Comment configurer les filtres chimiques de l’atelier de production de panneaux en fonction du process ?

La production de panneaux, notamment TFT-LCD, AMOLED, Mini/Micro LED, etc., implique de nombreux processus, et chaque processus utilise des matériaux, des conditions de processus et des objets de protection différents. Traiter l’ensemble de l’atelier comme un environnement unifié pour configurer les filtres chimiques n’est souvent pas l’approche la plus raisonnable.

Il y a deux raisons à cela : premièrement, différents processus produisent différents polluants gazeux et nécessitent différents milieux ; Deuxièmement, différents processus ont une sensibilité différente à la pollution gazeuse et les exigences en matière d'exportation peuvent être souples ou strictes. L'identification séparée et la configuration des partitions sont plus ciblées que la configuration unifiée. Pour une logique de sélection spécifique, veuillez vous référer à Discussion sur les raisons pour lesquelles les filtres chimiques doivent être sélectionnés en fonction du gaz cible .

Identifier les sources par région

Les sources de pollution gazeuse dans l'atelier de panneaux sont relativement dispersées et doivent être étudiées séparément par zone de traitement.

Processus de nettoyage. Les agents de nettoyage peuvent contenir des solvants organiques, des ingrédients alcalins ou d'autres composés volatils. Différentes méthodes de nettoyage (humide, sec, plasma) libèrent différents composants. Si le produit de nettoyage est modifié, les composants libérés peuvent également changer.

Processus de revêtement et de développement. Les photorésists, les révélateurs et les diluants peuvent contenir des solvants organiques. Ces matériaux se volatilisent pendant les processus de revêtement, de séchage et de développement et constituent d'importantes sources de COV. Pour les méthodes de sélection spécifiques, veuillez vous référer à Discussion sur le choix d'un filtre chimique pour l'air contre la pollution par le toluène .

Processus de gravure. Les gaz de gravure peuvent contenir des composants acides, du fluorure ou d'autres gaz spéciaux. Ces composants présentent des risques de corrosion des équipements et des matériaux et nécessitent un traitement ciblé. Pour des différences spécifiques, veuillez vous référer à savoir si les filtres chimiques peuvent éliminer le dioxyde de soufre de l'air . Discussion sur la question de

Processus de revêtement. Des processus tels que le PECVD et la pulvérisation cathodique peuvent produire des gaz ou des sous-produits spécifiques. Certains composants ont un impact sur les propriétés optiques.

Stockage du matériel et fonctionnement des équipements. Le stockage exposé de matériaux, de joints d'équipement et de lubrifiants peut libérer en permanence des traces de matière organique aux températures de fonctionnement. Cette partie de la source est facilement négligée.

Les matériaux pertinents et les données représentatives sur l'air doivent être confirmés pour éviter une sélection basée uniquement sur les noms de processus. Pour les méthodes d'échantillonnage spécifiques, veuillez vous référer à de l'opportunité de procéder à un échantillonnage de l'air avant de choisir un filtre chimique . Discutez

Distinguer l'entrée et la version interne

Après avoir confirmé la source de la pollution, il faut également déterminer s’il s’agit d’un apport externe ou d’un rejet interne.

L'air extérieur est contrôlé par la section d'air neuf. Si l'atelier est proche d'une zone industrielle ou d'un axe de circulation, l'air frais peut transporter des gaz acides, des matières organiques ou d'autres composants. Cette partie nécessite la mise en place d'une section de filtration chimique dans l'unité d'air neuf. Pour une configuration spécifique, veuillez vous référer à Discussion sur les raisons pour lesquelles MAU doit configurer la section de filtration chimique .

Les rejets internes nécessitent une évacuation de la source, un retour ou une protection locale. Si la contamination provient du procédé lui-même ou des matériaux de l'équipement, le traitement de l'air frais ne suffit pas et la filtration doit être configurée localement ou sur le chemin de retour d'air. Pour des différences spécifiques, veuillez vous référer à Discussion sur la contamination locale que le FFU plus le filtre chimique peuvent gérer .

Lors d’un épandage interrégional, la différence de pression et le zonage de l’air de reprise doivent également être vérifiés. Si l'air de reprise est partagé entre différents processus, la contamination d'une zone peut pénétrer dans une autre zone par l'air de reprise. À ce stade, il est nécessaire d’évaluer la relation entre le zonage de l’air de reprise et la différence de pression pour éviter la propagation de la pollution. Pour des méthodes spécifiques, veuillez vous référer à Discussion sur la manière dont les odeurs dans les bâtiments d'usine à plusieurs étages interagissent les unes avec les autres et sur la manière dont la filtration chimique doit être cloisonnée .

Fixer des objectifs pour chaque quartier

Différents domaines de processus ont des objets de protection différents, et les exigences en matière d'exportation doivent également être déterminées séparément.

Zones de photolithographie et de revêtement. Peut être sensible aux gaz alcalins et aux vapeurs organiques. Les composants alcalins peuvent affecter les performances de la résine photosensible et les vapeurs organiques peuvent former un film sur la surface. Les sections de filtration chimique dans ces zones doivent être configurées pour les composants correspondants. Pour plus de détails, veuillez vous référer à Discussion sur le choix des filtres chimiques pour la contamination par les gaz aminés .

Zone de gravure et de revêtement. Peut être sensible aux gaz acides et à certains sous-produits. Les pièces métalliques et les composants optiques à l'intérieur de l'appareil peuvent être affectés par la corrosion ou la contamination.

Zone d’inspection et d’essais. Il existe des exigences en matière de contamination particulaire et gazeuse, mais l'objet sensible peut être l'équipement de détection lui-même ou la surface du produit.

Les données de différents domaines peuvent être comparées, mais le même cycle de maintenance ne peut pas être appliqué par défaut à tous les processus. Chaque zone a des exigences différentes en matière de concentration d'entrée, de capacité de support et de sortie, et le cycle de remplacement peut également être différent. Pour une évaluation de vie spécifique, veuillez vous référer à Discussion sur la durée de vie des filtres chimiques .

La stratégie de maintenance doit être cloisonnée

Une fois le partitionnement configuré, la stratégie de maintenance doit être ajustée en conséquence.

Les cycles de remplacement sont différents. Les sections de filtre chimique peuvent être remplacées plus fréquemment dans les zones à forte charge et plus longtemps dans les zones à faible charge. Les registres de maintenance doivent être enregistrés séparément par région.

La fréquence de détection est différente. La fréquence des tests de concentration en sortie dans les zones de processus clés peut être plus élevée et, dans les zones générales, elle peut être assouplie de manière appropriée.

Enregistrez et tracez. Le modèle de section de filtre, l'emplacement d'installation, la date de remplacement et les résultats des tests de chaque zone doivent être enregistrés en conséquence. S’il y a un problème dans une certaine zone plus tard, il peut être rapidement localisé. impliquant Filtre chimique caisson MAU ou Le système, l'interface et la résistance du filtre chimique supportant le FFU doivent être vérifiés ensemble pendant la phase de planification.

Exemple de jugement de projet

Un certain atelier de panneaux a installé le même filtre à charbon actif dans plusieurs zones de processus.

Après avoir fonctionné pendant un certain temps, il a été constaté que certaines zones fonctionnaient bien, tandis que l'odeur était encore évidente dans d'autres zones. Recherche et confirmation : Les zones présentant des odeurs évidentes libèrent principalement des gaz alcalins, tandis que le charbon actif ordinaire a une capacité d'adsorption limitée pour les gaz alcalins et nécessite des milieux ciblés.

Plan d'ajustement : ré-identifier les principaux polluants par zone, utiliser des médias pour les gaz organiques dans les zones de photolithographie et de nettoyage, et ajouter des sections de filtration chimique pour les gaz alcalins dans les zones de gravure et de développement. Le volume d'air, la résistance et le cycle de remplacement des sections de filtre dans chaque zone sont vérifiés séparément. La qualité de l'air dans chaque zone a été améliorée après ajustements.

Ce cas illustre : La filtration chimique dans l'atelier de panneaux doit être configurée séparément en fonction du processus et ne peut pas être universelle. impliquant Lors de la sélection d'une série de produits de filtrage chimique , il est recommandé que les données de pollution, les objets sensibles et les conditions du système de chaque processus soient fournis au fournisseur pour vérification.

Points clés pour le contrôle de sélection et de réception

À propos des packages de filtration pour l'industrie des panneaux d'Aili Industrial

Le cœur de la configuration de filtration chimique dans l'atelier de panneaux consiste à faire correspondre les caractéristiques de pollution, les objets sensibles et les chemins d'air de chaque processus, puis à sélectionner les supports correspondants par partition.

Aili Industrial dispose de capacités de fabrication indépendantes dans les domaines des filtres, des moteurs, des ventilateurs, des systèmes de contrôle et du traitement de la tôle, et peut fournir des séries de produits de filtres chimiques et des équipements d'alimentation en air de support. Pour les projets de l'industrie des panneaux, les données de pollution, les objets de protection, le volume d'air et l'espace d'installation de chaque processus peuvent être combinés pour aider à vérifier le plan de filtration de zonage. Lorsque le filtre est associé à MAU, FFU, EFU et autres équipements, les méthodes de résistance, d'interface et de maintenance peuvent être confirmées de manière uniforme.

Produits associés :Série de produits de filtres chimiques、Filtre chimique boîte MAU、FFU est livré avec un filtre chimique . Fournir des informations sur la contamination, les objectifs de protection et les conditions du système pour chaque processus au cours de l'enquête aidera à confirmer le schéma de filtration par zonage approprié. La sélection spécifique est soumise aux documents techniques et aux résultats des tests confirmés par le projet.