Welche Anforderungen an die Prozessumgebung müssen für die Klimaanlage einer Halbleiter-Reinfabrik erfüllt werden?

Die Anforderungen an saubere Klimaanlagen in Halbleiterfabriken sollten aus der Prozessumgebungsmatrix erfasst werden, einschließlich Temperatur und Luftfeuchtigkeit, Partikel- und Molekularverschmutzungskontrolle, Raumzonierung, Betriebskontinuität und Schnittstellenbedingungen. Anhand der Worte „Halbleiterwerkstatt“ kann man keine einheitliche Reinheitsstufe oder Gerätekonfiguration angeben.

Füllen Sie die Anforderungen nach Prozessbereich statt nach Anlagennamen aus

Die Umweltaufgaben in Bereichen wie Fotolithographie, Reinigung, Inspektion und Gerätewartung können unterschiedlich sein, und sensible Objekte und Kontrollwerte sollten von der Prozesspartei bestätigt werden. Unterscheiden Sie dann die Hintergrundumgebung des Fabrikgebäudes, die lokale Mikroumgebung und die internen Bedingungen der Ausrüstung, um zu bestimmen, welche Aufgaben zum Klimakasten gehören und welche Aufgaben vom Terminal oder der Ausrüstung selbst übernommen werden, um wiederholte Einkäufe oder das Verlassen von Kontrolllücken zu vermeiden.

In der Umweltmatrix sollten die regionalen Ziele, Messpunkte und der jeweilige Produktionsstatus festgehalten werden; In den Verschmutzungsdaten sollten die Quellen und Grenzwerte von Partikeln und Zielgasschadstoffen angegeben werden. Die Betriebsschnittstelle sollte die Schichten, Backup-Strategien, Energieversorgungsbedingungen und Steuerverbindungen aufzeichnen. Die drei Arten von Informationen entsprechen unterschiedlichen Hauptfächern und können nicht in nur einer Raumparametertabelle zusammengefasst werden. Wie die Frischluftaufgaben der Reinraum-MAU mit der Prozessabluft korrespondieren, entnehmen Sie bitteWie korrespondiert die Frischluftaufgabe der Reinraum-MAU mit der Prozessabluft?。

Temperatur- und Feuchtigkeitsanforderungen müssen an der Messstelle und zulässigen Schwankungen angegeben werden

Halbleiterprozesse stellen normalerweise klare Anforderungen an Temperatur und Luftfeuchtigkeit, aber die Kontrollziele, Messpunktpositionen und zulässigen Schwankungen können in verschiedenen Bereichen unterschiedlich sein. Bei der Erfassung sollten die Hintergrundtemperatur und -feuchtigkeit des Fabrikgebäudes, die Temperatur und Luftfeuchtigkeit der örtlichen Bereiche und die internen Bedingungen der Ausrüstung unterschieden werden, und die Lage der Messpunkte, der Auswertungszeitraum und die zulässigen Abweichungen sollten beachtet werden. Nur das Schreiben eines Temperaturbereichs und eines Feuchtigkeitsbereichs macht es unmöglich, zu bestimmen, wie das Gerät konfiguriert werden soll.

Die Kontrollzielzusammensetzung des Projekts für konstante Temperatur und Luftfeuchtigkeit finden Sie unterWelche Kontrollziele sollten bei der Auswahl einer Klimaanlage mit konstanter Temperatur und Luftfeuchtigkeit geklärt werden? . Wie Sie die zulässige Schwankung in die technischen Anforderungen eintragen, erfahren Sie hierWie sollten die zulässigen Schwankungen der Einheiten für konstante Temperatur und Luftfeuchtigkeit in die technischen Anforderungen aufgenommen werden? . Informationen zum Unterschied zwischen Luftzufuhrgenauigkeit und Raumgenauigkeit finden Sie unterWas ist der Unterschied zwischen der Genauigkeit der Luftzufuhr des Klimakastens und der Genauigkeit der Raumregelung?。

Partikel- und molekulare Verunreinigungen werden getrennt gesammelt

Anforderungen an die Partikelkontrolle werden üblicherweise in Form von Reinheitsgrad, Partikelgröße und Messpunkten ausgedrückt; Die Anforderungen an die Kontrolle der molekularen Umweltverschmutzung werden in Form von Zielgasen, Konzentrationsgrenzen und Nachweismethoden ausgedrückt. Die beiden Arten von Anforderungen entsprechen unterschiedlichen Filterkonfigurationen und können sich nicht gegenseitig ersetzen. Zu den üblichen molekularen Verunreinigungen in Halbleiterprojekten gehören saure Gase, alkalische Gase, organische Komponenten und spezifische Dotierungsstoffe, die nach Prozessbereich getrennt aufgeführt werden sollten.

Den Unterschied zwischen Partikel- und Gasverarbeitung finden Sie unterWomit beschäftigen sich der Chemiefilter bzw. der Partikelfilter des Klimakastens? . Informationen zur Empfindlichkeit des Fotolithographiebereichs gegenüber alkalischem Gas finden Sie unterWie sollte das Filterziel bestimmt werden, wenn der Fotolack gegenüber alkalischen Gasen empfindlich ist? . Die terminale Partikelfiltration kann mit kombiniert werdenHEPA/ULPA-Filterbestätigung , chemische Filterung kann eingesehen werdenChemische Filterlösungen .

Räumliche Partitionierung und Betriebskontinuität wirken sich auf die Systemarchitektur aus

Halbleiterfabriken verfügen in der Regel über große Flächen und mehrere Zonen, und in verschiedenen Bereichen können unterschiedliche Produktionsschichten und Reinigungsanforderungen gelten. Beim Sammeln sollten die Betriebsgrenzen, Rückluftwege, Abgasverhältnisse und Druckdifferenzanforderungen für angrenzende Bereiche jedes Bereichs geklärt werden. Wie sorgt man in einer großflächigen Werkstatt für Luftzufuhr in verschiedenen Zonen? Bitte beachten SieWie geht der Panel-Klimakasten in der Werkstatt mit großflächigen Zuluftzonen um?。

Im Hinblick auf die Betriebskontinuität ist es notwendig, die Betriebsanforderungen bei normaler Produktion, Stillstand und Wartung, Wartung und anormalen Bedingungen sowie Backup-Strategien zu verstehen. In der Halbleiterproduktion werden hohe Anforderungen an den kontinuierlichen Betrieb gestellt. Die Backup-Vorkehrungen für Einheiten und Schlüsselkomponenten sollten in der Anforderungsphase erläutert werden, anstatt sie erst zu berücksichtigen, nachdem die Ausrüstung vor Ort eingetroffen ist.

Schnittstellenbedingungen und geräteseitige Anforderungen müssen gemeinsam erfasst werden

Die Schnittstellenbeziehung zwischen der Klimaanlage und FFU, EFU, Trockenschlange, chemischem Filterabschnitt und End-Hocheffizienzfilter sollte in der Nachfragephase erläutert werden. Die geräteseitige Mikroumgebung kann unabhängige Temperatur-, Feuchtigkeits- und Sauberkeitsanforderungen haben, die nicht alle von der Fabrikklimaanlage erfüllt werden können. Wasser, Strom, Dampf, Steuerschnittstellen und Wartungszugänge sollten ebenfalls zusammengefasst werden.

Informationen zu geräteseitigen Filterpaketen finden Sie unterWie entspricht die chemische Lufteinlassfiltration von EFEM den Sauberkeitsanforderungen der Ausrüstung? UndWelche Felddaten werden für die chemische Filterung des Lufteinlasses von Lithographiegeräten benötigt? . Reinluftversorgungspaket kombinierbarFFU-Lüfterfiltereinheit unddie Lüfterfiltereinheit auf der EFU-Geräteseite .Überprüfen Sie

Von der Nachfragematrix bis zu den technischen Bedingungen der Einheiten

Ordnen Sie jeden Bedarf dem Luftvolumen, dem Verarbeitungsstatus, der Filteraufteilung und den lieferbaren Daten zu und bestätigen Sie dann die Beziehung zwischen den einzelnen Einheiten durch das Systemdesign. Ohne Projektnachweise sollten andere Fabrikparameter nicht als universelle Standards betrachtet werden, noch kann die Verbesserung der Produktionslinienausbeute allein auf der Basis der Einheitenkonfiguration abgeleitet werden.

Die Anforderungen an Luftmenge, Druck, Temperatur und Luftfeuchtigkeit sowie Schadstoffbegrenzung in der Bedarfsmatrix werden schließlich in funktionale Segmentkonfigurationen und Lüfterbetriebspunkte umgewandelt. Auf die Reihenfolge der Funktionssegmente kann Bezug genommen werdenAuf welcher Grundlage soll die Reihenfolge der Funktionsabschnitte des Klimakastens festgelegt werden? kann auf das Druckkaliber verwiesen werdenWas ist der Unterschied zwischen statischem Druck, Gesamtdruck und statischem Druck außerhalb des Klimakastens?。

Aili industrielle unterstützende Ausrüstung

Aili Industrial kann an der Parameterüberprüfung rund um Klimaanlagen, FFU, EFU und Filterpakete teilnehmen; Die Einbeziehung der regionalen Umgebungsmatrix in die Kommunikation wird dazu beitragen, die zentrale Verarbeitung mit den geräteseitigen Anforderungen zu verbinden. Die industrielle Fertigung von Aili umfasst die unabhängige Forschung und Entwicklung sowie die Produktion von Motoren und Lüftern, Steuerungssystemen, Blechen, Luftfiltern und der kompletten Maschinenmontage. Klimakästen, FFU, EFU und Filtrationsprodukte können im gleichen Paket auf Schnittstellen und Betriebsbedingungen geprüft werden; Nicht standardmäßige Strukturen können entsprechend der Zoneneinteilung des Werks und den Transportbedingungen angepasst werden.

Produktform kann eingesehen werdenLüftungsgerät undFanbox -Seite; Reinluftversorgungspaket kombinierbarFFU-Lüfterfiltereinheit undder EFU-Geräte-Endventilator-Filtereinheit ; Überprüfung Endpartikelfiltration kann kombiniert werdenBestätigung des HEPA/ULPA-Filters ; Wenn es um die Kontrolle gasförmiger Schadstoffe geht, können Sie separat kommunizierenChemische Filterlösungen . Spezifische Umgebungsanforderungen, Filterwirkungen und Lieferumfang müssen noch anhand entsprechender Konfigurationsdaten und Arbeitsbedingungen vor Ort überprüft werden. Die tatsächlichen Ergebnisse unterliegen den Ergebnissen der Leckerkennung, der Partikelprüfung und der Gaserkennung vor Ort.

Projektparameter einreichen:https://ailigy.com/contactus.html

Verwandte Fragen und Antworten

Können Sie die Auswahl von Halbleiter-Klimakästen vervollständigen, indem Sie nur den Sauberkeitsgrad sowie die Temperatur und Luftfeuchtigkeit angeben?
nicht genug. Außerdem sind molekulare Verschmutzungsziele, räumliche Aufteilungen, Betriebskontinuität, Abgasbeziehungen und geräteseitige Schnittstellenbedingungen erforderlich, da sonst die Konfiguration leicht übersehen wird.

Können die Anforderungen an die molekulare Kontamination von Halbleiterfabriken einheitlich festgelegt werden?
Es ist nicht angebracht, einheitliche Regelungen vorzusehen. Die bedenklichen Inhaltsstoffe und Grenzwerte in verschiedenen Prozessbereichen sind unterschiedlich und sollten nach Bereich getrennt erfasst und überprüft werden.

Kann Aili Industrial dabei helfen, die Umweltanforderungen von Halbleiterprojekten zu klären?
Die Übereinstimmung von Klimaanlage, FFU, EFU und Filterung kann anhand der regionalen Umweltmatrix überprüft werden. Die spezifische Konfiguration muss anhand der Projektprozessbedingungen und der Daten vor Ort bestätigt werden.

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