertos gases. Los gases ácidos pueden corroer los circuitos metálicos, los gases alcalinos pueden afectar el fotoprotector y los vapores orgánicos pueden formar una fina película en la superficie. Si la EFU solo controla partículas, estos gases ingresarán al equipo con el aire de suministro y causarán efectos adversos en ubicaciones críticas. Para diferencias específicas, consulte Discusión de la diferencia entre filtros químicos y filtros HEPA .

¿De dónde proviene la contaminación gaseosa al final del equipo?

En la zona atendida por EFU, la contaminación gaseosa puede provenir de varias direcciones.

Liberación de material dentro del dispositivo. Los sellos, lubricantes, cables, piezas estructurales de plástico y adhesivos pueden liberar trazas de materia orgánica a temperaturas de funcionamiento. Estas emisiones no suelen ser en concentraciones elevadas, pero el espacio interno del equipo está cerrado y los contaminantes son fáciles de acumular. Para métodos de investigación específicos, consulte si se debe realizar un muestreo de aire antes de elegir un filtro químico . Analice

Liberación del proceso. Algunos procesos generan o utilizan inherentemente sustancias gaseosas. Por ejemplo, el proceso de fotolitografía puede implicar componentes alcalinos y el proceso de limpieza puede utilizar disolventes orgánicos. Si estas sustancias se difunden dentro del equipo, el suministro de aire de la EFU puede llevarlas a áreas sensibles.

entrada externa. La entrada de aire a la EFU puede provenir del ambiente de la sala limpia alrededor del equipo o puede introducirse desde el exterior a través de tuberías. Si existe contaminación gaseosa en la propia sala limpia, o si existen fuentes de emisión cerca de la salida de aire fresco, la entrada externa también afectará al interior del equipo.

Operaciones de mantenimiento del personal. Al reemplazar materiales, limpiar equipos y realizar operaciones de mantenimiento, se puede introducir o generar contaminación gaseosa durante un corto período de tiempo.

Sólo aclarando estas fuentes podremos determinar si la EFU necesita una sección de filtro químico y dónde debe colocarse la sección de filtro. Para una configuración específica, consulte Discusión sobre por qué MAU necesita configurar la sección de filtración química .

Selección alrededor de objetos de protección del dispositivo

El hecho de que la EFU esté equipada con un filtro químico depende de los objetos sensibles que se encuentren dentro del dispositivo.

Equipos semiconductores. Durante el transporte, almacenamiento y procesamiento de obleas, la superficie puede verse afectada por contaminación gaseosa. Los gases ácidos, los gases alcalinos, los vapores orgánicos y los dopantes pueden causar problemas en diferentes procesos. El equipo está equipado con una sección de filtración química, que puede reducir la concentración de gas objetivo en el entorno local.

Equipos de inspección óptica. Si se deposita materia orgánica o componentes corrosivos en las superficies de lentes, filtros y sensores fotoeléctricos, la transmisión de luz o la precisión de la detección pueden verse afectadas. EFU que apoya la filtración química puede hacer frente a este tipo de contaminación gaseosa.

Equipos de montaje de precisión. Algunos contactos metálicos y mecanismos de precisión son sensibles a los gases corrosivos. La contaminación gaseosa dentro del dispositivo puede provocar cambios en la resistencia de contacto u oxidación de la superficie.

No todas las EFU requieren filtros químicos. Si no hay fuentes de contaminación gaseosa dentro del equipo y la entrada externa está bien controlada, solo la sección del filtro de partículas puede cumplir con los requisitos. La configuración depende de la sensibilidad del equipo, la fuente de contaminación y los datos de detección reales.

Estructura y ventilador a juego

El espacio del lado del dispositivo suele ser reducido. Al instalar una sección de filtración química en la EFU, se deben verificar varias condiciones.

Espacio de instalación. La altura, profundidad y ancho disponibles dentro de la EFU son limitados. El espesor, la forma y la interfaz de la sección de filtración química deben coincidir con la estructura de la EFU. La EFU ultrafina está equipada con una capa de filtro químico, que puede requerir un diseño especial. Consulte la estructura específica. Debate sobre si las EFU ultrafinas también pueden equiparse con una capa de filtro químico .

Resistencia y margen del abanico. Las secciones de filtración química aumentan la resistencia del sistema. Es necesario calcular si el ventilador EFU puede mantener el volumen de aire objetivo en función del punto de trabajo después de agregar resistencia. Si el margen es insuficiente, puede ser necesario ajustar la configuración del ventilador u optimizar la estructura de la sección del filtro. Para métodos de contabilidad específicos, consulte Discusión sobre cuánto aumentará la resistencia adicional del filtro químico el consumo de electricidad del ventilador .

Sellar y bypass. El espacio EFU en el lado del equipo es compacto y la estructura de sellado debe ser confiable. La derivación del marco permite que el aire no tratado evite el material del filtro, lo que afecta la concentración de salida. Para métodos de inspección específicos, consulte Discusión sobre cómo verificar la derivación del marco después de la instalación del filtro químico .

Mantener el camino. La sección del filtro químico puede tener un ciclo de reemplazo diferente al del filtro de partículas. El espacio interno del equipo es limitado y el espacio de operación y la ruta de desmontaje y montaje para el reemplazo del elemento filtrante deben confirmarse durante la etapa de diseño. involucrando La solución general, la interfaz y el método de mantenimiento de la unidad de filtrado del ventilador en el extremo del equipo EFU deben verificarse juntos durante la etapa de planificación.

Orden y coordinación de segmentos de filtro

Cuando hay una sección de filtración de partículas y una sección de filtración química en la EFU, es necesario confirmar el pedido.

Una secuencia común es la sección de filtración química antes de la sección de filtración de partículas. De esta manera, la sección del filtro de partículas puede interceptar trazas de polvo que pueden generarse por medios químicos y proteger la calidad del suministro de aire del terminal. Pero este orden no es absoluto. Si el medio químico es sensible al polvo, las partículas también se pueden prefiltrar primero y luego pasar por la sección de filtración química.

Se debe confirmar la pérdida de polvo y la desgasificación de los medios químicos. Algunos materiales de filtrado químicos pueden generar polvo o liberar trazas de componentes durante el funcionamiento. Si la sección de químicos se coloca después del filtro de partículas, esta parte del polvo entrará directamente al interior del equipo. Al seleccionar, confirme la compatibilidad limpia de los medios. Para métodos de verificación específicos, consulte Discusión sobre cómo verificar los requisitos de baja desgasificación de ULPA .

Ambas propiedades se verifican por separado. La eficacia y estanqueidad del filtro de partículas se confirman según las normas correspondientes; la concentración de salida de gas objetivo de la sección de filtración química se prueba de forma independiente. No se puede hacer sólo un tipo de prueba. Para métodos de muestreo específicos, consulte Discusión de puntos de muestreo para la verificación del desempeño del filtro químico .

Ejemplo de juicio de proyecto

Hay un mecanismo de transferencia de obleas dentro de cierto equipo semiconductor. Después de funcionar durante un período de tiempo, se encontraron defectos desconocidos en la superficie de algunas obleas.

Se comprobó que el control de partículas era normal. Posteriormente, se descubrió que había trazas de vapor orgánico dentro del equipo. La fuente fue el lubricante y el material de sellado dentro del equipo. Los filtros de partículas no tienen la capacidad de manejar este tipo de gas.

Plan de ajuste: Agregar una sección de filtración química para gases orgánicos en la ruta de suministro de aire del equipo EFU. Antes de la instalación, se verificó el espacio interno de la EFU, el margen del ventilador y el acceso de mantenimiento, y se seleccionó una estructura delgada de filtración química. Después de la instalación, se detectó la concentración de vapor orgánico dentro del equipo y la condición de la superficie de la oblea para confirmar que la mejora era obvia.

Este caso demuestra que la contaminación gaseosa en el extremo del equipo requiere soluciones de filtración específicas, que no pueden solucionarse con filtros de partículas. involucrando Para la configuración de la serie de productos de filtros químicos , se recomienda proporcionar al proveedor la estructura del equipo, el gas objetivo y las condiciones de funcionamiento para su verificación.

Puntos clave para la inspección de selección y aceptación.

Acerca del paquete de filtración química EFU de Aili Industrial

El núcleo del filtro químico de soporte EFU es hacer coincidir las características de contaminación, las condiciones del espacio y los objetivos de protección en el extremo del equipo, y luego seleccionar el medio y la estructura correspondientes.

Aili Industrial tiene capacidades de fabricación independientes en filtros, motores, ventiladores, sistemas de control y procesamiento de chapa metálica, y puede proporcionar series de productos de filtros químicos y equipos de suministro de aire de soporte. Para proyectos del lado del equipo, podemos ayudar a verificar la configuración y la interfaz de la sección de filtración química según la estructura del equipo, el gas objetivo, el volumen de aire y los requisitos de mantenimiento. Cuando el filtro se combina con EFU, FFU y otros equipos, la resistencia, los métodos de mantenimiento y los puntos de muestreo se pueden confirmar de manera uniforme.

Productos relacionados:Serie de productos de filtros químicos.、Filtro químico compatible FFU、Filtro químico de caja MAU . Proporcione la estructura del equipo, el gas objetivo y las condiciones del sistema cuando realice consultas para ayudar a confirmar la solución de filtración adecuada. La selección específica está sujeta a los documentos técnicos y a los resultados de las pruebas confirmados por el proyecto.