Làm thế nào để lựa chọn giữa HEPA nội bộ của EFEM và HEPA của thiết bị đầu cuối nhà máy?
Thông số kỹ thuật của các bộ lọc ở hai vị trí này có thể có mức đánh giá hiệu quả như nhau, nhưng những điều cần chú ý khi lựa chọn lại hoàn toàn khác nhau.
EFEM là một phần của thiết bị và các bộ lọc bên trong phải tuân theo cấu trúc thiết bị; Phần cuối của nhà xưởng là một phần của hệ thống phòng sạch, phải phối hợp với trần nhà, ống gió và hệ thống điều khiển. Nếu bạn chọn cả hai giống nhau thì rất dễ gặp vấn đề về giao diện, lượng không khí hoặc phương pháp bảo trì.
Về phía thiết bị, trước tiên hãy kiểm tra xem khu vực nhạy cảm ở đâu
Cốt lõi bên trong EFEM là đường dẫn truyền wafer. Chuyển động của bộ điều khiển, chuyển động mở cửa và giao diện gần khoang có yêu cầu cao nhất về kiểm soát hạt.
Bước đầu tiên trong việc lựa chọn không phải là xác định cấp độ của phần tử lọc mà là vẽ đường dẫn luồng không khí: nơi không khí đi vào, cấu trúc nào nó đi qua, vị trí nhạy cảm nào nó bao phủ và nơi nó được thải ra. Không gian bên trong của EFEM nhỏ gọn và có nhiều bộ phận kết cấu. Luồng không khí dễ dàng bị chặn bởi cánh tay cơ khí, tấm cửa và dây cáp. Ngoài hiệu quả lọc, tính đồng nhất và độ bao phủ của tốc độ không khí mặt thường quan trọng hơn.
Cụ thể đối với cấp độ sản phẩm, EFEM thường phù hợp với nội bộ EFU được sử dụng trong bộ lọc quạt ở đầu thiết bị. Cấu trúc cung cấp điện và không khí được cung cấp bởi EFU và nội bộ Bộ lọc không khí HEPA/ULPA . Do đó, khi chọn một kiểu máy, bạn nên xem xét những điều sau: công suất cấp không khí của EFU trong phạm vi chiều cao sử dụng được của thiết bị, điện trở của phần tử lọc ở thể tích không khí mục tiêu và liệu giao diện giữa hai bộ phận này có thể được lắp đặt và thay thế trong một không gian hạn chế hay không.
Những gì nhà máy quan tâm là tính liên tục của hệ thống
Bộ lọc ở cuối nhà xưởng được lắp đặt trên trần nhà hoặc trên cửa cấp khí hiệu suất cao, phục vụ cho toàn bộ phòng sạch hoặc một khu vực rộng lớn.
Trọng tâm ở đây khác với phía thiết bị: nó phải phù hợp với hệ thống cấp không khí diện rộng, và thể tích không khí được xác định bởi sự phân bổ của hệ thống; nó phải tương ứng với cấu trúc trần, FFU hoặc giao diện hộp điều hòa không khí; phải xem xét khả năng thay thế lẫn nhau và thuận tiện bảo trì trong quá trình lắp đặt hàng loạt. Việc thay thế bộ lọc đầu cuối thường liên quan đến việc sắp xếp ngừng sản xuất, vì vậy các yếu tố mang tính hệ thống như tiêu chuẩn hóa giao diện và tính nhất quán của phụ tùng thay thế là quan trọng hơn.
Các cấu hình phổ biến ở phía nhà máy bao gồm Bộ lọc quạt FFU và cửa cấp khí hiệu suất cao, bộ lọc trước đi kèm với quạt và bộ lọc riêng, trong khi bộ lọc sau cần phải phù hợp với hộp và cấu trúc bịt kín. Khi thực hiện các lựa chọn cụ thể, có hai nhóm ý tưởng để kiểm tra giao diện cuối và mặt thiết bị.
Cùng một lớp không thể được trao đổi trực tiếp.
Giả sử H14 được sử dụng bên trong EFEM và ở cuối nhà máy, liệu phần tử lọc tương tự có thể được sử dụng không?
Không phải trong hầu hết các trường hợp. Kích thước khung bên ngoài, phương pháp bịt kín, hướng lắp đặt cũng như đường dẫn tháo lắp đều khác nhau. Phần tử lọc bên trong EFEM bị giới hạn bởi không gian thiết bị và có thể là cấu trúc không chuẩn có kích thước nhỏ và phương pháp niêm phong cũng phải phù hợp với hộp EFU; phần tử lọc ở cuối nhà xưởng gần với kích thước tiêu chuẩn hơn và phương pháp bịt kín có thể là miếng đệm hoặc bình chứa chất lỏng.
Ngay cả khi kích thước trùng hợp ngẫu nhiên thì phương pháp bảo trì cũng khác nhau. Phải xem xét tác động đến hoạt động của thiết bị khi thay thế thiết bị, đồng thời phải xem xét việc bố trí trần nhà và tắt hệ thống khi thay thế nhà máy. Khi chọn mô hình, hãy chọn chúng theo các kịch bản ứng dụng tương ứng. Đừng cho rằng cùng một loại có thể được sử dụng phổ biến.
Hồ sơ xác minh cũng cần được tách biệt
Việc nghiệm thu thiết bị dựa trên tốc độ gió cục bộ, kết quả phát hiện rò rỉ lắp đặt và kiểm soát hạt. Các điều kiện thử nghiệm được thiết lập tùy theo trạng thái hoạt động của thiết bị.
Việc nghiệm thu nhà máy được thực hiện theo sơ đồ hệ thống phòng sạch, xem xét lưu lượng không khí, tổ chức luồng không khí và độ sạch của không gian.
Hai loại hồ sơ này được lưu giữ riêng biệt, tương ứng với số hiệu bộ lọc và vị trí lắp đặt tương ứng. Khi sự cố xảy ra sau đó, có thể nhanh chóng xác định đó là sự cố bên trong thiết bị hay hệ thống nhà máy. Nếu giao diện phía thiết bị liên quan đến cấu trúc bịt kín của bình chứa chất lỏng, cần kiểm tra trạng thái khớp của cạnh lưỡi dao và thân bình khi thay thế. Để biết chi tiết, vui lòng tham khảo hướng dẫn giao diện có liên quan.
Giới thiệu về thiết bị và thiết bị hỗ trợ nhà máy của Aili Industrial
công nghiệp Ái Lý Bộ lọc quạt phía thiết bị EFU hỗ trợ cấu trúc siêu mỏng và tùy chỉnh kích thước nhỏ và có thể phù hợp với Bộ lọc không khí HEPA/ULPA được sử dụng bên trong các thiết bị như EFEM; cũng có sẵn Bộ lọc quạt FFU và cửa cấp khí hiệu suất cao được sử dụng ở cuối nhà xưởng.
Do quạt, động cơ, hệ thống điều khiển, tấm kim loại và bộ lọc nằm trong cùng một hệ thống sản xuất nên phía thiết bị và phía nhà máy có thể được cấu hình theo các ràng buộc về cấu trúc tương ứng và không cần phải sử dụng cùng một phần tử bộ lọc để thích ứng với cả hai tình huống. Đối với các dự án EFEM, nên cung cấp sơ đồ cấu trúc bên trong của thiết bị, chiều cao sẵn có, khu vực mục tiêu và đường dẫn truyền wafer để tạo điều kiện thuận lợi cho việc đánh giá giải pháp cấp khí phía thiết bị. Hiệu suất cụ thể tùy thuộc vào dữ liệu kỹ thuật của sản phẩm và kết quả nghiệm thu dự án.
