Comment confirmer le sens d'installation des filtres à haute efficacité dans les équipements semi-conducteurs ?

L'installation inversée n'est pas très courante pour les FFU sur les plafonds d'usine : la sortie d'air est orientée vers le bas et la direction est fondamentalement fixe. Mais à l’intérieur des dispositifs semi-conducteurs, la situation n’est pas aussi intuitive.

Le capot de l'équipement comporte des ouvertures, des tuyaux et des pièces mécaniques mobiles. Vous ne pouvez pas savoir où l’air entre et où il sort simplement en regardant l’apparence. L'EFU de certains équipements est installé sur la paroi latérale, certains sont installés sur le dessus et certains ont des coins pour l'entrée et la sortie d'air. Si le sens d'installation est incorrect, le problème peut ne pas être visible en peu de temps, mais la répartition de la vitesse du vent, la contrainte de l'élément filtrant et l'état d'étanchéité s'écarteront de l'état de conception.

Commencez par le ventilateur et suivez le flux d'air

Le moyen le plus fiable de confirmer la direction est de suivre le chemin du flux d’air au lieu de simplement regarder la flèche sur l’élément filtrant.

Le point de départ est le ventilateur. Localisez la position du ventilateur de l'EFU ou de l'unité d'alimentation en air de l'équipement et confirmez sa direction de sortie d'air. Suivez ensuite le conduit d'air et la structure de dérivation vers le bas pour voir par quelles parties structurelles le flux d'air passe, où il tourne et où il entre finalement dans la zone sensible.

Il peut y avoir des plaques de diffusion, des filets d'écoulement et des coudes de conduit d'air au milieu. Ces structures affecteront la direction du flux d’air. Le chemin d'air interne de certains équipements n'est pas droit et la sortie d'air du ventilateur et la surface d'entrée d'air de l'élément filtrant sont inclinées. À ce stade, il est facile de se tromper en regardant simplement la flèche de l’élément filtrant.

Marquer ce chemin sur le dessin de l'équipement et le comparer avec la position d'assemblage réelle est plus fiable que de déduire de l'expérience.

Vous devriez regarder le logo sur l’élément filtrant, mais vous ne pouvez pas vous y fier uniquement.

Le cadre extérieur des produits ordinaires sera marqué d’une flèche de direction du flux d’air. Ce logo est la direction de conception, pas la direction d'installation.

Quelle est la signification ? La flèche indique la direction du flux d'air conçu à travers l'élément filtrant, mais une fois celui-ci installé dans l'appareil, le fait que la direction réelle du flux d'air soit correcte dépend de la conception du trajet d'air de l'appareil. Si le chemin d'air interne de l'équipement est différent du dessin, ou si la direction du ventilateur ou le raccordement du conduit d'air change, la direction de la flèche peut ne pas être correcte.

Il existe une autre situation : la conception du filet de protection ou de la surface d'étanchéité de certains produits est symétrique et peut être installée à l'avant et à l'arrière, mais une seule direction est correcte. Si ce type de produit n’est pas clairement étiqueté, ou si l’étiquette est masquée par l’emballage, il est facile de mal l’installer sur place.

Les surfaces d'étanchéité et les structures de protection donneront des indices

Outre les flèches, la structure de l’élément filtrant lui-même peut également servir de base à un jugement.

Le joint d'étanchéité ou le réservoir de liquide est généralement situé du côté de l'entrée d'air ou du côté de la sortie d'air, selon la conception du boîtier. Les positions de la surface de pression, du filet de protection et de la structure de dérivation correspondent toutes à l'orientation de conception. La comparaison de ces caractéristiques avec la structure de la boîte permet de vérifier si la direction est correcte.

Si après l'installation de l'élément filtrant, la pièce de pression ne peut pas appuyer sur la surface d'étanchéité, ou si la position du joint d'étanchéité et la surface de contact sur la boîte ne correspondent pas, il y a probablement un problème de direction. Ce type d'anomalie d'assemblage est plus direct que de regarder des flèches.

Pour l'EFU impliqué dans l'étanchéité du réservoir de liquide, le sens d'accouplement du bord de la lame et du corps du réservoir doit également être confirmé lors de l'assemblage. Pour les méthodes de vérification spécifiques, veuillez vous référer aux instructions d'interface pertinentes.

Comment vérifier après l'installation

Que la direction soit correcte ou non dépend en fin de compte de la vérification opérationnelle.

Une fois l'assemblage terminé, mesurez la vitesse et la répartition du vent dans la zone cible sur l'équipement de travail réel. Si la direction est correcte, la vitesse du vent doit se situer dans la plage de conception et être répartie de manière relativement uniforme. Si la vitesse du vent d'un certain côté est manifestement faible ou s'il existe des anomalies locales, le problème de direction doit être inclus dans l'enquête.

Effectuer la détection des fuites d'installation selon les exigences du projet, en se concentrant sur l'interface entre l'élément filtrant et le boîtier. L'installation inversée peut entraîner une modification de l'état de contrainte de la surface d'étanchéité et l'emplacement du point de fuite peut être différent de celui lors d'un assemblage normal.

Il y a souvent plusieurs ventilateurs et sorties d’air à l’intérieur de l’équipement. Lors de la vérification, confirmez chacun un par un et ne présumez pas qu'ils sont dans la même direction. Si des modifications sont apportées pendant la phase de débogage de l'équipement, comme le remplacement du ventilateur ou le réglage du conduit d'air, la direction doit être revérifiée.

Tenir un registre d'assemblage

Une fois l'équipement livré ou entretenu, enregistrez le numéro du filtre, le sens d'installation, la méthode de compression et l'équipement de fonctionnement de chaque emplacement, et joignez des photos.

Lorsque l'élément filtrant doit être remplacé après que l'équipement a fonctionné pendant un certain temps, cet enregistrement peut indiquer directement au personnel de maintenance comment il a été installé à l'origine. La fenêtre de maintenance des équipements semi-conducteurs est généralement serrée et il faut beaucoup de temps pour retourner les dessins et réévaluer la direction sur site.

Si l'équipement comporte plusieurs machines du même modèle, il est recommandé d'unifier le sens d'assemblage et le format d'enregistrement pour faciliter la rotation du personnel de maintenance entre les différentes machines.

À propos du support d’équipement d’Aili Industrial

Ai Li industriel L'unité de filtre de ventilateur côté équipement EFU prend en charge une structure ultra-mince et une personnalisation de petite taille, et peut être associée à Les filtres à air HEPA/ULPA sont utilisés à l’intérieur des équipements semi-conducteurs. Étant donné que le ventilateur, le conduit d'air, le boîtier et le filtre sont conçus dans le même système de fabrication, la direction du flux d'air, la position de la surface d'étanchéité et la structure d'assemblage peuvent être uniformément confirmées avant de quitter l'usine.

Pour les projets côté équipement, il est recommandé de fournir le schéma de structure interne de l'équipement, la position du ventilateur, la zone cible et l'espace d'installation disponible, afin de faciliter la détermination de la direction d'installation et de la méthode de correspondance d'interface de l'unité d'alimentation en air. impliquant Pour les unités de filtre à ventilateur FFU ou d'autres systèmes de type final, il est également recommandé de confirmer séparément les interfaces côté équipement et côté usine pour éviter tout mélange. Les performances spécifiques sont soumises aux données techniques du produit et aux résultats d'acceptation du projet.