Wie kann man zwischen internem EFEM-HEPA und Fabrikterminal-HEPA wählen?

Die Spezifikationen der Filter in diesen beiden Positionen mögen zwar die gleiche Effizienzbewertung haben, aber die Dinge, auf die bei der Auswahl geachtet werden muss, sind völlig unterschiedlich.

EFEM ist Teil der Ausrüstung und die Filter im Inneren müssen der Gerätestruktur folgen; Das Ende des Fabrikgebäudes ist Teil des Reinraumsystems und muss mit der Decke, dem Luftkanal und dem Steuerungssystem zusammenarbeiten. Wenn Sie beides als dasselbe wählen, kann es leicht zu Problemen mit der Schnittstelle, dem Luftvolumen oder den Wartungsmethoden kommen.

Prüfen Sie geräteseitig zunächst, wo sich die sensiblen Bereiche befinden

Das Herzstück von EFEM ist der Wafertransferpfad. Manipulatorbewegungen, Türöffnungsbewegungen und Grenzflächen in der Nähe von Kavitäten stellen die höchsten Anforderungen an die Partikelkontrolle.

Der erste Schritt bei der Auswahl besteht nicht darin, die Qualität des Filterelements zu bestimmen, sondern darin, den Luftströmungsweg zu zeichnen: wo die Luft eintritt, welche Strukturen sie durchströmt, welche empfindlichen Stellen sie abdeckt und wo sie austritt. Der Innenraum von EFEM ist kompakt und es gibt viele Strukturteile. Der Luftstrom kann leicht durch mechanische Arme, Türverkleidungen und Kabel blockiert werden. Neben der Filtrationseffizienz sind die Gleichmäßigkeit und Abdeckung der Einströmluftgeschwindigkeit oft entscheidender.

Spezifisch auf Produktebene gleicht EFEM grundsätzlich intern ab EFU wird geräteseitig in der Lüfterfiltereinheit eingesetzt. Die Strom- und Luftversorgungsstruktur wird von EFU bereitgestellt, und die internen HEPA/ULPA-Luftfilter . Daher sollten Sie bei der Auswahl eines Modells Folgendes berücksichtigen: die Luftzufuhrkapazität des EFU innerhalb der nutzbaren Höhe des Geräts, den Widerstand des Filterelements bei der Zielluftmenge und ob die Schnittstelle zwischen beiden auf begrenztem Raum installiert und ausgetauscht werden kann.

Die Fabrik achtet auf Systemkontinuität

Der Filter am Ende des Fabrikgebäudes wird an der Decke oder am Hochleistungsluftauslass installiert und versorgt den gesamten Reinraum oder einen großen Bereich.

Der Fokus liegt hier anders als auf der Geräteseite: Es muss zum großflächigen Luftversorgungssystem passen und die Luftmenge wird durch die Systemverteilung bestimmt; es muss der Deckenkonstruktion, der FFU oder der Schnittstelle des Klimakastens entsprechen; Die Austauschbarkeit und Wartungsfreundlichkeit bei Masseninstallationen müssen berücksichtigt werden. Der Austausch des Endfilters ist häufig mit Produktionsstillständen verbunden, daher sind systemische Faktoren wie Schnittstellenstandardisierung und Ersatzteilkonsistenz wichtiger.

Zu den gängigen Konfigurationen auf Werksseite gehören: FFU-Lüfterfiltereinheit und hocheffizienter Luftzufuhrauslass. Erstere wird mit einem eigenen Lüfter und Filter geliefert, während letztere mit dem Gehäuse und der Dichtungsstruktur abgestimmt werden muss. Bei der konkreten Auswahl gibt es zwei Ideen zur Prüfung der Endschnittstelle und der Geräteseite.

Die gleiche Note kann nicht direkt ausgetauscht werden.

Kann unter der Annahme, dass H14 in EFEM und am Ende der Fabrik verwendet wird, dasselbe Filterelement verwendet werden?

In den meisten Fällen nicht. Die Außenrahmengröße, die Dichtungsmethode, die Installationsrichtung sowie die Demontage- und Montagewege sind alle unterschiedlich. Das Filterelement im EFEM ist durch den Geräteraum begrenzt und kann eine kleine, nicht standardmäßige Struktur sein, und die Dichtungsmethode muss auch zur EFU-Box passen; Das Filterelement am Ende des Fabrikgebäudes entspricht eher der Standardgröße, und die Dichtungsmethode kann eine Dichtung oder ein Flüssigkeitstank sein.

Auch wenn die Abmessungen zufällig gleich sind, sind die Wartungsmethoden unterschiedlich. Beim Austausch der Ausrüstung müssen die Auswirkungen auf den Gerätebetrieb berücksichtigt werden, und beim Austausch der Fabrik müssen Deckenarbeiten und Vorkehrungen zur Systemabschaltung berücksichtigt werden. Wählen Sie bei der Auswahl der Modelle diese entsprechend ihrem jeweiligen Einsatzszenario aus. Gehen Sie nicht davon aus, dass die gleiche Sorte universell einsetzbar ist.

Auch Verifizierungsdatensätze sollten getrennt werden

Die Akzeptanz der Ausrüstung basiert auf der lokalen Windgeschwindigkeit, der Installationsleckerkennung und den Ergebnissen der Partikelkontrolle. Die Testbedingungen werden entsprechend dem Betriebszustand der Ausrüstung festgelegt.

Die Abnahme der Fabrik erfolgt gemäß dem Reinraumsystemplan unter Berücksichtigung des Luftvolumens, der Luftströmungsorganisation und der Raumsauberkeit.

Die beiden Arten von Aufzeichnungen werden getrennt geführt, entsprechend ihrer jeweiligen Filternummern und Installationsorte. Wenn später ein Problem auftritt, kann schnell festgestellt werden, ob es sich um ein Problem innerhalb der Ausrüstung oder des Fabriksystems handelt. Wenn es sich bei der geräteseitigen Schnittstelle um die Dichtungsstruktur des Flüssigkeitstanks handelt, muss beim Austausch der Übereinstimmungsstatus von Klingenkante und Tankkörper überprüft werden. Einzelheiten entnehmen Sie bitte der jeweiligen Schnittstellenanleitung.

Über die Ausrüstung und werksunterstützende Ausrüstung von Aili Industrial

Ai Li industriell Die geräteseitige Lüfterfiltereinheit von EFU unterstützt eine ultradünne Struktur und eine individuelle Anpassung an kleine Größen und kann angepasst werden HEPA/ULPA-Luftfilter werden in Geräten wie EFEM verwendet; auch verfügbar Am Ende des Fabrikgebäudes werden eine FFU-Lüfterfiltereinheit und ein hocheffizienter Luftversorgungsauslass eingesetzt.

Da sich Ventilatoren, Motoren, Steuerungssysteme, Bleche und Filter im selben Fertigungssystem befinden, können die Geräteseite und die Werksseite entsprechend ihren jeweiligen strukturellen Gegebenheiten konfiguriert werden, und es ist nicht erforderlich, dasselbe Filterelement zu verwenden, um sich an beide Szenarien anzupassen. Für EFEM-Projekte wird empfohlen, das interne Strukturdiagramm der Ausrüstung, die verfügbare Höhe, den Zielbereich und den Wafertransferweg bereitzustellen, um die Beurteilung der ausrüstungsseitigen Luftversorgungslösung zu erleichtern. Die spezifische Leistung hängt von den technischen Daten des Produkts und den Ergebnissen der Projektabnahme ab.