Làm cách nào để xác nhận hướng lắp đặt bộ lọc hiệu suất cao trong thiết bị bán dẫn?
Việc lắp đặt ngược không phổ biến lắm trên FFU trên trần nhà xưởng - cửa thoát khí hướng xuống dưới và hướng về cơ bản là cố định. Nhưng bên trong các thiết bị bán dẫn, tình hình không trực quan như vậy.
Vỏ thiết bị có các lỗ hở, đường ống và các bộ phận chuyển động cơ học. Bạn không thể biết không khí đi vào và thoát ra ở đâu chỉ bằng cách nhìn vào vẻ bề ngoài. EFU của một số thiết bị được lắp đặt trên tường bên, một số được lắp ở phía trên và một số có các góc cho cửa hút gió và cửa thoát khí. Nếu hướng lắp đặt sai, vấn đề có thể không được nhìn thấy trong thời gian ngắn, nhưng sự phân bổ tốc độ gió, ứng suất của phần tử bộ lọc và trạng thái bịt kín sẽ lệch khỏi trạng thái thiết kế.
Bắt đầu với quạt và theo luồng khí
Cách đáng tin cậy nhất để xác nhận hướng là đi dọc theo đường dẫn luồng khí thay vì chỉ nhìn vào mũi tên trên phần tử bộ lọc.
Điểm khởi đầu là máy thổi. Xác định vị trí quạt của EFU hoặc bộ cấp khí của thiết bị và xác nhận hướng thoát khí của nó. Sau đó đi theo ống dẫn khí và cấu trúc chuyển hướng xuống dưới để xem luồng khí đi qua những bộ phận cấu trúc nào, nó quay hướng nào và cuối cùng nó đi vào khu vực nhạy cảm ở đâu.
Có thể có các tấm khuếch tán, lưới dẫn khí và khuỷu ống dẫn khí ở giữa. Những cấu trúc này sẽ ảnh hưởng đến hướng của luồng không khí. Đường dẫn khí bên trong của một số thiết bị không thẳng, cửa thoát khí của quạt và bề mặt hút gió của bộ phận lọc bị quay một góc. Lúc này, chỉ cần nhìn vào mũi tên của phần tử lọc là rất dễ đưa ra phán đoán sai lầm.
Đánh dấu đường dẫn này trên bản vẽ thiết bị và so sánh với vị trí lắp ráp thực tế sẽ đáng tin cậy hơn so với việc suy luận từ kinh nghiệm.
Bạn nên nhìn vào logo trên phần tử bộ lọc, nhưng bạn không thể chỉ dựa vào nó.
Khung bên ngoài của sản phẩm thông thường sẽ được đánh dấu bằng mũi tên hướng luồng khí. Logo này là hướng thiết kế chứ không phải hướng lắp đặt.
Ý nghĩa là gì? Mũi tên chỉ hướng của luồng khí được thiết kế qua phần tử lọc, nhưng sau khi được lắp vào thiết bị, hướng luồng khí thực tế có chính xác hay không phụ thuộc vào thiết kế đường dẫn khí của thiết bị. Nếu đường dẫn khí bên trong của thiết bị khác với bản vẽ hoặc nếu hướng của quạt hoặc kết nối ống dẫn khí thay đổi thì hướng của mũi tên có thể không chính xác.
Có một tình huống khác: lưới bảo vệ hoặc bề mặt bịt kín của một số sản phẩm có thiết kế đối xứng và có thể lắp trước và sau, nhưng chỉ đúng một hướng. Nếu loại sản phẩm này không được dán nhãn rõ ràng hoặc nhãn bị che khuất bởi bao bì thì rất dễ lắp đặt sai tại chỗ.
Việc bịt kín các bề mặt và cấu trúc bảo vệ sẽ đưa ra manh mối
Ngoài các mũi tên, bản thân cấu trúc của phần tử bộ lọc cũng có thể cung cấp cơ sở để phán đoán.
Miếng đệm kín hoặc bình chứa chất lỏng thường được đặt ở phía cửa nạp khí hoặc phía cửa thoát khí, tùy thuộc vào thiết kế hộp. Các vị trí của bề mặt ép, lưới bảo vệ và kết cấu dẫn hướng đều tuân theo hướng thiết kế. So sánh các tính năng này với cấu trúc hộp có thể xác minh chéo xem hướng có đúng hay không.
Nếu sau khi lắp phần tử lọc, miếng ép không thể ấn vào bề mặt bịt kín hoặc vị trí của gioăng bịt kín và bề mặt tiếp xúc trên hộp không gặp nhau thì rất có thể có vấn đề về hướng. Kiểu lắp ráp bất thường này trực tiếp hơn việc nhìn vào mũi tên.
Đối với EFU liên quan đến việc bịt kín bình chứa chất lỏng, hướng giao tiếp của cạnh lưỡi dao và thân bình cũng phải được xác nhận trong quá trình lắp ráp. Để biết các phương pháp xác minh cụ thể, vui lòng tham khảo hướng dẫn giao diện liên quan.
Cách xác minh sau khi cài đặt
Phương hướng có chính xác hay không cuối cùng phụ thuộc vào việc xác minh hoạt động.
Sau khi lắp ráp xong, đo tốc độ gió và sự phân bổ gió trong khu vực mục tiêu tại thiết bị làm việc thực tế. Nếu hướng đúng thì tốc độ gió sẽ nằm trong phạm vi thiết kế và phân bố tương đối đều. Nếu tốc độ gió ở một phía nào đó rõ ràng là thấp hoặc có những bất thường cục bộ thì vấn đề về hướng gió nên được đưa vào cuộc điều tra.
Thực hiện phát hiện rò rỉ lắp đặt theo yêu cầu của dự án, tập trung vào giao diện giữa phần tử bộ lọc và hộp. Việc lắp đặt ngược có thể làm thay đổi trạng thái ứng suất của bề mặt bịt kín và vị trí của điểm rò rỉ có thể khác với vị trí trong quá trình lắp ráp thông thường.
Thường có nhiều quạt và cửa cấp khí bên trong thiết bị. Khi xác minh, hãy xác nhận từng cái một và đừng cho rằng chúng cùng hướng. Nếu có thay đổi trong giai đoạn gỡ lỗi thiết bị, chẳng hạn như thay quạt hoặc điều chỉnh ống dẫn khí thì phải kiểm tra lại hướng.
Lưu giữ hồ sơ lắp ráp
Sau khi thiết bị được giao hoặc bảo trì, ghi lại số bộ lọc, hướng lắp đặt, phương pháp nén và thiết bị vận hành của từng vị trí và đính kèm ảnh.
Khi cần thay thế bộ phận lọc sau khi thiết bị đã hoạt động được một thời gian, bản ghi này có thể trực tiếp cho nhân viên bảo trì biết cách lắp đặt ban đầu. Thời gian bảo trì thiết bị bán dẫn thường rất kín và phải mất rất nhiều thời gian để lật lại bản vẽ và đánh giá lại phương hướng tại chỗ.
Nếu thiết bị có nhiều máy cùng model thì nên thống nhất hướng lắp ráp và dạng thức ghi để thuận tiện cho nhân viên bảo trì luân chuyển thao tác giữa các máy khác nhau.
Giới thiệu về hỗ trợ thiết bị của Aili Industrial
công nghiệp Ái Lý Bộ lọc quạt phía thiết bị EFU hỗ trợ cấu trúc siêu mỏng và tùy chỉnh kích thước nhỏ và có thể phù hợp với Bộ lọc không khí HEPA/ULPA được sử dụng bên trong thiết bị bán dẫn. Do quạt, ống dẫn khí, hộp và bộ lọc được thiết kế trong cùng một hệ thống sản xuất nên hướng luồng khí, vị trí bề mặt bịt kín và cấu trúc lắp ráp có thể được xác nhận thống nhất trước khi rời khỏi nhà máy.
Đối với các dự án về phía thiết bị, nên cung cấp sơ đồ cấu trúc bên trong của thiết bị, vị trí của quạt, khu vực mục tiêu và không gian lắp đặt sẵn có để tạo điều kiện thuận lợi cho việc xác định hướng lắp đặt và phương pháp khớp giao diện của bộ cấp không khí. liên quan đến Đối với các bộ lọc quạt FFU hoặc các hệ thống loại cuối khác, bạn cũng nên xác nhận riêng các giao diện ở đầu thiết bị và đầu cuối nhà máy để tránh trộn lẫn. Hiệu suất cụ thể tùy thuộc vào dữ liệu kỹ thuật của sản phẩm và kết quả nghiệm thu dự án.
