¿Cómo determinar las especificaciones y la cantidad de FFU para nuevos proyectos de semiconductores?
Respuesta directa: Primero determine los objetivos de limpieza y la organización del flujo de aire de cada área de proceso, y luego calcule el volumen de suministro de aire requerido y el área de cobertura del techo. Utilice el volumen de aire, la presión estática y la resistencia del filtro en las condiciones de trabajo del proyecto para determinar las especificaciones de una sola FFU. Calcule la cantidad según el volumen de aire y el área de distribución, respectivamente. Elija una configuración que pueda cumplir ambos requisitos al mismo tiempo. Finalmente, verificarlo mediante prototipos y pruebas en sitio.
Los proyectos nuevos de semiconductores suelen incluir áreas de proceso, áreas de equipos y áreas auxiliares con diferentes requisitos de limpieza. El número de FFU no se puede obtener simplemente dividiendo el área de la habitación por el área de una sola unidad; de manera similar, el volumen de aire máximo nominal del producto no se puede utilizar directamente como volumen de aire de diseño. Que la FFU pueda alcanzar el objetivo después de la instalación depende del ventilador,Ya sean filtros HEPA o ULPA , la disposición del techo, las rutas de aire de retorno y los métodos de control se pueden combinar en las mismas condiciones de trabajo.
Primero determine las necesidades de limpieza y suministro de aire por región.
Antes de la selección, se debe aclarar área por área el nivel de limpieza, los requisitos del proceso para partículas, la generación de polvo por parte del personal y el equipo, la disipación de calor del equipo, el tiempo de operación y si se requiere una mayor limpieza local. Con base en esto, el equipo de diseño determina el volumen de suministro de aire objetivo, la velocidad del viento en el área de trabajo y la dirección del flujo de aire en cada área, y verifica si el aire de retorno es suave.
Para equipos con altos requisitos locales de limpieza, el suministro de aire en el extremo del equipo y el suministro de aire en la habitación deben calcularse por separado. El espacio disponible dentro del equipo, la interfaz de instalación y la dirección de mantenimiento pueden ser diferentes de las FFU de techo estándar, y el lado del equipo debe evaluarse por separado.Unidad de filtrado de ventilador EFU y otras soluciones.
Luego determine las especificaciones de una sola FFU.
Primero verifique el tamaño de instalación del módulo de techo o del equipo y descarte las especificaciones que realmente se pueden instalar y mantener; luego compare el volumen de aire, la uniformidad de la velocidad del viento, el ruido, el consumo de energía y la presión estática disponible de estas especificaciones en las mismas condiciones de prueba . Se puede obtener deComience con las especificaciones del producto FFU , pero en última instancia, los datos deben basarse en las condiciones de filtro, equipo operativo y resistencia del sistema acordadas en el proyecto.
La eficiencia del filtro debe coincidir con los objetivos de control de partículas del proceso. Si el proyecto adoptaPara los filtros ULPA , también debe verificar su resistencia inicial, los cambios de resistencia esperados y la capacidad de la FFU para mantener el volumen de aire objetivo después de que aumenta la resistencia. El sellado entre el filtro y la caja y el método de reemplazo in situ también deben estar escritos en los requisitos técnicos. Simplemente aumentar el nivel de filtración sin volver a verificar el punto de funcionamiento del ventilador puede causar que el volumen de suministro de aire real sea inferior al valor de diseño.
La cantidad debe verificarse por volumen de aire y distribución al mismo tiempo.
Después de completar la selección de una única FFU, se pueden realizar dos cálculos preliminares por región:
Verificación del volumen de aire: El volumen de suministro de aire requerido del área ÷ El volumen de aire efectivo de una sola FFU bajo las condiciones de trabajo de diseño.
Verificación del diseño: el área de suministro de aire que debe cubrir la FFU ÷ el área de cobertura de suministro de aire real de una sola FFU.
Ambos resultados deben redondearse y luego ajustarse en combinación con las posiciones de los haces, lámparas, rociadores, ubicaciones de equipos, canales de mantenimiento y rutas de aire de retorno. Si la cantidad calculada cumple con el volumen total de aire pero deja espacios en el suministro de aire en ubicaciones clave del proceso, es necesario reorganizar o aumentar el suministro de aire local. Si el techo puede acomodar suficientes FFU, aún es necesario confirmar que el volumen total de aire, la dirección del flujo de aire y la resistencia del sistema cumplan con los requisitos.
Los proyectos a gran escala también deben dividir las zonas de control según las áreas de proceso y las necesidades operativas, y confirmar la capacidad de suministro de energía, las interfaces de comunicación y abordar los requisitos de planificación y monitoreo con anticipación. Cuando se requiere regulación unificada de velocidad o monitoreo de estado, se puede evaluar simultáneamente durante la etapa de selección.El sistema de control del grupo FFU evita ajustar el plan de control después de instalar el equipo.
Confirmar la configuración final con prototipos y resultados de campo.
Los cálculos y la información del producto dan el plan de diseño y es necesario verificar la cantidad final y las especificaciones. Antes de comprar al por mayor, se recomienda utilizar un prototipo para confirmar el tamaño de la instalación, el sellado del filtro, el volumen de aire de diseño, la presión estática, la regulación de velocidad y las condiciones de mantenimiento; Después de la instalación, mida la velocidad y uniformidad del viento, la limpieza y el estado operativo real de acuerdo con el acuerdo técnico. Cuando la prueba determina que el flujo de aire local es insuficiente o está distribuido de manera desigual, se debe ajustar y volver a verificar el engranaje, la disposición o la organización del aire de retorno de la FFU.
Cuando se consulta a los proveedores, normalmente es más fácil obtener una solución verificable que proporcionando sólo 'área de la habitación y nivel de limpieza', proporcionando los objetivos de limpieza, planos de piso y techo, volumen o velocidad del aire objetivo, requisitos de filtración, suministro de energía y requisitos de control, así como cantidades estimadas y planes de preparación para cada área.
Preguntas frecuentes: ¿Se pueden intercambiar directamente FFU del mismo tamaño? No se puede juzgar basándose únicamente en el tamaño. También es necesario verificar el volumen de aire y la presión estática, los filtros y métodos de sellado, las interfaces eléctricas, los protocolos de control y el espacio de mantenimiento en las condiciones de diseño.
Preguntas frecuentes: ¿Cuanto mayor sea el número de FFU, mejor? Las cantidades deben cumplir con el flujo de aire y la limpieza objetivo. El aumento de FFU también cambiará el suministro de energía, el ruido, el consumo de energía y las condiciones del aire de retorno, lo que debe determinarse con base en cálculos de zonificación y resultados de verificación en el sitio.
