EFEM 内部 HEPA と工場出荷時の端末 HEPA のどちらを選択すればよいですか?

これら 2 つの位置のフィルターの仕様は同じ効率定格を持っていますが、選択する際に重視する点はまったく異なります。

EFEM は機器の一部であり、内部のフィルターは機器の構造に従う必要があります。工場の建物の端はクリーンルームシステムの一部であり、天井、エアダクト、制御システムと連携する必要があります。両者を同じものとして選んでしまうと、インターフェイスや風量、メンテナンス方法などで問題が発生しやすくなります。

デバイス側で、まず敏感な領域がどこにあるかを確認します

EFEM の中心となるのはウエハ搬送経路です。マニピュレーターの動き、ドアを開ける動き、およびキャビティ境界付近では、粒子制御に対する最も高い要件が課されます。

選択の最初のステップは、フィルター エレメントのグレードを決定することではなく、空気がどこに入るのか、どの構造を通過するのか、空気がどの敏感な場所を覆い、どこから排出されるのかなど、空気の流れの経路を描くことです。 EFEM の内部空間はコンパクトであり、構成部品が多くあります。空気の流れは、機械アーム、ドアパネル、ケーブルによって簡単に遮断されます。濾過効率に加えて、多くの場合、面の空気速度の均一性と範囲がより重要です。

製品レベルに特有の EFEM は通常、内部と一致します。 EFU は装置側のファンフィルターユニットに使用されます。電源と空気の供給構造は EFU によって提供され、内部 HEPA/ULPAエアフィルター。したがって、機種選定の際には、機器の使用可能な高さ内での EFU の空気供給能力、目標風量におけるフィルタエレメントの抵抗、および両者間のインターフェースが限られたスペース内で設置および交換できるかどうかを考慮する必要があります。

工場が注目するのはシステムの継続性です

工場建屋の端にあるフィルターは天井や高効率給気口に設置され、クリーンルーム全体または広いエリアに対応します。

ここでの焦点は機器側とは異なります。大面積の空気供給システムに適合する必要があり、風量はシステムの分布によって決まります。天井構造、FFU、または空調ボックスのインターフェイスに対応している必要があります。大量設置時の互換性とメンテナンスの利便性を考慮する必要があります。端子フィルタの交換には生産停止の手配が伴うことが多いため、インターフェースの標準化やスペアパーツの一貫性などのシステム要素がより重要です。

工場側の一般的な構成には次のものがあります。 FFUファンフィルターユニット と高効率給気口ですが、前者は専用のファンとフィルターが付属しますが、後者はボックスや密閉構造とのマッチングが必要です。具体的な選択を行う際には、エンドインターフェースとデバイス側を確認するための 2 つの考え方があります。

同一グレードをそのまま交換することはできません。

H14 が EFEM 内と工場の末端で使用されていると仮定すると、同じフィルターエレメントを使用できますか?

ほとんどの場合はそうではありません。外枠サイズ、シール方法、取付方向、分解組立経路が異なります。 EFEM 内のフィルタエレメントは装置スペースによって制限され、小型の非標準構造になる可能性があり、シール方法も EFU ボックスに適合する必要があります。工場建屋端のフィルタエレメントは規格サイズに近く、シール方法はガスケットや液タンクなどがあります。

偶然同じ寸法でもメンテナンス方法が異なります。設備更新時には設備稼働への影響を考慮し、工場更新時には天井工事やシステム停止の対応などを考慮する必要があります。機種を選択する際は、それぞれの使用シーンに応じて選択してください。同じグレードが普遍的に使用できると想定しないでください。

検証記録も分離する必要がある

機器の受け入れは、地域の風速、設備の漏れ検出、粒子制御の結果に基づいて決定されます。試験条件は装置の稼働状況に応じて設定します。

工場の受け入れは、風量、空気の流れの構成、空間の清浄度などを考慮したクリーンルームシステム計画に基づいて行われます。

2 種類の記録は、それぞれのフィルター番号と設置場所に対応して別々に保管されます。後で問題が発生した場合、それが装置内の問題なのか、工場システムの問題なのかをすぐに判断できます。装置側インターフェースが液タンクのシール構造に関わる場合、交換時に刃先とタンク本体の整合状態を確認する必要があります。詳細については、関連するインターフェイスの説明を参照してください。

アイリ産業の設備・工場支援設備について

アイ・リー・インダストリアル EFU装置側ファンフィルタユニットは 、超薄型構造と小型サイズのカスタマイズをサポートしており、 HEPA/ULPA エア フィルターは 、EFEM などの機器の内部で使用されます。も利用可能 FFUファンフィルターユニットと高効率給気口を採用。 工場建屋端には

ファン、モーター、制御システム、板金、フィルターが同じ製造システム内にあるため、機器側と工場側はそれぞれの構造的制約に従って構成でき、両方のシナリオに適応するために同じフィルター要素を使用する必要はありません。 EFEM プロジェクトの場合、装置側の空気供給ソリューションの判断を容易にするために、装置の内部構造図、利用可能な高さ、ターゲット領域、ウェーハ搬送経路を提供することをお勧めします。具体的なパフォーマンスは、製品の技術データとプロジェクトの受け入れ結果によって異なります。