Какие требования к технологической среде необходимо соблюдать для установки кондиционирования воздуха на чистом заводе по производству полупроводников?

Требования к полупроводниковому чистому заводскому блоку кондиционирования воздуха должны быть собраны из матрицы технологической среды, включая температуру и влажность, контроль частиц и молекулярного загрязнения, зонирование пространства, непрерывность работы и условия взаимодействия. На основе слов «полупроводниковый цех» нельзя дать единый уровень чистоты или комплектацию агрегата.

Заполните требования по области процесса, а не по названию завода.

Экологические задачи в таких областях, как фотолитография, очистка, проверка и обслуживание оборудования, могут быть разными, а чувствительные объекты и контрольные значения должны быть подтверждены технологической стороной. Затем различают фоновую среду производственного здания, местную микросреду и внутренние условия оборудования, чтобы определить, какие задачи относятся к блоку кондиционирования воздуха, а какие задачи выполняет терминал или само оборудование, чтобы избежать повторных покупок или возникновения пробелов в контроле.

Матрица окружающей среды должна записывать региональные цели, точки измерения и соответствующий статус производства; данные о загрязнении должны указывать источники и пределы содержания частиц и целевых газообразных загрязнителей; операционный интерфейс должен записывать смены, стратегии резервного копирования, условия энергоснабжения и связи управления. Эти три типа информации соответствуют разным основным направлениям и не могут быть сведены в одну таблицу параметров помещения. Как задачи по свежему воздуху MAU чистого помещения соотносятся с технологическим вытяжным воздухом, см.Насколько задача по свежему воздуху MAU в чистом помещении соответствует технологической вытяжке?。

Требования к температуре и влажности должны быть указаны в точке измерения и допустимых колебаниях.

В полупроводниковых процессах обычно предъявляются четкие требования к температуре и влажности, но цели контроля, расположение точек измерения и допустимые колебания могут различаться в разных областях. При сборе следует различать фоновую температуру и влажность производственного здания, температуру и влажность местных помещений и внутреннее состояние оборудования, отмечать расположение точек измерения, период оценки и допустимые отклонения. Только запись диапазона температур и диапазона влажности не позволяет определить, как следует настроить агрегат.

Для получения информации о целевом составе контроля проекта постоянной температуры и влажности см.Какие цели контроля следует уточнить при выборе кондиционера с постоянной температурой и влажностью? . Как прописать допустимое отклонение в технических требованиях, см.Как прописать в технических требованиях допустимые колебания постоянных единиц температуры и влажности? . О разнице между точностью подачи воздуха и точностью помещения см.В чем разница между точностью подачи воздуха из кондиционера и точностью управления помещением?。

Твердые и молекулярные загрязнения собираются отдельно.

Требования к контролю частиц обычно выражаются в терминах уровня чистоты, размера частиц и точек измерения; Требования по контролю молекулярного загрязнения выражены в терминах целевых газов, предельных концентраций и методов обнаружения. Два типа требований соответствуют разным конфигурациям фильтрации и не могут заменять друг друга. К распространенным молекулярным загрязнителям в полупроводниковых проектах относятся кислые газы, щелочные газы, органические компоненты и особые легирующие вещества, которые следует перечислять отдельно по областям производства.

О разнице между обработкой частиц и газа см.С чем справляются химический фильтр и сажевый фильтр кондиционера соответственно? . Информацию о чувствительности области фотолитографии к щелочному газу см.Как определить цель фильтрации, если фоторезист чувствителен к щелочным газам? . Фильтрацию конечных частиц можно комбинировать сПодтверждение фильтра HEPA/ULPA , можно просмотреть химическую фильтрациюХимические фильтрующие растворы.

Пространственное разделение и непрерывность работы влияют на архитектуру системы.

Заводы по производству полупроводников обычно имеют большие площади и множество зон, и на разных участках могут быть разные производственные смены и требования к очистке. При сборе следует уточнить границы обслуживания, пути возврата воздуха, взаимоотношения выхлопных газов и требования к перепаду давления для прилегающих участков каждой зоны. Как обеспечить подачу воздуха в разные зоны в цехе большой площади? Пожалуйста, обратитесь кКак панель кондиционера в мастерской справляется с зонами подачи воздуха большой площади?。

С точки зрения непрерывности работы необходимо понимать эксплуатационные требования при нормальном производстве, остановке и техническом обслуживании, техническом обслуживании и нештатных условиях, а также стратегии резервного копирования. Производство полупроводников предъявляет высокие требования к непрерывной работе. Резервные механизмы для агрегатов и ключевых компонентов следует объяснять на этапе спроса, а не рассматривать после прибытия оборудования на площадку.

Условия интерфейса и требования на стороне устройства должны быть собраны вместе.

Взаимосвязь между блоком кондиционирования воздуха и FFU, EFU, сухим змеевиком, секцией химической фильтрации и оконечным высокоэффективным фильтром должна быть объяснена на этапе запроса. Микросреда на стороне оборудования может иметь независимые требования к температуре, влажности и чистоте, которые не могут быть полностью соблюдены коробкой кондиционирования воздуха на заводе. Вода, электричество, пар, интерфейсы управления и доступ для технического обслуживания также должны быть собраны вместе.

Информацию о пакетах фильтрации на стороне оборудования см.Насколько химическая фильтрация приточного воздуха EFEM соответствует требованиям чистоты оборудования? иКакие полевые данные необходимы для химической фильтрации воздуха на входе литографического оборудования? . Пакет подачи чистого воздуха можно комбинироватьБлок вентиляторного фильтра ФФУ иблок фильтра вентилятора со стороны оборудования EFU .Проверьте

От матрицы спроса к техническим условиям объекта

Сопоставьте каждое требование с объемом воздуха, состоянием обработки, разделением фильтрации и поставляемыми данными, а затем подтвердите взаимосвязь между каждым блоком посредством проектирования системы. Без подтверждения проекта другие заводские параметры не следует рассматривать как универсальные стандарты, а также невозможно сделать вывод об улучшении производительности производственной линии, основываясь только на конфигурации агрегата.

Требования к объему воздуха, давлению, температуре, влажности и контролю загрязнения в матрице потребностей в конечном итоге будут преобразованы в конфигурации функциональных сегментов и рабочие точки вентиляторов. Порядок функциональных сегментов можно указатьНа каком основании следует определять последовательность функциональных участков коробки кондиционера? , калибр давления можно отнести кВ чем разница между статическим давлением, общим давлением и статическим давлением вне коробки кондиционера?。

Промышленное вспомогательное оборудование Aili

Aili Industrial может участвовать в проверке параметров блоков кондиционирования воздуха, FFU, EFU и фильтровальных установок; использование матрицы региональной среды при общении поможет связать централизованную обработку с потребностями оборудования. Промышленное производство Aili охватывает независимые исследования и разработки, а также производство двигателей и вентиляторов, систем управления, листового металла, воздушных фильтров и полной сборки машин. Блоки кондиционирования воздуха, FFU, EFU и продукты фильтрации можно проверить в одной упаковке на предмет интерфейсов и условий эксплуатации; нестандартные конструкции могут быть адаптированы в соответствии с зонированием завода и условиями транспортировки.

Форму продукта можно посмотретьПриточно-вытяжная установка ифан-бокса ; Страница пакет подачи чистого воздуха можно комбинироватьБлок вентиляторного фильтра ФФУ иблока концевого вентилятора оборудования ЭФУ ; проверка фильтрацию конечных частиц можно комбинироватьПодтверждение фильтра HEPA/ULPA ; по вопросам контроля загазованности можно общаться отдельноХимические фильтрующие растворы. Конкретные экологические требования, эффекты фильтрации и объем поставки все еще требуют проверки на основе соответствующих данных конфигурации и условий работы на месте. Фактические результаты зависят от результатов обнаружения утечек на месте, тестирования частиц и обнаружения газа.

Отправьте параметры проекта:https://ailigy.com/contactus.html

Связанные вопросы и ответы

Можно ли завершить выбор полупроводниковых кондиционеров, указав только уровень чистоты, температуру и влажность?
недостаточно. Также необходимы целевые показатели молекулярного загрязнения, пространственные разделения, непрерывность работы, взаимосвязи выхлопных газов и условия интерфейса на стороне оборудования, иначе конфигурацию легко пропустить.

Могут ли быть единообразно определены требования к молекулярному загрязнению заводов по производству полупроводников?
Нецелесообразно устанавливать единые правила. Ингредиенты и пределы, вызывающие озабоченность, на разных участках процесса различаются, и их следует собирать и проверять отдельно по участкам.

Может ли Aili Industrial помочь разобраться в экологических требованиях полупроводниковых проектов?
Блок кондиционера, FFU, EFU и соответствие фильтрации можно проверить на основе региональной матрицы окружающей среды. Конкретную конфигурацию необходимо подтвердить на основе условий технологического процесса проекта и данных на месте.

Похожие статьи

1. Насколько задача по свежему воздуху MAU в чистом помещении соответствует технологической вытяжке?

2. Как определить цель фильтрации, если фоторезист чувствителен к щелочным газам?

3. Насколько химическая фильтрация приточного воздуха EFEM соответствует требованиям чистоты оборудования?

4. Какие цели контроля следует уточнить при выборе кондиционера с постоянной температурой и влажностью?

Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле