閲覧数: 6463 著者:Aili Industry 公開時間:2026-10-07 出典: アイ・リー・インダストリアル
新しいクリーンルームを建設する場合、多くのプロジェクトでは、最初に「何層にするか」を検討し、その後すぐに設備の検討に入ります。ただし、グレードは入力条件にすぎず、面積の用途、汚染負荷、熱と湿気の負荷、人員、受け入れ状況などの重要な質問に答えることはできません。最初にデバイスをロックしてからシステムの条件が一致していないことが判明した場合、調整コストが非常に高くなります。
より合理的な順序は、まずプロセス保護の目的と評価条件を明確にし、次にシステム計画を策定し、最後に装置パラメータを決定することです。いくつかのリンクから始めましょう。
クリーンルームはグレード番号ではなくプロセスを提供します。最初に確認する必要があります: どの製品が表面に敏感ですか?どのような操作で暴露されますか?どの粒子サイズを制御したいですか?温度、湿度、圧力差、分子汚染、静電気、振動に対する特別な要件はありますか?
これらの目標を単なる ISO レベルではなく、プロジェクトの条件として記述します。部屋全体を処理するか、部分的に処理するか迷った場合は、まず確認してください。 部屋全体の浄化と局所的な浄化のどちらを選択するのですか?システム設計に入る前に、プログラムレベルで選択ロジックを明確にしてください。
清浄度レベルは重要な情報ですが、測定された粒子サイズ、エリア境界、占有状況、サンプリング ルールも記載する必要があります。 「ISO 5」または「レベル 100」とだけ書くと、承認時に意見の相違が生じる可能性があります。参照できる なぜ清浄度グレードに粒子径を表示する必要があるのですか? 、評価条件を完了します。
スペース定格とフィルター効率の違いがまだ不明な場合は、以下を参照してください。 清浄度レベルとろ過効率の違いは何ですか?選択する際には、2 つの概念を混同しないようにしてください。
機器が機能できるかどうかは、システム ソリューションによって決まります。給気・還気のレイアウト、排気需要、給気経路、圧力勾配を決定し、FFUや高効率給気口、空調設備の能力を確認する必要があります。設置可能でデバッグ可能なソリューションを形成するには、機器の数、風量、制御方法を稼働時間とメンテナンス チャネルに合わせて調整する必要があります。
プロジェクトが段階的に構築されている場合、または独立したモジュールが必要な場合は、を参照してください。 クリーンシステムで独立したモジュールを使用するための拡張条件は何ですか? 、配電、通信、構造負荷、風路に対する余裕を事前に確保します。
システムの境界を決定したら、次のことを確認します。 FFUクリーンエア供給製品 と EFU装置側ファンフィルタユニットの容量 。 EFU は通常、機器端の密閉キャビティに使用され、FFU は室内のバックグラウンド空気供給を担当することがよくあります。この分業の論理は次のとおりです。 デバイス側 EFU とルーム FFU の間の役割分担 については、より詳細な説明があります。
公称風量だけを見て選択するべきではありません。フィルタとの作動点、機外静圧、フィルタ抵抗、取付寸法、シール方法、メンテナンス方向の確認が必要です。デューティ、ゾーニング、警報、省エネ運転が必要な場合は組み合わせ可能 FFUグループ管理システム により一元管理が可能です。
フィルターの選択は、ターゲットの粒子サイズと清浄度レベルに対応する必要があります。HEPA および ULPA フィルター ページには、さまざまなレベルの製品のパラメーターがあります。選定の際は、対象機種の目標風量における効率をご確認ください。
最初に固定風量 FFU のバッチを購入してから、ワークステーションの排気口が大きいか、天井スペースが不十分であることが判明すると、調整が繰り返される可能性があります。購入前に要件を確認し、機器のインターフェース、メンテナンスチャネル、その後の拡張性なども同時に確認する必要があります。メンテナンスチャネルが不十分だと、その後の支出が増加します。これが反映されているのは、 メンテナンスチャネルが不十分なために将来どのような費用が増加するか について、より具体的なコスト分析があります。
新しい電子アセンブリのクリーン ルーム プロジェクトの場合、オーナーは最初に ISO 7 を決定し、次に FFU のバッチを直接購入しました。設置後、ワークステーションで排気が継続的に発生し、給気が不足し、室内の圧力差が安定しないことが判明しました。同時に、天井スペースには限りがあり、一部の FFU は検査や修理ができない場合がありました。
調整方法:排気と給気のバランスを再計算し、FFUのレイアウトを調整し、独立した給気経路を追加します。天井メンテナンススペースに合わせて一部機種を置き換えます。調整後はシステムは安定していますが、初期段階で手直しコストが発生しています。
別のプロジェクトでは、まず計画段階でプロセスの暴露経路と温度と湿度の要件を明確にし、次にシステムの境界と装置パラメータを決定しました。機器は到着後、正常に設置され、デバッグサイクルが大幅に短縮されました。
これら 2 つの状況は、次のことを示しています。新しいクリーン ルームを構築する場合、グレードがインプットとなり、システム プランと機器の選択を一緒に考慮する必要があります。
チェック項目 |
重要なポイントを確認する |
|---|---|
処理対象 |
デリケートな領域について説明する |
評価条件 |
合意された粒子サイズと状態 |
システム境界 |
外気の戻り空気の排気を明確にする |
デバイスインターフェース |
寸法とメンテナンスの指示を確認してください |
運転状況 |
仕事と勤務条件を文書化する |
受け入れ手配 |
テストプロトコルを同期的に更新する |
Aili Industry は、モーターの製造、ファンの独立した研究開発と生産、制御システムの開発、板金加工、エアフィルターの製造、および完全な機械の組み立てをカバーしています。新しいクリーンルームプロジェクトの場合、FFU、EFU、HEPA/ULPAフィルター、グループ制御システム、空気量、静圧、および設置インターフェースを均一にチェックして、機器構成をオンサイト評価境界と結び付け、コンポーネントパラメーターと完全な機械動作条件の間の乖離を減らすことができます。
学ぶ FFUクリーンエア供給製品;EFU装置側ファンフィルターユニット;HEPAおよびULPAフィルター;FFUグループ制御システムは、設置スペース、動作条件、ろ過空気供給構成をチェックします。
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