Как подтвердить направление установки высокоэффективных фильтров в полупроводниковой технике?

Обратная установка не очень распространена у ФФУ на заводских потолках – воздуховыпускное отверстие направлено вниз и направление в основном фиксировано. Но внутри полупроводниковых приборов ситуация не столь интуитивна.

Крышка оборудования имеет отверстия, трубы и механические движущиеся части. Вы не можете сказать, откуда воздух входит, а где выходит, просто взглянув на внешний вид. ЭФУ некоторого оборудования устанавливается на боковой стенке, у некоторых – сверху, у некоторых имеются уголки для входа и выхода воздуха. Если направление установки неправильное, проблема может быть незаметна в течение короткого времени, но распределение скорости ветра, нагрузка на фильтрующий элемент и состояние уплотнения будут отклоняться от проектного состояния.

Начните с вентилятора и следите за потоком воздуха.

Самый надежный способ проверить направление — пройти вдоль пути воздушного потока, а не просто смотреть на стрелку на фильтрующем элементе.

Отправной точкой является воздуходувка. Определите положение вентилятора EFU или блока подачи воздуха оборудования и проверьте направление выхода воздуха. Затем проследите за воздуховодом и отводящей конструкцией вниз, чтобы увидеть, через какие части конструкции проходит воздушный поток, где он поворачивает и где он наконец попадает в чувствительную зону.

В середине могут быть диффузорные пластины, проточные сетки и колена воздуховодов. Эти конструкции будут влиять на направление воздушного потока. Внутренний воздушный путь некоторых устройств непрямой, а воздуховыпускное отверстие вентилятора и воздухозаборная поверхность фильтрующего элемента повернуты под углом. В это время легко сделать неправильное суждение, просто взглянув на стрелку фильтрующего элемента.

Отметить этот путь на чертеже оборудования и сравнить его с фактическим положением сборки более надежно, чем делать выводы из опыта.

Стоит посмотреть на логотип на фильтрующем элементе, но полагаться только на него нельзя.

Внешняя рамка обычных продуктов будет отмечена стрелкой направления воздушного потока. Этот логотип указывает направление дизайна, а не направление установки.

В чем смысл? Стрелка указывает направление расчетного потока воздуха через фильтрующий элемент, но после его установки в устройство правильность фактического направления потока воздуха зависит от конструкции воздушного тракта устройства. Если внутренний путь воздуха оборудования отличается от чертежа или направление вращения вентилятора или подключение воздуховода изменяются, направление стрелки может быть неправильным.

Существует и другая ситуация: конструкция защитной сетки или уплотнительной поверхности некоторых изделий симметрична и может быть установлена ​​спереди и сзади, но правильным является только одно направление. Если этот тип продукта не имеет четкой маркировки или если этикетка скрыта упаковкой, его легко установить неправильно на месте.

Уплотнительные поверхности и защитные конструкции дадут подсказки

Помимо стрелок, основанием для суждения может служить и сама конструкция фильтрующего элемента.

Уплотнительная прокладка или резервуар для жидкости обычно расположены на стороне входа или выхода воздуха, в зависимости от конструкции коробки. Положения прижимной поверхности, защитной сетки и отводящей конструкции соответствуют направлению проектирования. Сравнение этих функций с блочной структурой может перекрестно проверить правильность направления.

Если после установки фильтрующего элемента прижимная деталь не может прижать уплотнительную поверхность или положение уплотнительной прокладки и контактной поверхности на коробке не совпадают, скорее всего, проблема с направлением. Такая аномалия сборки более очевидна, чем взгляд на стрелки.

Для EFU, участвующего в герметизации бака для жидкости, направление соприкосновения кромки лезвия и корпуса бака также должно быть подтверждено во время сборки. Конкретные методы проверки см. в соответствующих инструкциях по интерфейсу.

Как проверить после установки

Верно ли направление или нет, в конечном итоге зависит от оперативной проверки.

После завершения сборки измерьте скорость и распределение ветра в целевой зоне на фактическом рабочем механизме. Если направление правильное, скорость ветра должна находиться в пределах расчетного диапазона и распределяться относительно равномерно. Если скорость ветра на определенной стороне явно низкая или имеются локальные аномалии, в исследование следует включить проблему направления.

Выполните обнаружение утечек установки в соответствии с требованиями проекта, уделяя особое внимание стыку между фильтрующим элементом и коробкой. Обратная установка может привести к изменению напряженного состояния уплотнительной поверхности, а расположение места утечки может отличаться от такового при обычной сборке.

Внутри оборудования часто имеется несколько вентиляторов и отверстий для подачи воздуха. При проверке подтверждайте их по одному и не предполагайте, что они находятся в одном направлении. Если на этапе отладки оборудования вносятся изменения, например, замена вентилятора или регулировка воздуховода, направление необходимо перепроверить.

Ведите запись собраний

После доставки или обслуживания оборудования запишите номер фильтра, направление установки, метод сжатия и рабочее оборудование в каждом месте и прикрепите фотографии.

Если фильтрующий элемент необходимо заменить после того, как оборудование проработало в течение определенного периода времени, эта запись может напрямую сообщить обслуживающему персоналу, как он был первоначально установлен. Окно обслуживания полупроводникового оборудования обычно ограничено, и требуется много времени, чтобы пересмотреть чертежи и пересмотреть направление на месте.

Если оборудование имеет несколько машин одной модели, рекомендуется унифицировать направление сборки и формат записи, чтобы облегчить обслуживающему персоналу чередование операций между разными машинами.

О поддержке оборудования Aili Industrial

Ай Ли Индастриал Вентиляционный фильтр со стороны оборудования EFU имеет сверхтонкую структуру и небольшой размер, а также может сочетаться с Воздушные фильтры HEPA/ULPA используются внутри полупроводникового оборудования. Поскольку вентилятор, воздуховод, коробка и фильтр разработаны в одной производственной системе, направление воздушного потока, положение уплотняющей поверхности и конструкция сборки могут быть единообразно подтверждены перед отправкой с завода.

Для проектов со стороны оборудования рекомендуется предоставить схему внутренней структуры оборудования, положение вентилятора, целевую площадь и доступное пространство для установки, чтобы облегчить определение направления установки и метода согласования интерфейсов блока подачи воздуха. с участием Для вентиляторных фильтрующих блоков FFU или других систем конечного типа также рекомендуется отдельно проверять интерфейсы на стороне оборудования и на заводе, чтобы избежать перепутывания. Конкретные характеристики зависят от технических данных продукта и результатов приемки проекта.