Comment déterminer les spécifications et la quantité de FFU pour les nouveaux projets de semi-conducteurs ?
Réponse directe : Déterminez d'abord les objectifs de propreté et l'organisation du flux d'air de chaque zone de traitement, puis calculez le volume d'alimentation en air requis et la zone de couverture du plafond. Utilisez le volume d'air, la pression statique et la résistance du filtre dans les conditions de travail du projet pour déterminer les spécifications d'un seul FFU. Calculez la quantité en fonction respectivement du volume d'air et de la zone d'aménagement. Choisissez une configuration qui peut répondre aux deux exigences en même temps. Enfin, vérifiez-le grâce à des prototypes et des tests sur site.
Les nouveaux projets de semi-conducteurs incluent généralement des zones de traitement, des zones d'équipement et des zones auxiliaires avec des exigences de propreté différentes. Le nombre de FFU ne peut pas être obtenu en divisant simplement la superficie de la pièce par la superficie d'une seule unité ; de même, le volume d'air nominal maximum du produit ne peut pas être directement utilisé comme volume d'air de conception. La capacité du FFU à atteindre l'objectif après l'installation dépend du ventilateur,Les filtres HEPA ou ULPA , la disposition du plafond, les chemins de retour d'air et les méthodes de contrôle peuvent être adaptés dans les mêmes conditions de travail.
Déterminez d’abord les besoins en matière de nettoyage et d’approvisionnement en air par région
Avant la sélection, le niveau de propreté, les exigences du processus en matière de particules, la génération de poussière par le personnel et l'équipement, la dissipation thermique de l'équipement, la durée de fonctionnement et la nécessité d'une propreté locale plus élevée doivent être clarifiés zone par zone. Sur cette base, l'équipe de conception détermine le volume d'alimentation en air cible, la vitesse du vent dans la zone de travail et la direction du flux d'air dans chaque zone, et vérifie si l'air de retour est fluide.
Pour les équipements ayant des exigences locales élevées en matière de propreté, l'alimentation en air à l'extrémité de l'équipement et l'alimentation en air dans la pièce doivent être calculées séparément. L'espace disponible à l'intérieur de l'équipement, l'interface d'installation et la direction de maintenance peuvent être différents du plafond standard FFU, et le côté équipement doit être évalué séparément.Unité de filtre de ventilateur EFU et autres solutions.
Déterminez ensuite les spécifications d’un seul FFU
Vérifiez d'abord la taille de l'installation du module de plafond ou de l'équipement et éliminez les spécifications qui peuvent être réellement installées et entretenues ; comparez ensuite le volume d'air, l'uniformité de la vitesse du vent, le bruit, la consommation électrique et la pression statique disponible de ces spécifications dans les mêmes conditions de test . Peut être obtenu auprès deCommencez par les spécifications du produit FFU , mais en fin de compte, les données doivent être basées sur les conditions de filtre, d'équipement de fonctionnement et de résistance du système convenues dans le projet.
L'efficacité du filtre doit correspondre aux objectifs de contrôle des particules du procédé. Si le projet adoptePour les filtres ULPA , vérifiez également sa résistance initiale, les changements de résistance attendus et la capacité du FFU à maintenir le volume d'air cible après l'augmentation de la résistance. L'étanchéité entre le filtre et le caisson ainsi que la méthode de remplacement sur site doivent également être inscrites dans les exigences techniques. Le simple fait d'augmenter le niveau de filtration sans revérifier le point de fonctionnement du ventilateur peut entraîner une diminution du volume réel d'alimentation en air par rapport à la valeur de conception.
La quantité doit être vérifiée en même temps par le volume d'air et la disposition.
Après avoir sélectionné une seule FFU, deux calculs préliminaires peuvent être effectués par région :
Étalonnage du volume d'air : Le volume d'alimentation en air requis de la zone ÷ Le volume d'air effectif d'un seul FFU dans les conditions de travail de conception.
Vérification de l'aménagement : La zone d'alimentation en air devant être couverte par la FFU ÷ la zone de couverture réelle de l'alimentation en air d'une seule FFU.
Les deux résultats doivent être arrondis, puis ajustés en combinaison avec les positions des faisceaux, les lampes, les gicleurs, les emplacements des équipements, les canaux de maintenance et les chemins de retour d'air. Si la quantité calculée correspond au volume d'air total mais laisse des lacunes dans l'alimentation en air aux emplacements clés du processus, il est nécessaire de réorganiser ou d'augmenter l'alimentation en air locale. Si le plafond peut accueillir suffisamment de FFU, il est toujours nécessaire de confirmer que le volume d'air total, la direction du flux d'air et la résistance du système répondent aux exigences.
Les projets à grande échelle doivent également diviser les zones de contrôle en fonction des domaines de processus et des besoins opérationnels, et confirmer à l'avance la capacité d'alimentation électrique, les interfaces de communication et répondre aux exigences de planification et de surveillance. Lorsqu'une régulation unifiée de la vitesse ou une surveillance de l'état est requise, elle peut être évaluée simultanément pendant la phase de sélection.Le système de contrôle de groupe FFU évite d’ajuster le plan de contrôle après l’installation de l’équipement.
Confirmer la configuration finale avec des prototypes et des résultats sur le terrain
Les calculs et les informations sur le produit donnent le plan de conception, et la quantité finale et les spécifications doivent être vérifiées. Avant l'achat en gros, il est recommandé d'utiliser un prototype pour confirmer la taille de l'installation, l'étanchéité du filtre, le volume d'air de conception, la pression statique, la régulation de la vitesse et les conditions de maintenance ; après l'installation, mesurez la vitesse et l'uniformité du vent, la propreté et l'état de fonctionnement réel conformément à l'accord technique. Lorsque le test révèle que le débit d'air local est insuffisant ou inégalement réparti, l'engrenage FFU, la disposition ou l'organisation de l'air de retour doivent être ajustés et revérifiés.
Lors d'une demande auprès des fournisseurs, il est généralement plus facile d'obtenir une solution vérifiable qu'en fournissant uniquement « la superficie de la pièce et le niveau de propreté » en fournissant les objectifs de propreté, les plans des sols et des plafonds, le volume ou la vitesse d'air cible, les exigences de filtration, les exigences d'alimentation électrique et de contrôle, ainsi que les quantités estimées et les plans d'étagement pour chaque zone.
FAQ : Les FFU de même taille peuvent-elles être directement interchangées ? Vous ne pouvez pas juger uniquement en fonction de la taille. Il est également nécessaire de vérifier le volume d'air et la pression statique, les filtres et les méthodes d'étanchéité, les interfaces électriques, les protocoles de contrôle et l'espace de maintenance dans les conditions de conception.
Questions fréquemment posées : Est-ce que plus le nombre de FFU est élevé, mieux c'est ? Les quantités doivent servir le flux d’air et la propreté ciblés. L'augmentation du FFU modifiera également l'alimentation électrique, le bruit, la consommation d'énergie et les conditions de retour d'air, qui doivent être déterminées sur la base des calculs de zonage et des résultats de vérification sur site.
