Как определить характеристики и количество FFU для новых полупроводниковых проектов?

Прямой ответ: Сначала определите цели по чистоте и организации воздушного потока каждой технологической зоны, а затем рассчитайте необходимый объем подачи воздуха и площадь покрытия потолка. Используйте объем воздуха, статическое давление и сопротивление фильтра в рабочих условиях проекта, чтобы определить характеристики одного FFU. Рассчитайте количество в зависимости от объема воздуха и площади размещения соответственно. Выберите конфигурацию, которая может одновременно удовлетворить оба требования. Наконец, проверьте это с помощью прототипов и тестирования на месте.

Новые проекты по производству полупроводников обычно включают в себя технологические зоны, помещения для оборудования и вспомогательные помещения с различными требованиями к чистоте. Количество ФФУ невозможно получить, просто разделив площадь помещения на площадь отдельного блока; Аналогичным образом, номинальный максимальный объем воздуха изделия не может быть напрямую использован в качестве расчетного объема воздуха. Сможет ли FFU достичь цели после установки, зависит от вентилятора.Фильтры HEPA или ULPA , расположение потолка, пути возврата воздуха и методы управления могут быть подобраны в одних и тех же условиях работы.

Сначала определите потребности в очистке и подаче воздуха по регионам.

Перед выбором необходимо уточнить для каждого участка уровень чистоты, технологические требования к частицам, пылеобразованию персоналом и оборудованием, рассеиванию тепла оборудованием, времени работы, а также необходимость более высокой местной чистоты. На основании этого команда проектировщиков определяет целевой объем подачи воздуха, скорость ветра в рабочей зоне и направление воздушного потока в каждой зоне, а также проверяет, является ли возвратный воздух равномерным.

Для оборудования с местными повышенными требованиями к чистоте подачу воздуха со стороны оборудования и подачу воздуха в помещение следует рассчитывать отдельно. Доступное пространство внутри оборудования, интерфейс установки и направление обслуживания могут отличаться от стандартного потолочного FFU, поэтому сторону оборудования необходимо оценивать отдельно.Блок вентиляторного фильтра EFU и другие решения.

Затем определите характеристики одного ФФУ.

Сначала проверьте размер потолочного модуля или оборудования и определите характеристики, которые действительно можно установить и обслуживать; затем сравните объем воздуха, равномерность скорости ветра, уровень шума, потребляемую мощность и доступное статическое давление этих характеристик при одинаковых условиях испытаний . Можно получить изНачните со спецификаций продукта FFU , но в конечном итоге данные должны основываться на условиях фильтра, рабочего механизма и сопротивления системы, согласованных в проекте.

Эффективность фильтра должна соответствовать целям контроля частиц в процессе. Если проект приметДля фильтров ULPA также проверьте его начальное сопротивление, ожидаемые изменения сопротивления и способность FFU поддерживать целевой объем воздуха после повышения сопротивления. Уплотнение между фильтром и коробкой и способ замены на месте также должны быть прописаны в технических требованиях. Простое увеличение уровня фильтрации без повторной проверки рабочей точки вентилятора может привести к тому, что фактический объем подаваемого воздуха окажется ниже расчетного значения.

Количество должно быть проверено по объему воздуха и планировке одновременно.

После завершения выбора единого ФФУ можно провести два предварительных расчета по регионам:

• Калибровка объема воздуха: Требуемый объем подачи воздуха в помещение ÷ Эффективный объем воздуха одного FFU в расчетных условиях работы.

• Проверка компоновки: Площадь подачи воздуха, которую должен покрывать FFU ÷ фактическая зона покрытия подачи воздуха одного FFU.

Оба результата следует округлить в большую сторону, а затем скорректировать с учетом положения лучей, ламп, разбрызгивателей, расположения оборудования, каналов обслуживания и путей возврата воздуха. Если рассчитанное количество соответствует общему объему воздуха, но оставляет пробелы в подаче воздуха в ключевых точках процесса, необходимо перераспределить или увеличить местную подачу воздуха. Если потолок может вместить достаточное количество FFU, все равно необходимо убедиться, что общий объем воздуха, направление воздушного потока и сопротивление системы соответствуют требованиям.

Крупномасштабные проекты также должны разделять зоны управления в соответствии с областями процессов и эксплуатационными потребностями, а также заранее подтверждать мощность электропитания, коммуникационные интерфейсы, требования к планированию адресов и мониторингу. Если требуется унифицированное регулирование скорости или мониторинг состояния, это можно оценить одновременно на этапе выбора.Система группового управления ФФУ позволяет избежать корректировки плана управления после установки оборудования.

Подтвердите окончательную конфигурацию с помощью прототипов и результатов эксплуатации.

Расчеты и информация о продукте дают план проектирования, а окончательное количество и спецификации должны быть проверены. Перед оптовой закупкой рекомендуется использовать прототип для подтверждения размера установки, уплотнения фильтра, расчетного объема воздуха, статического давления, регулирования скорости и условий обслуживания; после установки измерьте скорость и равномерность ветра, чистоту и фактическое рабочее состояние согласно техническому соглашению. Если в результате испытания будет установлено, что местный поток воздуха недостаточен или неравномерно распределен, устройство ФФУ, его устройство или организация возвратного воздуха должны быть отрегулированы и повторно проверены.

При обращении к поставщикам обычно легче получить поддающееся проверке решение, чем сообщая только «площадь помещения и уровень чистоты», предоставляя целевые показатели чистоты, планы полов и потолков, целевой объем или скорость воздуха, требования к фильтрации, требования к электропитанию и контролю, а также расчетные количества и планы подготовки для каждой зоны.

Часто задаваемые вопросы: Можно ли напрямую заменять FFU одного размера? Нельзя судить только по размеру. Также необходимо проверить объем воздуха и статическое давление, фильтры и методы герметизации, электрические интерфейсы, протоколы управления и пространство для обслуживания в расчетных условиях.

Часто задаваемые вопросы: Чем больше количество FFU, тем лучше? Количество должно обеспечивать требуемый воздушный поток и чистоту. Увеличение FFU также приведет к изменению электропитания, шума, энергопотребления и условий возвратного воздуха, которые должны быть определены на основе расчетов зонирования и результатов проверки на месте.