새로운 반도체 프로젝트를 위한 FFU의 사양과 수량을 어떻게 결정합니까?
직접적인 대답: 먼저 각 공정 영역의 청정 목표와 공기 흐름 구성을 결정한 다음 필요한 공기 공급량과 천장 적용 영역을 계산합니다. 단일 FFU의 사양을 결정하려면 프로젝트 작업 조건에서 풍량, 정압 및 필터 저항을 사용하십시오. 풍량과 배치면적에 따라 각각 수량을 계산합니다. 두 가지 요구 사항을 동시에 충족할 수 있는 구성을 선택하세요. 마지막으로 시제품 제작 및 현장 테스트를 통해 검증합니다.
새로운 반도체 프로젝트에는 일반적으로 청정도 요구 사항이 다른 프로세스 영역, 장비 영역 및 보조 영역이 포함됩니다. FFU의 수는 단순히 방 면적을 단일 유닛의 면적으로 나누는 것만으로는 얻을 수 없습니다. 마찬가지로, 제품의 공칭 최대 공기량은 설계 공기량으로 직접 사용될 수 없습니다. FFU가 설치 후 목표를 달성할 수 있는지 여부는 팬에 따라 다릅니다.HEPA 또는 ULPA 필터 여부 , 천장 레이아웃, 환기 경로 및 제어 방법은 동일한 작업 조건에서 일치할 수 있습니다.
먼저 지역별 청소 및 공기 공급 요구 사항을 결정합니다.
선택하기 전에 청정도 수준, 입자에 대한 공정 요구 사항, 인력 및 장비의 먼지 발생, 장비 방열, 작동 시간, 더 높은 국지적 청정도가 필요한지 여부를 영역별로 명확히 해야 합니다. 이를 바탕으로 설계팀은 각 구역별 목표 공기 공급량, 작업 구역 풍속, 공기 흐름 방향을 결정하고 환기가 원활한지 확인합니다.
지역적으로 높은 청결도 요구 사항이 있는 장비의 경우 장비 끝 부분의 공기 공급량과 실내 공기 공급량을 별도로 계산해야 합니다. 장비 내부의 사용 가능한 공간, 설치 인터페이스 및 유지 관리 방향은 표준 천장 FFU와 다를 수 있으며 장비 측면은 별도로 평가해야 합니다.EFU 팬 필터 장치 및 기타 솔루션.
그런 다음 단일 FFU의 사양을 결정합니다.
실제로 설치 및 유지 관리가 가능한 천장 모듈이나 장비 설치 크기와 스크린 아웃 사양을 먼저 확인하세요. 그런 다음 에서 이러한 사양의 풍량, 풍속 균일성, 소음, 전력 소비 및 사용 가능한 정압을 비교합니다 . 동일한 테스트 조건 에서 얻을 수 있습니다FFU 제품 사양 부터 시작 하되 궁극적으로 데이터는 프로젝트에서 합의된 필터, 작동 장치 및 시스템 저항 조건을 기반으로 해야 합니다.
필터 효율성은 공정 입자 제어 목표와 일치해야 합니다. 프로젝트가 채택되는 경우ULPA 필터의 경우 초기 저항, 예상 저항 변화, 저항이 증가한 후 목표 공기량을 유지하는 FFU의 능력도 확인하세요. 필터와 상자 사이의 밀봉 및 현장 교체 방법도 기술 요구 사항에 명시되어야 합니다. 단순히 팬 동작점을 재확인하지 않고 여과도만 높이면 실제 공급되는 공기량이 설계치보다 낮아질 수 있습니다.
풍량과 레이아웃을 동시에 확인하여 수량을 확인해야 합니다.
단일 FFU 선택을 완료한 후 지역별로 두 가지 예비 계산을 수행할 수 있습니다.
두 결과 모두 반올림한 다음 빔 위치, 램프, 스프링클러, 장비 위치, 유지 관리 채널 및 공기 순환 경로를 조합하여 조정해야 합니다. 계산된 양이 총 공기량을 충족하지만 주요 공정 위치에서 공기 공급에 공백이 남는 경우 로컬 공기 공급을 재배치하거나 늘릴 필요가 있습니다. 천장이 충분한 FFU를 수용할 수 있는 경우에도 총 공기량, 공기 흐름 방향 및 시스템 저항이 요구 사항을 충족하는지 확인해야 합니다.
대규모 프로젝트에서는 프로세스 영역과 운영 요구 사항에 따라 제어 영역을 나누고 전원 공급 용량, 통신 인터페이스를 확인하고 계획 및 모니터링 요구 사항을 미리 확인해야 합니다. 통일된 속도 조절이나 상태 모니터링이 필요한 경우 선택 단계에서 동시에 평가할 수 있습니다.FFU 그룹 제어 시스템은 장비 설치 후 제어 계획 조정을 방지합니다.
프로토타입 및 현장 결과를 통해 최종 구성 확인
계산과 제품정보를 통해 설계계획이 제시되며, 최종 수량과 사양에 대한 검증이 필요합니다. 대량 구매하기 전에 프로토타입을 사용하여 설치 크기, 필터 밀봉, 설계 공기량, 정압, 속도 조절 및 유지 관리 조건을 확인하는 것이 좋습니다. 설치 후 기술협약에 따라 풍속과 균일성, 청결도, 실제 작동상태 등을 측정합니다. 테스트 결과 국부적인 공기 흐름이 불충분하거나 고르지 않게 분포되어 있는 것으로 확인되면 FFU 기어, 배열 또는 반환 공기 조직을 조정하고 재검증해야 합니다.
공급업체에 문의할 때 일반적으로 청정도 목표, 바닥 및 천장 계획, 목표 공기량 또는 속도, 여과 요구 사항, 전원 공급 장치 및 제어 요구 사항은 물론 각 영역의 예상 수량 및 준비 계획을 제공함으로써 '실 면적 및 청결도 수준'만 제공하는 것보다 검증 가능한 솔루션을 얻는 것이 더 쉽습니다.
FAQ: 동일한 크기의 FFU를 직접 교환할 수 있습니까? 크기만으로 판단할 수는 없습니다. 또한 설계 조건에 따라 풍량과 정압, 필터 및 밀봉 방법, 전기 인터페이스, 제어 프로토콜 및 유지 관리 공간을 확인해야 합니다.
자주 묻는 질문(FAQ): FFU 수가 많을수록 좋나요? 양은 목표한 공기 흐름과 청결을 제공해야 합니다. FFU가 증가하면 전원 공급 장치, 소음, 에너지 소비 및 환기 조건도 변경되며 이는 구역 계산 및 현장 검증 결과를 기반으로 결정되어야 합니다.
