半導体装置における高効率フィルターの取り付け方向の確認方法は？

工場の天井にある FFU では、逆方向に取り付けることはあまり一般的ではありません。排気口は下向きであり、方向は基本的に固定されています。しかし、半導体デバイスの内部では、状況はそれほど直感的ではありません。

機器カバーには開口部、パイプ、機械可動部品があります。見た目だけではどこから空気が入ってきてどこから出てくるのかわかりません。機器によっては EFU が側壁に設置されているもの、上部に設置されているもの、吸気口と排気口のコーナーがあるものがあります。取り付け方向を間違えると、すぐには問題が現れない場合もありますが、風速分布、フィルターエレメントの応力、シール状態が設計状態から外れてしまいます。

ファンから始めて空気の流れを追跡します

方向を確認する最も確実な方法は、フィルター エレメントの矢印を見るのではなく、空気の流れの経路に沿って歩くことです。

出発点は送風機です。 EFUや装置給気ユニットのファンの位置と排気方向を確認してください。次に、エアダクトと分流構造を下にたどって、気流がどの構造部分を通過し、どこで向きを変え、最終的にどこから敏感な領域に入るのかを確認します。

中央にはディフューザープレート、フローネット、エアダクトエルボが存在する場合があります。これらの構造は空気の流れの方向に影響します。機器によっては内部の風路が直線的ではなく、ファンの排気口とフィルターエレメントの吸気面が斜めになっている場合があります。このとき、フィルターエレメントの矢印を見るだけでは判断を誤ってしまいがちです。

機器の図面上にこのパスをマークし、実際の組み立て位置と比較することは、経験から推測するよりも信頼性が高くなります。

フィルターエレメントのロゴを確認する必要がありますが、それだけに頼ることはできません。

通常品の外枠には風向矢印が記されております。このロゴはデザインの方向性であり、施工の方向性ではありません。

どういう意味ですか？矢印はフィルターエレメントを通過する設計上の空気の流れの方向を示していますが、装置に取り付けた後、実際の空気の流れの方向が正しいかどうかは、装置の空気経路の設計によって異なります。装置内部の風路が図面と異なる場合や、ファンの向きやエアダクトの接続が変更になった場合、矢印の方向が正しくなくなる場合があります。

別の状況もあります。一部の製品の保護ネットまたはシール面のデザインは対称で、前後に取り付けることができますが、正しいのは一方向のみです。このタイプの製品に明確なラベルが貼られていない場合、またはラベルがパッケージで隠れている場合は、現場で誤って取り付ける可能性が高くなります。

シール面と保護構造が手がかりとなる

矢印に加えて、フィルターエレメント自体の構造も判断基準となります。

シールガスケットまたは液体タンクは、ボックスの設計に応じて、通常、空気入口側または空気出口側に配置されます。押さえ面、保護ネット、流用構造の位置もデザインの方向性と一致しています。これらの特徴をボックス構造と比較することで、方向が正しいかどうかを相互検証できます。

フィルタエレメントを取り付けた後、押え片がシール面を押せない、またはシールガスケットの位置とボックスの接触面が一致しない場合は、方向に問題がある可能性があります。この種のアセンブリの異常は、矢印を見るよりも直接的です。

液体タンクのシールに関わる EFU では、組み立て時に刃先とタンク本体の嵌合方向も確認する必要があります。特定の検証方法については、関連するインターフェイスの説明を参照してください。

インストール後の確認方法

その方向性が正しいかどうかは、最終的には動作検証にかかっています。

組立完了後、実機にて対象エリアの風速と分布を測定します。方向が正しければ、風速は設計範囲内に収まり、比較的均等に分布するはずです。特定の側の風速が明らかに低い場合、または局所的な異常がある場合は、方向の問題も調査に含める必要があります。

フィルターエレメントとボックス間のインターフェースに焦点を当て、プロジェクト要件に従って設置漏れ検出を実行します。逆に取り付けるとシール面の応力状態が変化し、漏れ箇所の位置が通常組立時と異なる場合があります。

多くの場合、装置内には複数のファンと給気口があります。検証する際は、同じ方向であるとは考えず、一つ一つ確認してください。装置のデバッグ段階でファンの交換やエアダクトの調整などの変更があった場合は、方向を再確認する必要があります。

組み立て記録を残す

装置納入後またはメンテナンス後、各箇所のフィルタ番号、取り付け方向、圧縮方式、使用装置を記録し、写真を添付し​​てください。

装置を一定期間稼働させた後にフィルターエレメントを交換する必要がある場合、この記録によって保守担当者にフィルターエレメントが最初にどのように取り付けられたかを直接伝えることができます。半導体装置のメンテナンス枠は狭く、現場で図面をひっくり返したり、方向性を再判断したりするのに多くの時間がかかります。

同一機種の機械が複数ある場合は、保守員が異なる機械間で作業をローテーションしやすいように、組立方向や記録形式を統一することをお勧めします。

アイリ産業の設備サポートについて

アイ・リー・インダストリアル EFU装置側ファンフィルターユニットは 、超薄型構造と小型サイズのカスタマイズをサポートしており、 HEPA/ULPAエアフィルター は半導体装置内部に使用されます。ファン、エアダクト、ボックス、フィルタが同一の生産体制で設計されているため、工場出荷前に空気の流れ方向、シール面の位置、組立構造を均一に確認できます。

機器側プロジェクトの場合、給気ユニットの設置方向やインターフェースの整合方法の決定を容易にするために、機器の内部構造図、ファンの位置、対象エリア、設置可能スペースを提供することをお勧めします。関与する FFU ファン フィルタ ユニット またはその他のエンド タイプ システムの場合、混合を避けるために、機器側と工場側のインターフェイスを個別に確認することもお勧めします。具体的なパフォーマンスは、製品の技術データとプロジェクトの受け入れ結果によって異なります。