كيفية تحديد مواصفات وكمية FFU لمشاريع أشباه الموصلات الجديدة؟

الإجابة المباشرة: قم أولاً بتحديد أهداف النظافة وتنظيم تدفق الهواء لكل منطقة عملية، ثم قم بحساب حجم إمداد الهواء المطلوب ومنطقة تغطية السقف. استخدم حجم الهواء والضغط الثابت ومقاومة المرشح في ظل ظروف عمل المشروع لتحديد مواصفات وحدة FFU واحدة. احسب الكمية وفقًا لحجم الهواء ومنطقة التخطيط على التوالي. اختر تكوينًا يمكنه تلبية كلا المتطلبين في نفس الوقت. وأخيرًا، التحقق من ذلك من خلال النماذج الأولية والاختبار في الموقع.

تشتمل مشاريع أشباه الموصلات الجديدة عادةً على مناطق المعالجة ومناطق المعدات والمناطق المساعدة ذات متطلبات النظافة المختلفة. لا يمكن الحصول على عدد FFU بمجرد تقسيم مساحة الغرفة على مساحة الوحدة الواحدة؛ وبالمثل، لا يمكن استخدام الحد الأقصى لحجم الهواء الاسمي للمنتج مباشرة كحجم هواء التصميم. ما إذا كان بإمكان FFU تحقيق الهدف بعد التثبيت يعتمد على المروحة،يمكن مطابقة مرشحات HEPA أو ULPA وتصميم السقف ومسارات الهواء الراجع وطرق التحكم في نفس ظروف العمل.

قم أولاً بتحديد احتياجات التنظيف وإمدادات الهواء حسب المنطقة

قبل الاختيار، يجب توضيح مستوى النظافة ومتطلبات العملية للجسيمات وتوليد الغبار بواسطة الأفراد والمعدات وتبديد حرارة المعدات ووقت التشغيل وما إذا كانت هناك حاجة إلى نظافة محلية أعلى منطقة تلو الأخرى. بناءً على ذلك، يقوم فريق التصميم بتحديد حجم إمداد الهواء المستهدف، وسرعة الرياح في منطقة العمل واتجاه تدفق الهواء في كل منطقة، والتحقق مما إذا كان الهواء الراجع سلسًا.

بالنسبة للمعدات ذات متطلبات النظافة المحلية العالية، يجب حساب إمداد الهواء عند نهاية المعدات وإمداد الهواء في الغرفة بشكل منفصل. قد تختلف المساحة المتوفرة داخل الجهاز وواجهة التثبيت واتجاه الصيانة عن السقف القياسي FFU، ويجب تقييم جانب الجهاز بشكل منفصل.وحدة تصفية مروحة EFU وحلول أخرى.

ثم تحديد مواصفات FFU واحد

تحقق أولاً من وحدة السقف أو حجم تركيب المعدات وافحص المواصفات التي يمكن تركيبها وصيانتها بالفعل؛ ثم قارن بين حجم الهواء وانتظام سرعة الرياح والضوضاء واستهلاك الطاقة والضغط الساكن المتوفر لهذه المواصفات تحت نفس ظروف الاختبار . يمكن الحصول عليها منابدأ بمواصفات منتج FFU ، ولكن في النهاية يجب أن تعتمد البيانات على المرشح ومعدات التشغيل وظروف مقاومة النظام المتفق عليها في المشروع.

يجب أن تتوافق كفاءة المرشح مع أهداف التحكم في جزيئات العملية. إذا اعتمد المشروعبالنسبة لمرشحات ULPA ، تحقق أيضًا من مقاومتها الأولية وتغيرات المقاومة المتوقعة وقدرة FFU على الحفاظ على حجم الهواء المستهدف بعد ارتفاع المقاومة. يجب أيضًا كتابة الختم بين الفلتر والصندوق وطريقة الاستبدال في الموقع في المتطلبات الفنية. قد يؤدي مجرد زيادة مستوى الترشيح دون إعادة فحص نقطة تشغيل المروحة إلى انخفاض حجم إمداد الهواء الفعلي عن القيمة التصميمية.

يجب التحقق من الكمية من خلال حجم الهواء والتخطيط في نفس الوقت.

بعد الانتهاء من اختيار وحدة FFU واحدة، يمكن إجراء عمليتين حسابيتين أوليتين حسب المنطقة:

• معايرة حجم الهواء: حجم إمداد الهواء المطلوب للمنطقة ÷ حجم الهواء الفعال لوحدة FFU واحدة في ظل ظروف العمل التصميمية.

• التحقق من التخطيط: منطقة إمداد الهواء المطلوب تغطيتها بواسطة FFU ÷ منطقة تغطية إمداد الهواء الفعلية لوحدة FFU واحدة.

وينبغي تقريب كلتا النتيجتين، ثم تعديلهما مع مواضع الشعاع، والمصابيح، والرشاشات، ومواقع المعدات، وقنوات الصيانة، ومسارات الهواء الراجع. إذا كانت الكمية المحسوبة تلبي إجمالي حجم الهواء ولكنها تترك فجوات في إمدادات الهواء في مواقع العملية الرئيسية، فمن الضروري إعادة ترتيب أو زيادة إمدادات الهواء المحلية. إذا كان السقف يمكنه استيعاب ما يكفي من FFU، فلا يزال من الضروري التأكد من أن إجمالي حجم الهواء واتجاه تدفق الهواء ومقاومة النظام تلبي المتطلبات.

وينبغي للمشاريع واسعة النطاق أيضًا تقسيم مناطق التحكم وفقًا لمناطق المعالجة والاحتياجات التشغيلية، وتأكيد قدرة إمدادات الطاقة، وواجهات الاتصال، ومعالجة متطلبات التخطيط والمراقبة مسبقًا. عند الحاجة إلى تنظيم موحد للسرعة أو مراقبة الحالة، يمكن تقييم ذلك في وقت واحد أثناء مرحلة الاختيار.نظام التحكم بمجموعة FFU يتجنب تعديل خطة التحكم بعد تركيب المعدات.

تأكيد التكوين النهائي مع النماذج الأولية والنتائج الميدانية

تعطي الحسابات ومعلومات المنتج خطة التصميم، ويجب التحقق من الكمية والمواصفات النهائية. قبل الشراء بالجملة، يوصى باستخدام نموذج أولي لتأكيد حجم التثبيت، وختم المرشح، وحجم الهواء التصميمي، والضغط الثابت، وتنظيم السرعة وظروف الصيانة؛ بعد التثبيت، قم بقياس سرعة الرياح وانتظامها ونظافتها وحالة التشغيل الفعلية وفقًا للاتفاقية الفنية. عندما يجد الاختبار أن تدفق الهواء المحلي غير كافٍ أو موزع بشكل غير متساوٍ، يجب تعديل معدات FFU أو ترتيبها أو تنظيم الهواء الراجع وإعادة التحقق منها.

عند الاستفسار من الموردين، عادةً ما يكون الحصول على حل يمكن التحقق منه أسهل من توفير 'مساحة الغرفة ومستوى النظافة' فقط من خلال توفير أهداف النظافة، وخطط الأرضية والسقف، وحجم الهواء المستهدف أو سرعته، ومتطلبات الترشيح، وإمدادات الطاقة ومتطلبات التحكم، بالإضافة إلى الكميات المقدرة وخطط التدريج لكل منطقة.

الأسئلة الشائعة: هل يمكن تبادل وحدات FFU ذات الحجم نفسه مباشرةً؟ لا يمكنك الحكم على أساس الحجم وحده. ومن الضروري أيضًا التحقق من حجم الهواء والضغط الثابت والمرشحات وطرق الختم والواجهات الكهربائية وبروتوكولات التحكم ومساحة الصيانة في ظل ظروف التصميم.

الأسئلة المتداولة: هل كلما زاد عدد وحدات FFU، كان ذلك أفضل؟ يجب أن تخدم الكميات تدفق الهواء المستهدف والنظافة. ستؤدي زيادة FFU أيضًا إلى تغيير مصدر الطاقة والضوضاء واستهلاك الطاقة وظروف الهواء العائد، والتي يجب تحديدها بناءً على حسابات تقسيم المناطق ونتائج التحقق في الموقع.