¿Cómo confirmar la dirección de instalación de filtros de alta eficiencia en equipos semiconductores?

La instalación al revés no es muy común en FFU en techos de fábrica: la salida de aire mira hacia abajo y la dirección es básicamente fija. Pero dentro de los dispositivos semiconductores la situación no es tan intuitiva.

La cubierta del equipo tiene aberturas, tuberías y partes mecánicas móviles. No se puede saber por dónde entra y por dónde sale el aire con sólo mirar la apariencia. La EFU de algunos equipos está instalada en la pared lateral, algunos están instalados en la parte superior y otros tienen esquinas para la entrada y salida de aire. Si la dirección de instalación es incorrecta, es posible que el problema no sea visible en poco tiempo, pero la distribución de la velocidad del viento, la tensión del elemento filtrante y el estado de sellado se desviarán del estado de diseño.

Comience con el ventilador y siga el flujo de aire.

La forma más confiable de confirmar la dirección es caminar a lo largo del recorrido del flujo de aire en lugar de simplemente mirar la flecha en el elemento filtrante.

El punto de partida es el soplador. Localice la posición del ventilador de la EFU o de la unidad de suministro de aire del equipo y confirme la dirección de salida de aire. Luego siga el conducto de aire y la estructura de desviación hacia abajo para ver por qué partes estructurales pasa el flujo de aire, dónde gira y dónde ingresa finalmente al área sensible.

Puede haber placas difusoras, redes de flujo y codos de conductos de aire en el medio. Estas estructuras afectarán la dirección del flujo de aire. La ruta de aire interna de algunos equipos no es recta y la salida de aire del ventilador y la superficie de entrada de aire del elemento filtrante están giradas en ángulo. En este momento, es fácil hacer un juicio equivocado con sólo mirar la flecha del elemento filtrante.

Marcar este camino en el plano del equipo y compararlo con la posición real de montaje es más confiable que inferirlo de la experiencia.

Deberías mirar el logotipo en el elemento filtrante, pero no puedes confiar sólo en él.

El marco exterior de los productos normales estará marcado con una flecha de dirección del flujo de aire. Este logotipo es la dirección del diseño, no la dirección de instalación.

¿Cuál es el significado? La flecha apunta a la dirección del flujo de aire diseñado a través del elemento filtrante, pero una vez instalado en el dispositivo, si la dirección real del flujo de aire es correcta depende del diseño de la ruta de aire del dispositivo. Si la ruta de aire interna del equipo es diferente a la del dibujo, o si la dirección del ventilador o la conexión del conducto de aire cambian, es posible que la dirección de la flecha no sea correcta.

Existe otra situación: el diseño de la red protectora o de la superficie de sellado de algunos productos es simétrico y se puede instalar por delante y por detrás, pero sólo una dirección es correcta. Si este tipo de producto no está claramente etiquetado, o si la etiqueta queda oscurecida por el embalaje, es fácil instalarlo incorrectamente en el sitio.

Las superficies de sellado y las estructuras protectoras darán pistas

Además de las flechas, la estructura del propio elemento filtrante también puede servir de base para realizar valoraciones.

La junta de sellado o el tanque de líquido generalmente se encuentra en el lado de entrada o salida de aire, según el diseño de la caja. Las posiciones de la superficie de presión, la red protectora y la estructura de desvío corresponden a la dirección del diseño. La comparación de estas características con la estructura de la caja puede verificar de forma cruzada si la dirección es correcta.

Si después de instalar el elemento filtrante, la pieza de presión no puede presionar la superficie de sellado, o la posición de la junta de sellado y la superficie de contacto en la caja no coinciden, lo más probable es que haya un problema con la dirección. Este tipo de anomalía de ensamblaje es más directa que mirar flechas.

Para la EFU involucrada en el sellado del tanque de líquido, la dirección de acoplamiento del borde de la cuchilla y el cuerpo del tanque también se debe confirmar durante el ensamblaje. Para conocer métodos de verificación específicos, consulte las instrucciones de la interfaz correspondientes.

Cómo verificar después de la instalación

Que la dirección sea correcta o no depende en última instancia de la verificación operativa.

Una vez completado el montaje, mida la velocidad y distribución del viento en el área objetivo con la marcha de trabajo real. Si la dirección es correcta, la velocidad del viento debería estar dentro del rango de diseño y distribuirse relativamente uniformemente. Si la velocidad del viento en un lado determinado es obviamente baja o hay anomalías locales, el problema de dirección debe incluirse en la investigación.

Realizar la detección de fugas en la instalación de acuerdo con los requisitos del proyecto, enfocándose en la interfaz entre el elemento filtrante y la caja. La instalación inversa puede hacer que cambie el estado de tensión de la superficie de sellado y la ubicación del punto de fuga puede ser diferente a la del montaje normal.

A menudo hay varios ventiladores y salidas de suministro de aire dentro del equipo. Al verificar, confírmalos uno por uno y no asumas que están en la misma dirección. Si se realizan cambios durante la etapa de depuración del equipo, como reemplazar el ventilador o ajustar el conducto de aire, se debe volver a verificar la dirección.

Mantener un registro de asamblea

Después de entregar o mantener el equipo, registre el número de filtro, la dirección de instalación, el método de compresión y el equipo operativo de cada ubicación, y adjunte fotografías.

Cuando es necesario reemplazar el elemento filtrante después de que el equipo ha estado funcionando durante un período de tiempo, este registro puede indicarle directamente al personal de mantenimiento cómo se instaló originalmente. La ventana de mantenimiento para los equipos semiconductores suele ser ajustada y lleva mucho tiempo revisar los planos y volver a juzgar la dirección en el sitio.

Si el equipo tiene varias máquinas del mismo modelo, se recomienda unificar la dirección de montaje y el formato de registro para facilitar que el personal de mantenimiento rote las operaciones entre diferentes máquinas.

Acerca del soporte de equipos de Aili Industrial

Ai Li industrial La unidad de filtro de ventilador del lado del equipo EFU admite una estructura ultrafina y una personalización de tamaño pequeño, y se puede combinar con Los filtros de aire HEPA/ULPA se utilizan dentro de equipos semiconductores. Dado que el ventilador, el conducto de aire, la caja y el filtro están diseñados en el mismo sistema de fabricación, la dirección del flujo de aire, la posición de la superficie de sellado y la estructura del ensamblaje se pueden confirmar uniformemente antes de salir de fábrica.

Para proyectos del lado del equipo, se recomienda proporcionar el diagrama de estructura interna del equipo, la posición del ventilador, el área objetivo y el espacio de instalación disponible, para facilitar la determinación de la dirección de instalación y el método de coincidencia de interfaz de la unidad de suministro de aire. involucrando Para unidades de filtro de ventilador FFU u otros sistemas de tipo final, también se recomienda confirmar las interfaces en el extremo del equipo y en el extremo de fábrica por separado para evitar mezclas. El rendimiento específico está sujeto a los datos técnicos del producto y a los resultados de aceptación del proyecto.