Quelles exigences en matière d'environnement de processus doivent être collectées pour le boîtier de climatisation d'une usine propre de semi-conducteurs ?

Les exigences relatives aux boîtes de climatisation d'usine propres à semi-conducteurs doivent être collectées à partir de la matrice de l'environnement du processus, y compris la température et l'humidité, le contrôle de la pollution particulaire et moléculaire, le zonage de l'espace, la continuité des opérations et les conditions d'interface. Vous ne pouvez pas donner un niveau de propreté unifié ou une configuration d'unité basée sur les mots « atelier de semi-conducteurs ».

Remplissez les exigences par domaine de processus au lieu du nom de l'usine

Les tâches environnementales dans des domaines tels que la photolithographie, le nettoyage, l'inspection et la maintenance des équipements peuvent être différentes, et les objets sensibles et les valeurs de contrôle doivent être confirmés par la partie concernée. Distinguez ensuite l'environnement de fond du bâtiment de l'usine, le micro-environnement local et les conditions internes de l'équipement pour déterminer quelles tâches appartiennent au boîtier de climatisation et quelles tâches sont entreprises par le terminal ou l'équipement lui-même, afin d'éviter des achats répétés ou de laisser des lacunes de contrôle.

La matrice environnementale doit noter les objectifs régionaux, les points de mesure et l'état de production applicable ; les données sur la pollution doivent indiquer les sources et les limites des particules et des polluants gazeux cibles ; l'interface d'exploitation doit noter les quarts de travail, les stratégies de sauvegarde, les conditions d'approvisionnement en énergie et les connexions de contrôle. Les trois types d'informations correspondent à des majors différentes et ne peuvent être résumées par un seul tableau de paramètres de pièce. Comment les tâches d'air frais de la salle blanche MAU correspondent à l'air évacué du processus, veuillez vous référer àComment la tâche d’air frais de la salle blanche MAU correspond-elle à l’échappement du processus ?。

Les exigences de température et d'humidité doivent être écrites au point de mesure et aux fluctuations admissibles

Les processus de semi-conducteurs ont généralement des exigences claires en matière de température et d'humidité, mais les objectifs de contrôle, l'emplacement des points de mesure et les fluctuations admissibles peuvent être différents selon les zones. Lors de la collecte, il convient de distinguer la température et l'humidité de fond du bâtiment de l'usine, la température et l'humidité des zones locales et les conditions internes de l'équipement, ainsi que l'emplacement des points de mesure, la période d'évaluation et les écarts admissibles. La seule écriture d'une plage de température et d'une plage d'humidité rend impossible la détermination de la manière dont l'unité doit être configurée.

Pour la composition cible de contrôle du projet de température et d'humidité constantes, veuillez vous référer àQuels objectifs de contrôle faut-il clarifier lors de la sélection d’un caisson de climatisation à température et humidité constantes ? . Comment écrire la fluctuation autorisée dans les exigences techniques, veuillez vous référer àComment les fluctuations admissibles des unités de température et d'humidité constantes doivent-elles être inscrites dans les exigences techniques ? . Pour connaître la différence entre la précision de l'alimentation en air et la précision de la pièce, veuillez vous référer àQuelle est la différence entre la précision de l’alimentation en air du boîtier de climatisation et la précision du contrôle de la pièce ?。

Les contaminations particulaires et moléculaires sont collectées séparément

Les exigences en matière de contrôle des particules sont généralement exprimées en termes de niveau de propreté, de taille des particules et de points de mesure ; les exigences en matière de lutte contre la pollution moléculaire s'expriment en termes de gaz cibles, de limites de concentration et de méthodes de détection. Les deux types d’exigences correspondent à des configurations de filtrage différentes et ne peuvent se remplacer. Les contaminants moléculaires courants dans les projets de semi-conducteurs comprennent les gaz acides, les gaz alcalins, les composants organiques et les substances dopantes spécifiques, qui doivent être répertoriés séparément par domaine de processus.

Pour connaître la différence entre le traitement des particules et celui des gaz, veuillez vous référer àA quoi servent respectivement le filtre chimique et le filtre à particules du caisson de climatisation ? . Pour la sensibilité de la zone de photolithographie aux gaz alcalins, veuillez vous référer àComment déterminer l’objectif de filtration lorsque la résine photosensible est sensible aux gaz alcalins ? . La filtration des particules terminales peut être combinée avecConfirmation du filtre HEPA/ULPA , la filtration chimique peut être consultéeSolutions de filtration chimique .

Le cloisonnement spatial et la continuité opérationnelle ont un impact sur l’architecture du système

Les usines de semi-conducteurs ont généralement de grandes surfaces et de nombreuses zones, et différentes zones peuvent avoir des équipes de production et des exigences de nettoyage différentes. Lors de la collecte, les limites de service, les chemins d'air de retour, les relations d'échappement et les exigences de différence de pression pour les zones adjacentes de chaque zone doivent être clarifiées. Comment assurer l'alimentation en air des différentes zones d'un atelier de grande surface ? Veuillez vous référer àComment le panneau de climatisation de l'atelier gère-t-il les zones d'alimentation en air de grande surface ?。

En termes de continuité opérationnelle, il est nécessaire de comprendre les exigences de fonctionnement dans des conditions normales de production, d'arrêt et de maintenance, de maintenance et dans des conditions anormales, ainsi que les stratégies de sauvegarde. La production de semi-conducteurs impose des exigences élevées en matière de fonctionnement continu. Les dispositions de secours pour les unités et les composants clés doivent être expliquées au stade de la demande plutôt que d'être envisagées après l'arrivée de l'équipement sur site.

Les conditions d’interface et les exigences côté appareil doivent être rassemblées

La relation d'interface entre le boîtier de climatisation et le FFU, l'EFU, le serpentin sec, la section de filtration chimique et le filtre terminal à haute efficacité doit être expliquée au stade de la demande. Le micro-environnement côté équipement peut avoir des exigences indépendantes en matière de température, d'humidité et de propreté, qui ne peuvent pas toutes être supportées par le boîtier de climatisation de l'usine. L'eau, l'électricité, la vapeur, les interfaces de contrôle et les accès de maintenance doivent également être collectés ensemble.

Pour les packages de filtrage côté équipement, veuillez vous référer àComment la filtration chimique des entrées d’air EFEM répond-elle aux exigences de propreté des équipements ? etQuelles données de terrain sont nécessaires pour la filtration chimique de l’entrée d’air des équipements de lithographie ? . Le pack d’alimentation en air pur peut être combinéUnité de filtre de ventilateur FFU etl'unité de filtre du ventilateur du côté de l'équipement EFU .Vérifiez

De la matrice de demande aux conditions techniques unitaires

Faites correspondre chaque demande au volume d'air, à l'état de traitement, à la division de filtration et aux données livrables, puis confirmez la relation entre chaque unité grâce à la conception du système. Sans preuves de projet, les autres paramètres d'usine ne doivent pas être considérés comme des normes universelles, et l'amélioration du rendement de la ligne de production ne peut pas non plus être déduite sur la seule base de la configuration de l'unité.

Les exigences en matière de volume d'air, de pression, de température, d'humidité et de contrôle de la pollution dans la matrice de demande seront finalement converties en configurations de segments fonctionnels et en points de fonctionnement des ventilateurs. L'ordre des segments de fonction peut être consultéSur quelle base doit-on déterminer l'enchaînement des sections fonctionnelles du boîtier de climatisation ? , le calibre de pression peut être référencé àQuelle est la différence entre la pression statique, la pression totale et la pression statique à l’extérieur du boîtier du climatiseur ?。

Équipement de support industriel Aili

Aili Industrial peut participer à la vérification des paramètres autour des boîtiers de climatisation, des FFU, des EFU et des packages de filtration ; l'intégration de la matrice de l'environnement régional lors de la communication aidera à relier le traitement centralisé aux besoins en matière d'équipement. L'activité de fabrication industrielle d'Aili couvre la R&D indépendante et la production de moteurs et de ventilateurs, de systèmes de contrôle, de tôles, de filtres à air et d'assemblages complets de machines. Les boîtiers de climatisation, les FFU, les EFU et les produits de filtration peuvent être vérifiés dans le même emballage pour les interfaces et les conditions de fonctionnement ; les structures non standard peuvent être ajustées en fonction du zonage de l'usine et des conditions de transport.

Le formulaire du produit peut être consultéCentrale de traitement d'air etde la boîte des fans ; Page le pack d'alimentation en air propre peut être combinéUnité de filtre de ventilateur FFU etde l'unité de filtre de ventilateur d'extrémité d'équipement EFU ; Vérification la filtration des particules terminales peut être combinéedu filtre HEPA/ULPA ; Confirmation en matière de lutte contre la pollution gazeuse, vous pouvez communiquer séparémentSolutions de filtration chimique . Les exigences environnementales spécifiques, les effets de filtration et le contenu de la livraison doivent encore être vérifiés sur la base des données de configuration correspondantes et des conditions de travail sur site. Les résultats réels sont soumis aux résultats de la détection des fuites sur site, des tests de particules et de la détection de gaz.

Soumettre les paramètres du projet :https://ailigy.com/contactus.html

Questions et réponses connexes

Est-il possible de compléter la sélection des boîtiers de climatisation semi-conducteurs en inscrivant uniquement le niveau de propreté et la température et l'humidité ?
pas assez. Des cibles de pollution moléculaire, des cloisons spatiales, une continuité opérationnelle, des relations d'échappement et des conditions d'interface côté équipement sont également nécessaires, sinon la configuration est facile à manquer.

Les exigences en matière de contamination moléculaire des usines de semi-conducteurs peuvent-elles être spécifiées de manière uniforme ?
Il n’est pas approprié de prévoir des réglementations uniformes. Les ingrédients et les limites préoccupantes dans les différents domaines de processus sont différents et doivent être collectés et vérifiés séparément par domaine.

Aili Industrial peut-il aider à répondre aux exigences environnementales des projets de semi-conducteurs ?
L'adéquation du boîtier de climatisation, du FFU, de l'EFU et de la filtration peut être vérifiée sur la base de la matrice environnementale régionale. La configuration spécifique doit être confirmée en fonction des conditions de processus du projet et des données sur site.

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Points clés pour le contrôle de sélection et de réception