EFEM 내부 HEPA와 공장 터미널 HEPA 중에서 선택하는 방법은 무엇입니까?
이 두 위치의 필터 사양은 효율 등급은 동일할 수 있지만 선택할 때 중점을 두는 사항은 완전히 다릅니다.
EFEM은 장비의 일부이며 내부 필터는 장비 구조를 따라야 합니다. 공장 건물의 끝 부분은 클린룸 시스템의 일부이며 천장, 공기 덕트 및 제어 시스템과 협력해야 합니다. 둘을 같은 것으로 선택하면 인터페이스나 풍량, 유지관리 방법에 문제가 생기기 쉽습니다.
기기 측에서는 먼저 민감한 부위가 어디에 있는지 확인하세요.
EFEM 내부의 핵심은 웨이퍼 이송 경로입니다. 조작기 움직임, 도어 열기 움직임 및 캐비티 인터페이스 근처에는 입자 제어에 대한 요구 사항이 가장 높습니다.
선택의 첫 번째 단계는 필터 요소의 등급을 결정하는 것이 아니라 공기 흐름 경로(공기가 들어가는 위치, 통과하는 구조, 덮는 민감한 위치 및 배출되는 위치)를 그리는 것입니다. EFEM의 내부 공간은 컴팩트하고 구조적인 부분이 많습니다. 공기 흐름은 기계식 암, 도어 패널 및 케이블에 의해 쉽게 차단됩니다. 여과 효율성 외에도 표면 공기 속도의 균일성과 적용 범위가 더 중요한 경우가 많습니다.
제품 수준에 따라 EFEM은 일반적으로 내부 수준과 일치합니다. EFU 는 장비 끝단의 팬 필터 장치에 사용됩니다. 전원 및 공기 공급 구조는 EFU에서 제공하며 내부는 HEPA/ULPA 공기 필터 . 따라서 모델을 선택할 때는 장비의 사용 가능 높이 내에서 EFU의 공기 공급 능력, 목표 공기량에서 필터 엘리먼트의 저항, 둘 사이의 인터페이스가 제한된 공간에 설치 및 교체가 가능한지 여부를 고려해야 합니다.
공장에서 보는 것은 시스템 연속성입니다.
공장동 말단의 필터는 천정이나 고효율 공기공급구에 설치되어 클린룸 전체 또는 넓은 면적에 사용됩니다.
여기서 초점은 장비 측면과 다릅니다. 대면적 공기 공급 시스템과 일치해야 하며 공기량은 시스템 분포에 따라 결정됩니다. 천장 구조, FFU 또는 에어컨 박스 인터페이스와 일치해야 합니다. 대량 설치시 호환성과 유지보수 편의성을 고려해야 합니다. 터미널 필터 교체에는 종종 생산 중단 준비가 포함되므로 인터페이스 표준화 및 예비 부품 일관성과 같은 시스템적 요소가 더 중요합니다.
공장 측의 일반적인 구성은 다음과 같습니다. FFU 팬 필터 장치 및 고효율 공기 공급 출구. 전자는 자체 팬 및 필터와 함께 제공되는 반면 후자는 상자 및 밀봉 구조와 일치해야 합니다. 특정 선택을 할 때 최종 인터페이스와 장치 측면을 확인하는 두 가지 아이디어가 있습니다.
동일한 등급은 직접 교환할 수 없습니다.
H14를 EFEM 내부와 공장 마지막에 사용한다고 가정하면, 동일한 필터 엘리먼트를 사용할 수 있나요?
대부분의 경우에는 그렇지 않습니다. 외부 프레임 크기, 밀봉 방법, 설치 방향, 분해 및 조립 경로가 모두 다릅니다. EFEM 내부의 필터 요소는 장비 공간에 의해 제한되며 소형 비표준 구조일 수 있으며 밀봉 방법도 EFU 상자와 일치해야 합니다. 공장 건물 끝에 있는 필터 요소는 표준화된 크기에 더 가깝고 밀봉 방법은 개스킷 또는 액체 탱크일 수 있습니다.
우연히 같은 치수라도 유지관리 방법이 다릅니다. 장비를 교체할 때는 장비 작동에 미치는 영향을 고려해야 하며, 공장을 교체할 때는 천장 작업 및 시스템 차단 조치를 고려해야 합니다. 모델을 선택할 때 해당 적용 시나리오에 따라 선택하십시오. 동일한 등급이 보편적으로 사용될 수 있다고 가정하지 마십시오.
확인기록도 분리되어야 한다
장비의 승인 여부는 국지적 풍속, 설치 누출 감지 및 입자 제어 결과를 기준으로 결정됩니다. 테스트 조건은 장비의 작동 상태에 따라 설정됩니다.
공장 인수는 클린룸 시스템 계획에 따라 공기량, 공기 흐름 구성 및 공간 청결도를 고려하여 수행됩니다.
두 가지 유형의 기록은 각각의 필터 번호 및 설치 위치에 따라 별도로 보관됩니다. 나중에 문제가 발생했을 때 장비 내부의 문제인지, 공장 시스템의 문제인지 빠르게 판단할 수 있습니다. 장비측 인터페이스가 액체 탱크의 밀봉 구조와 관련된 경우 교체 시 블레이드 가장자리와 탱크 본체의 일치 상태를 확인해야 합니다. 자세한 내용은 관련 인터페이스 지침을 참조하세요.
Aili Industrial의 장비 및 공장 지원 장비 소개
아이 리 산업 EFU 장비측 팬 필터 장치는 초박형 구조와 소형 크기 맞춤화를 지원하며 다음과 일치할 수 있습니다. HEPA/ULPA 공기 필터는 EFEM과 같은 장비 내부에 사용됩니다. 또한 가능 FFU 팬 필터 장치 와 고효율 공기 공급 출구는 공장 건물 끝에 사용됩니다.
팬, 모터, 제어 시스템, 판금 및 필터가 동일한 제조 시스템에 있기 때문에 장비 측면과 공장 측면은 각각의 구조적 제약에 따라 구성할 수 있으며 두 시나리오에 적용하기 위해 동일한 필터 요소를 사용할 필요가 없습니다. EFEM 프로젝트의 경우 장비 측 공기 공급 솔루션의 판단을 용이하게 하기 위해 장비의 내부 구조 다이어그램, 사용 가능한 높이, 대상 영역 및 웨이퍼 이송 경로를 제공하는 것이 좋습니다. 구체적인 성능은 제품 기술 데이터 및 프로젝트 승인 결과에 따라 달라질 수 있습니다.
