新しい半導体プロジェクトのFFUの仕様と数量はどのように決定すればよいですか?
直接的な答え:まず、各プロセスエリアの清浄度目標とエアフロー構成を決定し、次に必要なエア供給量と天井カバレージエリアを計算します。プロジェクトの作業条件下で風量、静圧、フィルター抵抗を使用して、単一の FFU の仕様を決定します。風量とレイアウト面積に応じてそれぞれ数量を計算してください。両方の要件を同時に満たせる構成を選択してください。最後に、プロトタイプと現場テストを通じて検証します。
新しい半導体プロジェクトには通常、異なる清浄度要件を持つプロセスエリア、装置エリア、補助エリアが含まれます。 FFU の数は、単に部屋の面積を 1 つのユニットの面積で割っただけでは得られません。同様に、製品の公称最大風量をそのまま設計風量として使用することはできません。 FFUが設置後に目標を達成できるかどうかはファン次第ですが、HEPA フィルターか ULPA フィルター、天井レイアウト、戻り空気経路、制御方法を同じ動作条件下で適合させることができます。
まず地域ごとに洗浄と空気供給のニーズを決定します。
選択する前に、清浄度レベル、粒子に関するプロセス要件、人員や機器による発塵、機器の放熱、稼働時間、局所的な清浄度を高める必要があるかどうかをエリアごとに明確にする必要があります。これを基に設計チームが目標給気量、作業エリア風速、各エリアの風向きを決定し、戻り空気がスムーズかどうかを確認します。
局所的に高い清浄度要件がある装置の場合、装置端での空気供給と室内の空気供給を別々に計算する必要があります。機器内部の利用可能スペース、設置インターフェース、メンテナンスの方向性が標準天井FFUとは異なる場合があり、機器側は別途評価する必要があります。EFUファンフィルターユニットなどのソリューション。
次に、単一の FFU の仕様を決定します。
まず、天井モジュールまたは機器の設置サイズを確認し、実際に設置および保守できる仕様を選別します。次に、でこれらの仕様の風量、風速均一性、騒音、消費電力、利用可能な静圧を比較します。同じ試験条件下から入手できますFFU 製品仕様から始めますが、最終的には、データはプロジェクトで合意されたフィルター、動作ギア、およびシステム抵抗条件に基づく必要があります。
フィルターの効率はプロセス粒子制御の目標と一致する必要があります。プロジェクトが採用した場合ULPA フィルターの場合は、初期抵抗、予想される抵抗変化、抵抗上昇後に目標空気量を維持する FFU の能力も確認してください。フィルターとボックスの間のシールと現場での交換方法も技術要件に記載する必要があります。ファンの動作点を再確認せずに、単純に濾過レベルを上げると、実際の供給空気量が設計値よりも低下する場合があります。
風量とレイアウトを同時に確認する必要があります。
単一の FFU の選択が完了したら、領域ごとに 2 つの予備計算を実行できます。
両方の結果を切り上げて、ビーム位置、ランプ、スプリンクラー、機器の位置、メンテナンス チャネル、および戻り空気経路と組み合わせて調整する必要があります。計算された量が総空気量を満たしているにもかかわらず、主要なプロセス位置での空気供給にギャップが残る場合は、局所的な空気供給を再配置するか増やす必要があります。天井が十分な FFU を収容できる場合でも、総風量、気流方向、システム抵抗が要件を満たしていることを確認する必要があります。
大規模プロジェクトでは、プロセスエリアや運用ニーズに応じて制御ゾーンを分割し、電源容量、通信インターフェース、計画および監視要件への対応を事前に確認する必要もあります。統一的な速度調整や状態監視が必要な場合は、選定段階で同時に評価することができます。FFUグループ制御システムにより、機器設置後の制御計画の調整が不要になります。
プロトタイプとフィールド結果で最終構成を確認
計算と製品情報から設計計画が得られ、最終的な数量と仕様を確認する必要があります。一括購入の前に、試作品を使用して設置サイズ、フィルターの密閉度、設計風量、静圧、速度調整、メンテナンス条件を確認することをお勧めします。設置後、技術協定に従って風速と均一性、清浄度、実際の動作状態を測定します。テストの結果、局所的な空気の流れが不十分であるか、不均一に分配されていることが判明した場合は、FFU ギア、配置、または戻り空気の構成を調整し、再検証する必要があります。
サプライヤーに問い合わせる場合、単に「部屋の面積と清浄度のレベル」を提供するよりも、清浄度の目標、床と天井の計画、目標の風量または速度、濾過の要件、電源と制御の要件、各エリアの推定量と段階的計画を提供する方が、通常、検証可能な解決策を得るのが容易です。
FAQ: 同じサイズの FFU を直接交換できますか?サイズだけで判断することはできません。また、設計条件での風量や静圧、フィルターやシール方法、電気インターフェース、制御プロトコル、メンテナンススペースなども確認する必要があります。
よくある質問: FFU の数は多いほど良いのですか?数量は目標のエアフローと清浄度を満たしている必要があります。 FFU を増やすと、電源、騒音、エネルギー消費、および還気条件も変化します。これらはゾーニング計算と現場での検証結果に基づいて決定する必要があります。
