¿Qué requisitos del entorno de proceso deben recopilarse para la caja de aire acondicionado de una fábrica limpia de semiconductores?

Los requisitos de las cajas de aire acondicionado de fábrica limpias de semiconductores deben recopilarse de la matriz del entorno del proceso, incluida la temperatura y la humedad, el control de la contaminación molecular y de partículas, la zonificación del espacio, la continuidad de la operación y las condiciones de la interfaz. No se puede dar un nivel de limpieza unificado o una configuración de unidad basada en las palabras 'taller de semiconductores'.

Complete los requisitos por área de proceso en lugar de nombre de planta

Las tareas ambientales en áreas como fotolitografía, limpieza, inspección y mantenimiento de equipos pueden ser diferentes, y la parte del proceso debe confirmar los objetos sensibles y los valores de control. Luego, distinga el entorno de fondo del edificio de la fábrica, el microambiente local y las condiciones internas del equipo para determinar qué tareas pertenecen a la caja de aire acondicionado y qué tareas realiza la terminal o el propio equipo, a fin de evitar compras repetidas o dejar lagunas de control.

La matriz ambiental deberá anotar los objetivos regionales, puntos de medición y estado de producción aplicable; los datos sobre contaminación deberían anotar las fuentes y los límites de partículas y centrarse en los contaminantes gaseosos; la interfaz de operación debe anotar los turnos, estrategias de respaldo, condiciones de suministro de energía y conexiones de control. Los tres tipos de información corresponden a diferentes especialidades y no se pueden resumir en una sola tabla de parámetros de habitación. Cómo se corresponden las tareas de aire fresco de la sala limpia MAU con el aire de escape del proceso, consulte¿Cómo se corresponde la tarea de aire fresco de la sala blanca MAU con el escape del proceso?。

Los requisitos de temperatura y humedad deben escribirse en el punto de medición y las fluctuaciones permitidas.

Los procesos de semiconductores suelen tener requisitos claros de temperatura y humedad, pero los objetivos de control, las ubicaciones de los puntos de medición y las fluctuaciones permitidas pueden ser diferentes en diferentes áreas. Al recolectar, se debe distinguir la temperatura y humedad de fondo del edificio de la fábrica, la temperatura y humedad de las áreas locales y las condiciones internas del equipo, y se debe anotar la ubicación de los puntos de medición, el período de evaluación y las desviaciones permitidas. Sólo escribir un rango de temperatura y un rango de humedad hace imposible determinar cómo se debe configurar la unidad.

Para conocer la composición objetivo de control del proyecto de temperatura y humedad constantes, consulte¿Qué objetivos de control se deben aclarar a la hora de seleccionar un cuadro de aire acondicionado con temperatura y humedad constantes? . Cómo escribir la fluctuación permitida en los requisitos técnicos, consulte¿Cómo deberían escribirse en los requisitos técnicos las fluctuaciones permitidas de unidades de temperatura y humedad constantes? . Para conocer la diferencia entre la precisión del suministro de aire y la precisión de la habitación, consulte¿Cuál es la diferencia entre la precisión del suministro de aire de la caja de aire acondicionado y la precisión del control de la habitación?。

La contaminación de partículas y molecular se recoge por separado.

Los requisitos de control de partículas suelen expresarse en términos de nivel de limpieza, tamaño de partículas y puntos de medición; Los requisitos de control de la contaminación molecular se expresan en términos de gases objetivo, límites de concentración y métodos de detección. Los dos tipos de requisitos corresponden a diferentes configuraciones de filtrado y no pueden reemplazarse entre sí. Los contaminantes moleculares comunes en proyectos de semiconductores incluyen gases ácidos, gases alcalinos, componentes orgánicos y sustancias dopantes específicas, que deben enumerarse por separado por área de proceso.

Para conocer la diferencia entre el procesamiento de partículas y gases, consulte¿De qué tratan respectivamente el filtro químico y el filtro de partículas de la caja del aire acondicionado? . Para conocer la sensibilidad del área de fotolitografía al gas alcalino, consulte¿Cómo se debe determinar el objetivo de filtración cuando el fotorresistente es sensible a los gases alcalinos? . La filtración de partículas terminales se puede combinar conConfirmación del filtro HEPA/ULPA , se puede ver la filtración químicaSoluciones de filtrado químico .

La partición espacial y la continuidad operativa impactan la arquitectura del sistema.

Las fábricas de semiconductores suelen tener grandes áreas y muchas zonas, y diferentes áreas pueden tener diferentes turnos de producción y requisitos de limpieza. Al recolectar, se deben aclarar los límites del servicio, las rutas de retorno del aire, las relaciones de escape y los requisitos de diferencia de presión para las áreas adyacentes de cada área. ¿Cómo proporcionar suministro de aire en diferentes zonas en un taller de gran superficie? Por favor consulte¿Cómo se comporta el panel de visualización de la caja de aire acondicionado en el taller con zonas de suministro de aire de gran superficie?。

En términos de continuidad operativa, es necesario comprender los requisitos operativos en condiciones normales de producción, parada y mantenimiento, mantenimiento y condiciones anormales, así como las estrategias de respaldo. La producción de semiconductores tiene altos requisitos de funcionamiento continuo. Los arreglos de respaldo para unidades y componentes clave deben explicarse en la etapa de demanda en lugar de considerarlos después de que el equipo llegue al sitio.

Las condiciones de la interfaz y los requisitos del lado del dispositivo deben recopilarse juntos.

La relación de interfaz entre la caja de aire acondicionado y FFU, EFU, serpentín seco, sección de filtración química y filtro terminal de alta eficiencia debe explicarse en la etapa de demanda. El microambiente al final del equipo puede tener requisitos independientes de temperatura, humedad y limpieza, que no todos pueden ser soportados por la caja de aire acondicionado de la fábrica. También se deben reunir el agua, la electricidad, el vapor, las interfaces de control y los accesos de mantenimiento.

Para paquetes de filtrado del lado del equipo, consulte¿Cómo corresponde la filtración química de entrada de aire EFEM a los requisitos de limpieza del equipo? y¿Qué datos de campo se necesitan para la filtración química de la entrada de aire de los equipos de litografía? . El paquete de suministro de aire limpio se puede combinarUnidad de filtrado de ventilador FFU yla unidad de filtro del ventilador en el extremo del equipo EFU .Verifique

De la matriz de demanda a las condiciones técnicas unitarias

Corresponda cada demanda con el volumen de aire, el estado de procesamiento, la división de filtración y los datos entregables, y luego confirme la relación entre cada unidad a través del diseño del sistema. Sin evidencia del proyecto, otros parámetros de la fábrica no deben considerarse estándares universales, ni se puede inferir la mejora en el rendimiento de la línea de producción basándose únicamente en la configuración de la unidad.

Los requisitos de volumen de aire, presión, temperatura, humedad y control de la contaminación en la matriz de demanda eventualmente se convertirán en configuraciones de segmentos funcionales y puntos de operación de ventiladores. El orden de los segmentos de función se puede consultar¿Sobre qué base se debe determinar la secuencia de las secciones funcionales de la caja de aire acondicionado? , se puede hacer referencia al calibre de presión¿Cuál es la diferencia entre presión estática, presión total y presión estática fuera de la caja del aire acondicionado?。

Equipos de soporte industrial Aili

Aili Industrial puede participar en la verificación de parámetros en torno a cajas de aire acondicionado, FFU, EFU y paquetes de filtración; incorporar la matriz ambiental regional al comunicarse ayudará a conectar el procesamiento centralizado con las necesidades del lado del equipo. El sector de fabricación industrial de Aili cubre la investigación, el desarrollo y la producción independientes de motores y ventiladores, sistemas de control, chapa metálica, filtros de aire y ensamblaje completo de máquinas. Las cajas de aire acondicionado, FFU, EFU y productos de filtración se pueden verificar en el mismo paquete para interfaces y condiciones de operación; Las estructuras no estándar se pueden ajustar de acuerdo con la zonificación de la fábrica y las condiciones de transporte.

Se puede ver el formulario del producto.Unidad de tratamiento de aire ydel cuadro de fans ; Página El paquete de suministro de aire limpio se puede combinar.Unidad de filtrado de ventilador FFU yVerificación de la unidad de filtrado del ventilador del extremo del equipo EFU ; La filtración de partículas terminales se puede combinar.del filtro HEPA/ULPA ; confirmación cuando se trata de control de la contaminación gaseosa, puede comunicarse por separadoSoluciones de filtrado químico . Aún es necesario verificar los requisitos medioambientales específicos, los efectos de la filtración y el volumen de suministro en función de los datos de configuración correspondientes y las condiciones de trabajo in situ. Los resultados reales están sujetos a los resultados de la detección de fugas, pruebas de partículas y detección de gases en el sitio.

Enviar parámetros del proyecto:https://ailigy.com/contactus.html

Preguntas y respuestas relacionadas

¿Es posible completar la selección de cajas de aire acondicionado semiconductores escribiendo únicamente el nivel de limpieza y la temperatura y humedad?
no es suficiente. También se requieren objetivos de contaminación molecular, particiones espaciales, continuidad operativa, relaciones de escape y condiciones de interfaz del lado del equipo; de lo contrario, es fácil pasar por alto la configuración.

¿Se pueden especificar de manera uniforme los requisitos para la contaminación molecular de las fábricas de semiconductores?
No es apropiado establecer regulaciones uniformes. Los ingredientes y límites de preocupación en diferentes áreas de proceso son diferentes y deben recolectarse y verificarse por separado por área.

¿Puede Aili Industrial ayudar a resolver los requisitos medioambientales de los proyectos de semiconductores?
La caja de aire acondicionado, FFU, EFU y la coincidencia de filtración se pueden verificar según la matriz ambiental regional. La configuración específica debe confirmarse en función de las condiciones del proceso del proyecto y los datos del sitio.

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Puntos clave para la inspección de selección y aceptación.