Wie lassen sich die Spezifikationen und die Menge der FFU für neue Halbleiterprojekte bestimmen?
Direkte Antwort: Bestimmen Sie zunächst die Sauberkeitsziele und die Luftstromorganisation jedes Prozessbereichs und berechnen Sie dann das erforderliche Luftzufuhrvolumen und die Deckenabdeckungsfläche. Verwenden Sie das Luftvolumen, den statischen Druck und den Filterwiderstand unter Projektarbeitsbedingungen, um die Spezifikationen einer einzelnen FFU zu bestimmen. Berechnen Sie die Menge entsprechend der Luftmenge bzw. der Grundfläche. Wählen Sie eine Konfiguration, die beide Anforderungen gleichzeitig erfüllen kann. Überprüfen Sie es abschließend durch Prototypen und Tests vor Ort.
Neue Halbleiterprojekte umfassen in der Regel Prozessbereiche, Gerätebereiche und Nebenbereiche mit unterschiedlichen Sauberkeitsanforderungen. Die Anzahl der FFU lässt sich nicht einfach dadurch ermitteln, dass man die Raumfläche durch die Fläche einer einzelnen Einheit dividiert; Ebenso kann das nominale maximale Luftvolumen des Produkts nicht direkt als Auslegungsluftvolumen verwendet werden. Ob die FFU nach der Installation das Ziel erreichen kann, hängt vom Lüfter ab,Ob HEPA- oder ULPA-Filter , Deckenanordnung, Rückluftwege und Steuerungsmethoden können unter gleichen Arbeitsbedingungen angepasst werden.
Ermitteln Sie zunächst den Reinigungs- und Luftversorgungsbedarf je Region
Vor der Auswahl sollten der Reinheitsgrad, die Prozessanforderungen an Partikel, die Staubentwicklung durch Personal und Geräte, die Wärmeableitung der Geräte, die Betriebszeit und die Frage, ob eine höhere örtliche Sauberkeit erforderlich ist, bereichsweise geklärt werden. Auf dieser Grundlage bestimmt das Designteam das angestrebte Luftzufuhrvolumen, die Windgeschwindigkeit im Arbeitsbereich und die Luftströmungsrichtung in jedem Bereich und prüft, ob die Rückluft gleichmäßig ist.
Bei Geräten mit örtlich hohen Sauberkeitsanforderungen sollten die Luftzufuhr auf der Geräteseite und die Luftzufuhr im Raum getrennt berechnet werden. Der verfügbare Raum innerhalb des Geräts, die Installationsschnittstelle und die Wartungsrichtung können von der Standard-Decken-FFU abweichen und die Geräteseite muss separat bewertet werden.EFU-Lüfterfiltereinheit und andere Lösungen.
Bestimmen Sie dann die Spezifikationen einer einzelnen FFU
Überprüfen Sie zunächst die Größe des Deckenmoduls oder der Geräteinstallation und ermitteln Sie die Spezifikationen, die tatsächlich installiert und gewartet werden können. Vergleichen Sie dann das Luftvolumen, die Gleichmäßigkeit der Windgeschwindigkeit, den Lärm, den Stromverbrauch und den verfügbaren statischen Druck dieser Spezifikationen unter denselben Testbedingungen . Erhältlich beiBeginnen Sie mit den FFU-Produktspezifikationen , aber letztendlich sollten die Daten auf den im Projekt vereinbarten Filter-, Betriebsausrüstungs- und Systemwiderstandsbedingungen basieren.
Die Filtereffizienz sollte den Zielen der Prozesspartikelkontrolle entsprechen. Wenn das Projekt angenommen wirdÜberprüfen Sie bei ULPA-Filtern auch den anfänglichen Widerstand, die erwarteten Widerstandsänderungen und die Fähigkeit der FFU, das Zielluftvolumen aufrechtzuerhalten, nachdem der Widerstand ansteigt. Auch die Abdichtung zwischen Filter und Box sowie die Art des Austauschs vor Ort sollten in die technischen Anforderungen aufgenommen werden. Eine einfache Erhöhung des Filtergrades ohne erneute Überprüfung des Ventilatorbetriebspunkts kann dazu führen, dass das tatsächliche Luftzufuhrvolumen unter dem Auslegungswert liegt.
Die Menge muss gleichzeitig anhand des Luftvolumens und der Anordnung überprüft werden.
Nach Abschluss der Auswahl einer einzelnen FFU können zwei vorläufige Berechnungen nach Region durchgeführt werden:
Kalibrierung des Luftvolumens: Das erforderliche Luftzufuhrvolumen des Bereichs ÷ Das effektive Luftvolumen einer einzelnen FFU unter den vorgesehenen Arbeitsbedingungen.
Layoutüberprüfung: Der Luftversorgungsbereich, der von der FFU abgedeckt werden muss ÷ der tatsächliche Luftversorgungsabdeckungsbereich einer einzelnen FFU.
Beide Ergebnisse sollten aufgerundet und dann in Kombination mit Strahlpositionen, Lampen, Sprinklern, Gerätestandorten, Wartungskanälen und Rückluftwegen angepasst werden. Wenn die berechnete Menge der Gesamtluftmenge entspricht, an wichtigen Prozessstellen jedoch Lücken in der Luftversorgung bestehen, ist eine Neuordnung oder Erhöhung der lokalen Luftversorgung erforderlich. Wenn die Decke genügend FFU aufnehmen kann, muss dennoch bestätigt werden, dass das Gesamtluftvolumen, die Luftstromrichtung und der Systemwiderstand den Anforderungen entsprechen.
Bei Großprojekten sollten die Kontrollzonen außerdem nach Prozessbereichen und Betriebsanforderungen unterteilt werden und die Stromversorgungskapazität, Kommunikationsschnittstellen sowie Planungs- und Überwachungsanforderungen im Voraus bestätigt werden. Wenn eine einheitliche Geschwindigkeitsregelung oder Statusüberwachung erforderlich ist, kann diese gleichzeitig in der Auswahlphase ausgewertet werden.Das FFU-Gruppensteuerungssystem vermeidet die Anpassung des Steuerungsplans nach der Installation der Ausrüstung.
Bestätigen Sie die endgültige Konfiguration mit Prototypen und Feldergebnissen
Die Berechnungen und Produktinformationen liefern den Konstruktionsplan, und die endgültige Menge und Spezifikationen müssen überprüft werden. Vor dem Großeinkauf wird empfohlen, anhand eines Prototyps die Installationsgröße, die Filterabdichtung, das Auslegungsluftvolumen, den statischen Druck, die Geschwindigkeitsregelung und die Wartungsbedingungen zu bestätigen. Messen Sie nach der Installation die Windgeschwindigkeit und -gleichmäßigkeit, die Sauberkeit und den tatsächlichen Betriebszustand gemäß der technischen Vereinbarung. Wenn bei der Prüfung festgestellt wird, dass der örtliche Luftstrom unzureichend oder ungleichmäßig verteilt ist, sollten die FFU-Ausrüstung, Anordnung oder Rückluftorganisation angepasst und erneut überprüft werden.
Bei Anfragen bei Lieferanten ist es in der Regel einfacher, eine überprüfbare Lösung zu erhalten, als nur „Raumfläche und Sauberkeitsgrad“ anzugeben, indem die Sauberkeitsziele, Boden- und Deckenpläne, Zielluftvolumen oder -geschwindigkeit, Filteranforderungen, Stromversorgungs- und Steuerungsanforderungen sowie geschätzte Mengen und Bereitstellungspläne für jeden Bereich angegeben werden.
FAQ: Können FFUs gleicher Größe direkt ausgetauscht werden? Sie können nicht allein anhand der Größe urteilen. Es ist außerdem erforderlich, das Luftvolumen und den statischen Druck, Filter und Dichtungsmethoden, elektrische Schnittstellen, Steuerprotokolle und den Wartungsraum unter Designbedingungen zu überprüfen.
Häufig gestellte Fragen: Ist es umso besser, je höher die Anzahl der FFUs ist? Die Mengen sollten dem angestrebten Luftstrom und der Sauberkeit dienen. Eine Erhöhung der FFU wird auch die Stromversorgung, den Lärm, den Energieverbrauch und die Rückluftbedingungen verändern, was auf der Grundlage von Zoneneinteilungsberechnungen und Ergebnissen der Vor-Ort-Verifizierung ermittelt werden sollte.
