Làm thế nào để xác định thông số kỹ thuật và số lượng FFU cho các dự án bán dẫn mới?

Câu trả lời trực tiếp: Trước tiên, hãy xác định mục tiêu về độ sạch và cách tổ chức luồng không khí của từng khu vực quy trình, sau đó tính toán lượng cung cấp không khí cần thiết và diện tích bao phủ trần. Sử dụng thể tích không khí, áp suất tĩnh và điện trở của bộ lọc trong điều kiện làm việc của dự án để xác định thông số kỹ thuật của một FFU. Tính toán số lượng theo thể tích không khí và diện tích bố trí tương ứng. Chọn cấu hình có thể đáp ứng cả hai yêu cầu cùng một lúc. Cuối cùng, xác minh nó thông qua nguyên mẫu và thử nghiệm tại chỗ.

Các dự án bán dẫn mới thường bao gồm các khu vực xử lý, khu vực thiết bị và khu vực phụ trợ với các yêu cầu về độ sạch sẽ khác nhau. Không thể lấy số lượng FFU bằng cách chia diện tích phòng cho diện tích của một đơn vị; tương tự, thể tích không khí tối đa danh nghĩa của sản phẩm không thể được sử dụng trực tiếp làm thể tích không khí thiết kế. FFU có thể đạt được mục tiêu sau khi cài đặt hay không phụ thuộc vào quạt,Bộ lọc HEPA hay ULPA , cách bố trí trần, đường dẫn khí hồi và phương pháp điều khiển đều có thể phù hợp trong cùng điều kiện làm việc.

Đầu tiên xác định nhu cầu làm sạch và cung cấp không khí theo khu vực

Trước khi lựa chọn, mức độ sạch, yêu cầu quy trình đối với các hạt, sự phát sinh bụi của nhân viên và thiết bị, khả năng tản nhiệt của thiết bị, thời gian vận hành và liệu có cần độ sạch cục bộ cao hơn hay không cần phải được làm rõ theo từng khu vực. Dựa trên điều này, nhóm thiết kế xác định lượng cung cấp không khí mục tiêu, tốc độ gió khu vực làm việc và hướng luồng không khí ở từng khu vực, đồng thời kiểm tra xem luồng gió hồi có thông suốt hay không.

Đối với thiết bị có yêu cầu độ sạch cục bộ cao, việc cung cấp không khí ở đầu thiết bị và việc cung cấp không khí trong phòng phải được tính toán riêng. Không gian sẵn có bên trong thiết bị, giao diện lắp đặt và hướng bảo trì có thể khác với FFU trần tiêu chuẩn và phía thiết bị cần được đánh giá riêng.Bộ lọc quạt EFU và các giải pháp khác.

Sau đó xác định các thông số kỹ thuật của một FFU duy nhất

Trước tiên, hãy kiểm tra kích thước lắp đặt mô-đun trần hoặc thiết bị và sàng lọc các thông số kỹ thuật có thể được lắp đặt và bảo trì trên thực tế; sau đó so sánh thể tích không khí, độ đồng đều của tốc độ gió, tiếng ồn, mức tiêu thụ điện năng và áp suất tĩnh sẵn có của các thông số kỹ thuật này trong cùng điều kiện thử nghiệm . Có thể lấy được từBắt đầu với thông số kỹ thuật của sản phẩm FFU , nhưng cuối cùng dữ liệu phải dựa trên các điều kiện về bộ lọc, thiết bị vận hành và điện trở hệ thống đã được thỏa thuận trong dự án.

Hiệu quả của bộ lọc phải phù hợp với mục tiêu kiểm soát hạt của quy trình. Nếu dự án thông quaĐối với bộ lọc ULPA , đồng thời kiểm tra điện trở ban đầu của nó, những thay đổi điện trở dự kiến ​​và khả năng duy trì thể tích không khí mục tiêu của FFU sau khi điện trở tăng. Việc niêm phong giữa bộ lọc với hộp và phương pháp thay thế tại chỗ cũng phải được ghi vào yêu cầu kỹ thuật. Việc chỉ tăng mức lọc mà không kiểm tra lại điểm vận hành của quạt có thể khiến lượng khí cấp thực tế thấp hơn giá trị thiết kế.

Số lượng phải được xác nhận đồng thời theo thể tích không khí và cách bố trí.

Sau khi hoàn thành việc lựa chọn một FFU, hai phép tính sơ bộ có thể được thực hiện theo khu vực:

• Hiệu chỉnh thể tích không khí: Thể tích cung cấp không khí cần thiết của khu vực ÷ Thể tích không khí hiệu dụng của một FFU đơn lẻ trong điều kiện làm việc thiết kế.

• Xác minh bố cục: Khu vực cung cấp không khí cần được bao phủ bởi FFU `khu vực bao phủ nguồn cung cấp không khí thực tế của một FFU duy nhất.

Cả hai kết quả phải được làm tròn và sau đó được điều chỉnh kết hợp với vị trí chùm tia, đèn, vòi phun nước, vị trí thiết bị, kênh bảo trì và đường dẫn khí hồi lưu. Nếu lượng tính toán đáp ứng tổng lượng không khí nhưng để lại những khoảng trống trong việc cung cấp không khí tại các vị trí xử lý quan trọng thì cần phải sắp xếp lại hoặc tăng lượng cung cấp không khí cục bộ. Nếu trần nhà có thể chứa đủ FFU thì vẫn cần phải xác nhận rằng tổng lượng không khí, hướng luồng khí và sức cản của hệ thống đáp ứng yêu cầu.

Các dự án quy mô lớn cũng nên phân chia các khu vực kiểm soát theo khu vực xử lý và nhu cầu vận hành, đồng thời xác nhận trước khả năng cung cấp điện, giao diện liên lạc, giải quyết các yêu cầu lập kế hoạch và giám sát. Khi cần điều chỉnh tốc độ thống nhất hoặc giám sát trạng thái, nó có thể được đánh giá đồng thời trong giai đoạn lựa chọn.Hệ thống điều khiển nhóm FFU tránh điều chỉnh kế hoạch điều khiển sau khi lắp đặt thiết bị.

Xác nhận cấu hình cuối cùng với nguyên mẫu và kết quả hiện trường

Các tính toán và thông tin sản phẩm đưa ra phương án thiết kế, số lượng và thông số kỹ thuật cuối cùng cần được xác minh. Trước khi mua số lượng lớn, nên sử dụng nguyên mẫu để xác nhận kích thước lắp đặt, độ kín của bộ lọc, thể tích không khí thiết kế, áp suất tĩnh, điều chỉnh tốc độ và điều kiện bảo trì; sau khi lắp đặt đo tốc độ gió và độ đồng đều, độ sạch và trạng thái vận hành thực tế theo thỏa thuận kỹ thuật. Khi thử nghiệm cho thấy luồng không khí cục bộ không đủ hoặc phân bố không đều, thiết bị FFU, bố trí hoặc tổ chức không khí hồi lưu phải được điều chỉnh và xác minh lại.

Khi hỏi nhà cung cấp, thường dễ dàng có được giải pháp có thể kiểm chứng hơn là chỉ cung cấp 'diện tích phòng và mức độ sạch sẽ' bằng cách cung cấp mục tiêu độ sạch, sơ đồ sàn và trần, thể tích hoặc tốc độ không khí mục tiêu, yêu cầu lọc, yêu cầu cung cấp điện và kiểm soát, cũng như số lượng ước tính và kế hoạch dàn dựng cho từng khu vực.

Câu hỏi thường gặp: FFU có cùng kích thước có thể được trao đổi trực tiếp không? Bạn không thể đánh giá chỉ dựa trên kích thước. Cũng cần kiểm tra thể tích không khí và áp suất tĩnh, bộ lọc và phương pháp bịt kín, giao diện điện, quy trình điều khiển và không gian bảo trì trong điều kiện thiết kế.

Câu hỏi thường gặp: Số lượng FFU càng cao thì càng tốt? Số lượng phải phục vụ luồng không khí mục tiêu và độ sạch. Việc tăng FFU cũng sẽ thay đổi nguồn điện, tiếng ồn, mức tiêu thụ năng lượng và điều kiện không khí hồi lưu, những điều này cần được xác định dựa trên tính toán phân vùng và kết quả xác minh tại chỗ.