Cần thu thập những yêu cầu về môi trường xử lý nào đối với hộp điều hòa không khí của nhà máy sạch bán dẫn?

Các yêu cầu về hộp điều hòa không khí nhà máy sạch bán dẫn phải được thu thập từ ma trận môi trường quy trình, bao gồm nhiệt độ và độ ẩm, kiểm soát ô nhiễm hạt và phân tử, phân vùng không gian, tính liên tục trong hoạt động và các điều kiện giao diện. Bạn không thể đưa ra mức độ sạch sẽ hoặc cấu hình thiết bị thống nhất dựa trên từ 'xưởng bán dẫn'.

Điền yêu cầu theo khu vực quy trình thay vì tên nhà máy

Các nhiệm vụ môi trường trong các lĩnh vực như quang khắc, làm sạch, kiểm tra và bảo trì thiết bị có thể khác nhau và các đối tượng nhạy cảm cũng như giá trị kiểm soát phải được bên xử lý xác nhận. Sau đó, phân biệt môi trường nền của tòa nhà xưởng, môi trường vi mô cục bộ và các điều kiện bên trong của thiết bị để xác định nhiệm vụ nào thuộc về hộp điều hòa không khí và nhiệm vụ nào do thiết bị đầu cuối hoặc chính thiết bị thực hiện, để tránh mua hàng nhiều lần hoặc để lại khoảng trống kiểm soát.

Ma trận môi trường nên ghi lại các mục tiêu khu vực, các điểm đo lường và tình trạng sản xuất hiện hành; dữ liệu ô nhiễm phải ghi lại nguồn và giới hạn của các hạt và các chất gây ô nhiễm khí mục tiêu; giao diện vận hành sẽ ghi lại các ca làm việc, chiến lược dự phòng, điều kiện cung cấp năng lượng và kết nối điều khiển. Ba loại thông tin tương ứng với các chuyên ngành khác nhau và không thể tóm tắt chỉ bằng một bảng thông số phòng. Nhiệm vụ không khí trong lành của MAU phòng sạch tương ứng như thế nào với quá trình khí thải, vui lòng tham khảoNhiệm vụ cung cấp không khí trong lành của MAU phòng sạch tương ứng với quá trình xả thải như thế nào?。

Yêu cầu về nhiệt độ, độ ẩm phải được ghi đến điểm đo và dao động cho phép

Các quy trình bán dẫn thường có yêu cầu rõ ràng về nhiệt độ và độ ẩm, nhưng mục tiêu kiểm soát, vị trí điểm đo và dao động cho phép có thể khác nhau ở các khu vực khác nhau. Khi thu thập, cần phân biệt nhiệt độ và độ ẩm nền của nhà xưởng, nhiệt độ, độ ẩm của các khu vực địa phương và điều kiện bên trong của thiết bị, đồng thời cần lưu ý vị trí của các điểm đo, khoảng thời gian đánh giá và độ lệch cho phép. Chỉ ghi phạm vi nhiệt độ và phạm vi độ ẩm khiến không thể xác định cách cấu hình thiết bị.

Để biết thành phần mục tiêu kiểm soát của dự án nhiệt độ và độ ẩm không đổi, vui lòng tham khảoCần làm rõ mục tiêu kiểm soát nào khi lựa chọn hộp điều hòa không khí có nhiệt độ và độ ẩm không đổi? . Cách ghi biến động cho phép vào yêu cầu kỹ thuật, vui lòng tham khảoBiến động cho phép của đơn vị nhiệt độ, độ ẩm không đổi được ghi vào yêu cầu kỹ thuật như thế nào? . Để biết sự khác biệt giữa độ chính xác của nguồn cấp khí và độ chính xác của phòng, vui lòng tham khảoSự khác biệt giữa độ chính xác cung cấp không khí của hộp điều hòa không khí và độ chính xác của điều khiển phòng là gì?。

Ô nhiễm hạt và phân tử được thu thập riêng biệt

Yêu cầu kiểm soát hạt thường được thể hiện dưới dạng mức độ sạch, kích thước hạt và điểm đo; Các yêu cầu kiểm soát ô nhiễm phân tử được thể hiện dưới dạng khí mục tiêu, giới hạn nồng độ và phương pháp phát hiện. Hai loại yêu cầu này tương ứng với các cấu hình lọc khác nhau và không thể thay thế nhau. Các chất gây ô nhiễm phân tử phổ biến trong các dự án bán dẫn bao gồm khí axit, khí kiềm, các thành phần hữu cơ và các chất doping cụ thể, cần được liệt kê riêng theo khu vực xử lý.

Để biết sự khác biệt giữa xử lý hạt và xử lý khí, vui lòng tham khảoLọc hóa chất và lọc hạt của hộp điều hòa có tác dụng gì? . Để biết độ nhạy của vùng quang khắc với khí kiềm, vui lòng tham khảoLàm thế nào để xác định mục tiêu lọc khi chất quang dẫn nhạy cảm với khí kiềm? . Quá trình lọc hạt cuối cùng có thể được kết hợp vớiXác nhận bộ lọc HEPA/ULPA , có thể xem lọc hóa họcGiải pháp lọc hóa học .

Kiến trúc hệ thống tác động đến sự phân vùng không gian và hoạt động liên tục

Các nhà máy bán dẫn thường có diện tích lớn và nhiều khu vực, các khu vực khác nhau có thể có ca sản xuất và yêu cầu vệ sinh khác nhau. Khi thu thập, cần làm rõ ranh giới dịch vụ, đường dẫn khí hồi lưu, mối quan hệ khí thải và yêu cầu chênh lệch áp suất đối với các khu vực lân cận của từng khu vực. Làm thế nào để cung cấp nguồn cung cấp không khí cho các khu vực khác nhau trong một xưởng có diện tích lớn? Vui lòng tham khảoPanel trưng bày hộp điều hòa không khí trong nhà xưởng xử lý như thế nào với vùng cấp khí diện tích lớn?。

Về khả năng hoạt động liên tục, cần phải hiểu các yêu cầu vận hành trong quá trình sản xuất thông thường, ngừng hoạt động và bảo trì, bảo trì và các điều kiện bất thường cũng như các chiến lược dự phòng. Sản xuất chất bán dẫn có yêu cầu cao về hoạt động liên tục. Việc bố trí dự phòng cho các thiết bị và bộ phận chính cần được giải thích ở giai đoạn có nhu cầu thay vì xem xét sau khi thiết bị đến hiện trường.

Các điều kiện giao diện và yêu cầu phía thiết bị phải được thu thập cùng nhau

Mối quan hệ giao diện giữa hộp điều hòa không khí và FFU, EFU, cuộn dây khô, phần lọc hóa học và bộ lọc hiệu suất cao đầu cuối cần được giải thích trong giai đoạn nhu cầu. Môi trường vi mô cuối thiết bị có thể có các yêu cầu về nhiệt độ, độ ẩm và độ sạch độc lập mà hộp điều hòa không khí của nhà máy không thể đáp ứng được. Nước, điện, hơi nước, giao diện điều khiển và quyền truy cập bảo trì cũng phải được thu thập cùng nhau.

Để biết các gói lọc phía thiết bị, vui lòng tham khảoLọc hóa học đầu vào không khí của EFEM tương ứng với yêu cầu về độ sạch của thiết bị như thế nào? VàDữ liệu hiện trường nào là cần thiết cho quá trình lọc hóa học đầu vào không khí của thiết bị in thạch bản? . Gói cung cấp không khí sạch có thể được kết hợpBộ lọc quạt FFU vàbộ lọc quạt ở đầu thiết bị EFU .Kiểm tra

Từ ma trận nhu cầu đến điều kiện kỹ thuật đơn vị

Tương ứng từng nhu cầu với thể tích không khí, trạng thái xử lý, bộ phận lọc và dữ liệu có thể cung cấp, sau đó xác nhận mối quan hệ giữa từng bộ phận thông qua thiết kế hệ thống. Nếu không có bằng chứng dự án, các thông số khác của nhà máy sẽ không được coi là tiêu chuẩn chung, cũng như không thể suy ra sự cải thiện năng suất của dây chuyền sản xuất chỉ dựa trên cấu hình của thiết bị.

Các yêu cầu về thể tích, áp suất, nhiệt độ, độ ẩm và kiểm soát ô nhiễm trong ma trận nhu cầu cuối cùng sẽ được chuyển đổi thành cấu hình phân khúc chức năng và điểm vận hành quạt. Thứ tự của các phân đoạn chức năng có thể được tham khảoDựa vào cơ sở nào để xác định trình tự các bộ phận chức năng của hộp điều hòa? , tầm cỡ áp suất có thể được gọiSự khác biệt giữa áp suất tĩnh, áp suất tổng và áp suất tĩnh bên ngoài hộp điều hòa là gì?。

Thiết bị hỗ trợ công nghiệp Aili

Aili Industrial có thể tham gia xác minh thông số xung quanh hộp điều hòa không khí, FFU, EFU và các gói lọc; đưa ma trận môi trường khu vực khi giao tiếp sẽ giúp kết nối xử lý tập trung với nhu cầu phía thiết bị. Lĩnh vực sản xuất công nghiệp của Aili bao gồm nghiên cứu, phát triển và sản xuất độc lập động cơ và quạt, hệ thống điều khiển, tấm kim loại, bộ lọc không khí và lắp ráp máy hoàn chỉnh. Hộp điều hòa không khí, FFU, EFU và các sản phẩm lọc có thể được kiểm tra trong cùng một gói để biết các giao diện và điều kiện vận hành; cấu trúc phi tiêu chuẩn có thể được điều chỉnh theo điều kiện phân vùng và vận chuyển của nhà máy.

Có thể xem hình thức sản phẩmBộ xử lý không khí vàTrang hộp hâm mộ ; gói cung cấp không khí sạch có thể được kết hợpBộ lọc quạt FFU vàXác minh bộ lọc quạt cuối thiết bị EFU ; lọc hạt cuối cùng có thể được kết hợpXác nhận bộ lọc HEPA/ULPA ; khi nói đến việc kiểm soát ô nhiễm khí, bạn có thể trao đổi riêngGiải pháp lọc hóa học . Các yêu cầu cụ thể về môi trường, hiệu ứng lọc và phạm vi phân phối vẫn cần được xác minh dựa trên dữ liệu cấu hình tương ứng và điều kiện làm việc tại chỗ. Kết quả thực tế tùy thuộc vào kết quả phát hiện rò rỉ tại chỗ, kiểm tra hạt và phát hiện khí.

Gửi thông số dự án:https://ailigy.com/contactus.html

Câu hỏi và câu trả lời liên quan

Bạn có thể hoàn thành việc lựa chọn hộp điều hòa không khí bán dẫn chỉ bằng cách ghi mức độ sạch sẽ và nhiệt độ, độ ẩm không?
không đủ. Các mục tiêu ô nhiễm phân tử, phân vùng không gian, tính liên tục trong hoạt động, mối quan hệ khí thải và điều kiện giao diện giữa các thiết bị cũng được yêu cầu, nếu không thì rất dễ bỏ sót cấu hình.

Các yêu cầu về ô nhiễm phân tử của các nhà máy bán dẫn có thể được quy định thống nhất không?
Việc đưa ra các quy định thống nhất là không phù hợp. Các thành phần và giới hạn cần quan tâm ở các khu vực chế biến khác nhau là khác nhau và cần được thu thập và kiểm tra riêng theo từng khu vực.

Aili Industrial có thể giúp giải quyết các yêu cầu về môi trường của các dự án bán dẫn không?
Có thể kiểm tra hộp điều hòa không khí, FFU, EFU và mức độ phù hợp của bộ lọc dựa trên ma trận môi trường khu vực. Cấu hình cụ thể cần được xác nhận dựa trên các điều kiện quy trình dự án và dữ liệu tại chỗ.

Bài viết liên quan

1. Nhiệm vụ cung cấp không khí trong lành của MAU phòng sạch tương ứng với quá trình xả thải như thế nào?

2. Làm thế nào để xác định mục tiêu lọc khi chất quang dẫn nhạy cảm với khí kiềm?

3. Lọc hóa học đầu vào không khí của EFEM tương ứng với yêu cầu về độ sạch của thiết bị như thế nào?

4. Cần làm rõ mục tiêu kiểm soát nào khi lựa chọn hộp điều hòa không khí có nhiệt độ và độ ẩm không đổi?

Những điểm chính để lựa chọn và kiểm tra chấp nhận