Почему EFU нужен соответствующий химический фильтр?

EFU (блок фильтра вентилятора оборудования) обычно устанавливается внутри оборудования или в локальной зоне оборудования для обеспечения подачи чистого воздуха в зону передачи пластин, станцию ​​оптического контроля и позицию точной сборки. Его стандартная конфигурация представляет собой вентилятор и сажевый фильтр, который отвечает за контроль твердых частиц в воздухе.

Однако фильтр твердых частиц не может справиться с газообразными загрязнениями внутри оборудования. Пластины, оптические линзы, датчики, прецизионные металлические поверхности — эти чувствительные объекты боятся не только частиц, но и некоторых газов. Кислые газы могут разъедать металлические схемы, щелочные газы могут воздействовать на фоторезист, а пары органических веществ могут образовывать тонкую пленку на поверхности. Если EFU контролирует только частицы, эти газы попадут в оборудование вместе с приточным воздухом и окажут вредное воздействие в критических местах. Конкретные различия см. Обсуждение разницы между химическими фильтрами и фильтрами HEPA .

Откуда берутся газовые загрязнения на конце оборудования?

На территории, обслуживаемой ЭФУ, газовое загрязнение может поступать с нескольких направлений.

Выброс материала внутри устройства. Уплотнения, смазочные материалы, кабели, пластиковые детали конструкций и клеи могут выделять следовые количества органических веществ при рабочих температурах. Эти выбросы обычно не имеют высоких концентраций, но внутреннее пространство оборудования закрыто и загрязняющие вещества легко накапливаются. Конкретные методы расследования см. следует ли проводить отбор проб воздуха перед выбором химического фильтра . Обсудите,

Процесс релиза. Некоторые процессы по своей сути генерируют или используют газообразные вещества. Например, в процессе фотолитографии могут использоваться щелочные компоненты, а в процессе очистки могут использоваться органические растворители. Если эти вещества диффундируют внутри оборудования, подача воздуха EFU может привести к попаданию их в чувствительные зоны.

внешний вход. Воздух, поступающий в EFU, может поступать из чистого помещения вокруг оборудования или может быть введен снаружи через трубопроводы. Если в самом чистом помещении есть газообразное загрязнение или рядом с выходом свежего воздуха есть источники выбросов, внешний вход также повлияет на внутреннюю часть оборудования.

Операции по обслуживанию персонала. При замене материалов, очистке оборудования и выполнении работ по техническому обслуживанию на короткий период времени могут попадать или образовываться газообразные загрязнения.

Только уточнив эти источники, мы сможем определить, нужна ли ЭФУ секция химического фильтра и где ее следует разместить. Конкретную конфигурацию см. Дискуссия о том, почему МАУ необходимо настроить секцию химической фильтрации .

Выбор объектов защиты устройства

Оснащен ли ЭФУ химическим фильтром, зависит от чувствительных объектов внутри оборудования.

Полупроводниковое оборудование. При транспортировке, хранении и обработке пластин на поверхность может воздействовать газовое загрязнение. Кислые газы, щелочные газы, органические пары и легирующие примеси могут вызывать проблемы в различных процессах. Оборудование оснащено секцией химической фильтрации, позволяющей снизить целевую концентрацию газа в окружающей среде.

Оборудование оптического контроля. Если органические вещества или коррозионные компоненты откладываются на поверхностях линз, фильтров и фотоэлектрических датчиков, это может повлиять на пропускание света или точность обнаружения. EFU, поддерживающий химическую фильтрацию, может справиться с этим типом газовых загрязнений.

Прецизионное сборочное оборудование. Некоторые металлические контакты и прецизионные механизмы чувствительны к агрессивным газам. Газовое загрязнение внутри устройства может привести к изменению контактного сопротивления или окислению поверхности.

Не для всех ЭФУ требуются химические фильтры. Если внутри оборудования нет источников газообразных загрязнений и внешний вход хорошо контролируется, требованиям может соответствовать только секция фильтра твердых частиц. Настраивать ли его, зависит от чувствительности оборудования, источника загрязнения и фактических данных обнаружения.

Соответствующая структура и вентилятор

Пространство на стороне устройства часто ограничено. При установке секции химической фильтрации в ЭФУ необходимо проверить несколько условий.

Место для установки. Доступная высота, глубина и ширина внутри EFU ограничены. Толщина, форма и интерфейс секции химической фильтрации должны соответствовать структуре ЭФУ. Ультратонкий ЭФУ оснащен слоем химического фильтра, который может потребовать специальной конструкции. Пожалуйста, обратитесь к конкретной структуре Дискуссия о том , можно ли оснастить ультратонкие ЭФУ еще и химическим фильтрующим слоем .

Сопротивление и запас вентилятора. Секции химической фильтрации повышают устойчивость системы. Сможет ли вентилятор EFU поддерживать целевой объем воздуха, необходимо рассчитать на основе рабочей точки после добавления сопротивления. Если запаса недостаточно, возможно, потребуется отрегулировать конфигурацию вентилятора или оптимизировать структуру секции фильтра. Конкретные методы учета см. Обсуждение того, насколько добавленное сопротивление химического фильтра увеличит потребление электроэнергии вентилятором .

Загерметизировать и обойти. Пространство ЭФУ со стороны оборудования компактно, а уплотнительная конструкция должна быть надежной. Обход рамы позволяет неочищенному воздуху обходить фильтрующий материал, влияя на концентрацию на выходе. Конкретные методы проверки см. Обсуждение того , как проверить байпас рамы после установки химического фильтра .

Поддерживать путь. Секция химического фильтра может иметь другой цикл замены, чем сажевый фильтр. Внутреннее пространство оборудования ограничено, а рабочее пространство, а также путь разборки и сборки для замены фильтрующего элемента должны быть подтверждены на этапе проектирования. с участием Общее решение, интерфейс и метод обслуживания вентиляторного фильтра на стороне оборудования EFU должны быть проверены вместе на этапе планирования.

Порядок и координация сегментов фильтра

Если в EFU имеется как секция фильтрации частиц, так и секция химической фильтрации, заказ необходимо подтвердить.

Обычной последовательностью является секция химической фильтрации перед секцией фильтрации частиц. Таким образом, секция противосажевого фильтра может улавливать следы пыли, которые могут образовываться химическими средами, и сохранять качество приточного воздуха. Но этот порядок не абсолютен. Если химическая среда чувствительна к пыли, частицы также можно сначала предварительно отфильтровать, а затем пройти через секцию химической фильтрации.

Потери порошка и газовыделение химических сред должны быть подтверждены. Некоторые химические фильтрующие материалы могут образовывать пыль или выделять следовые компоненты во время работы. Если химическая секция расположена после фильтра твердых частиц, эта часть пыли попадет непосредственно внутрь оборудования. При выборе подтвердите чистую совместимость носителя. Конкретные методы проверки см. Обсуждение того, как проверить требования ULPA по низкому выделению газов .

Оба свойства проверяются отдельно. Эффективность и герметичность противосажевого фильтра подтверждены соответствующими стандартами; целевая концентрация газа на выходе из секции химической фильтрации проверяется независимо. Вы не можете просто провести один тип тестирования. Конкретные методы отбора проб см. Обсуждение точек отбора проб для проверки работоспособности химических фильтров .

Пример оценки проекта

Внутри определенного полупроводникового оборудования имеется механизм переноса пластин. Спустя некоторое время на поверхности некоторых пластин были обнаружены неизвестные дефекты.

Контроль частиц был проверен и оказался в норме. Позже выяснилось, что внутри оборудования находились следы органических паров. Источником стала смазка и уплотнительный материал внутри оборудования. Фильтры твердых частиц не способны обрабатывать этот тип газа.

План корректировки: Добавить секцию химической фильтрации органических газов на тракте подачи воздуха ЭФУ оборудования. Перед установкой было проверено внутреннее пространство ЭФУ, запасы вентилятора и доступ для обслуживания, а также выбрана тонкая структура химической фильтрации. После установки были определены концентрация органических паров внутри оборудования и состояние поверхности пластин, что подтвердило очевидность улучшения.

Этот случай показывает, что газовое загрязнение на стороне оборудования требует целенаправленных решений по фильтрации, с которыми невозможно справиться с помощью фильтров твердых частиц. с участием Для настройки серии химических фильтров рекомендуется предоставить поставщику для проверки структуру оборудования, целевой газ и условия эксплуатации.

Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле

О пакете химической фильтрации EFU от Aili Industrial

Суть вспомогательного химического фильтра EFU заключается в том, чтобы согласовать характеристики конечного загрязнения оборудования, условия пространства и цели защиты, а затем выбрать подходящую среду и структуру.

Aili Industrial имеет независимые производственные мощности по производству фильтров, двигателей, вентиляторов, систем управления и обработки листового металла, а также может предоставить серию продуктов для химических фильтров и вспомогательное оборудование для подачи воздуха. В проектах, связанных с оборудованием, мы можем помочь в проверке конфигурации и интерфейса секции химической фильтрации с учетом конструкции оборудования, целевого газа, объема воздуха и требований к техническому обслуживанию. Когда фильтр сочетается с EFU, FFU и другим оборудованием, можно единообразно подтвердить сопротивление, методы обслуживания и точки отбора проб.

Сопутствующие товары:Серия химических фильтров、Химический фильтр, соответствующий FFU、Химический фильтр коробки МАУ . При запросе предоставьте структуру оборудования, целевой газ и состояние системы, чтобы помочь подтвердить подходящее решение по фильтрации. Конкретный выбор зависит от технической документации и результатов испытаний, подтвержденных проектом.