Как должен быть настроен химический фильтр в цехе по производству панелей в соответствии с технологическим процессом?

Производство панелей, включая TFT-LCD, AMOLED, Mini/Micro LED и т. д., включает в себя множество процессов, и в каждом процессе используются разные материалы, условия процесса и объекты защиты. Рассматривать весь цех как единую среду для настройки химических фильтров зачастую не самый разумный подход.

Причин две: во-первых, разные процессы производят разные газообразные загрязнители и требуют разных сред; во-вторых, разные процессы имеют разную чувствительность к газовому загрязнению, а экспортные требования могут быть мягкими или жесткими. Отдельная идентификация и настройка разделов более целенаправленны, чем унифицированная конфигурация. Подробную логику выбора см. Дискуссия о том, почему химические фильтры следует выбирать в зависимости от целевых газов .

Определить источники по регионам

Источники газовых загрязнений в панельном цехе относительно разбросаны и требуют отдельного исследования по технологическим участкам.

Процесс очистки. Чистящие средства могут содержать органические растворители, щелочные ингредиенты или другие летучие соединения. Различные методы очистки (влажная, сухая, плазменная) выделяют разные компоненты. При замене чистящего средства могут измениться и выпущенные компоненты.

Процесс нанесения покрытия и проявления. Фоторезисты, проявители и разбавители могут содержать органические растворители. Эти материалы улетучиваются во время процессов нанесения покрытия, сушки и проявления и являются важными источниками летучих органических соединений. Конкретные методы выбора см. Обсуждение того, как выбрать воздушный химический фильтр от загрязнения толуолом .

Процесс травления. Травильные газы могут содержать кислотные компоненты, фторид или другие специальные газы. Эти компоненты представляют опасность коррозии для оборудования и материалов и требуют целенаправленного лечения. Конкретные различия см. могут ли химические фильтры удалять диоксид серы из воздуха . Обсуждение того,

Процесс нанесения покрытия. Такие процессы, как PECVD и распыление, могут образовывать определенные газы или побочные продукты. Некоторые компоненты оказывают влияние на оптические свойства.

Хранение материалов и эксплуатация оборудования. Открытое хранение материалов, уплотнений оборудования и смазочных материалов может постоянно выделять следовые количества органических веществ при рабочих температурах. Эту часть источника легко упустить из виду.

Соответствующие материалы и репрезентативные данные о воздухе должны быть подтверждены, чтобы избежать выбора, основанного исключительно на названиях процессов. Конкретные методы отбора проб см. следует ли проводить отбор проб воздуха перед выбором химического фильтра . Обсудите,

Различают входной и внутренний выпуск.

После подтверждения источника загрязнения также необходимо определить, является ли это внешним входом или внутренним выбросом.

Наружный воздух контролируется секцией свежего воздуха. Если мастерская находится недалеко от промышленной зоны или транспортной артерии, свежий воздух может содержать кислотные газы, органические вещества или другие компоненты. Эта часть требует установки секции химической фильтрации в блоке свежего воздуха. Конкретную конфигурацию см. Дискуссия о том, почему МАУ необходимо настроить секцию химической фильтрации .

Внутренние выпуски требуют вытяжки источника, возвратного воздуха или местной защиты. Если загрязнение происходит из-за самого процесса или материалов оборудования, очистки свежего воздуха недостаточно, и фильтрацию необходимо настроить локально или на пути обратного воздуха. Конкретные различия см. Обсуждение того , с какими локальными загрязнениями справляется ФФУ плюс химический фильтр .

При распределении по регионам также следует проверять перепад давления и зональность возвратного воздуха. Если возвратный воздух распределяется между различными процессами, загрязнения из одной зоны могут попасть в другую зону через возвратный воздух. В это время необходимо оценить взаимосвязь между зональностью возвратного воздуха и разницей давления, чтобы избежать распространения загрязнения. Конкретные методы см. Дискуссия о том, как запахи в многоэтажных заводских зданиях взаимодействуют друг с другом и как следует разделять химическую фильтрацию .

Ставьте цели для каждого района

Различные технологические области имеют разные объекты защиты, и требования к экспорту также должны определяться отдельно.

Участки фотолитографии и нанесения покрытий. Может быть чувствителен к щелочным газам и парам органических веществ. Щелочные компоненты могут повлиять на характеристики фоторезиста, а пары органических веществ могут образовать пленку на поверхности. Секции химической фильтрации на этих участках необходимо настроить на соответствующие компоненты. Подробную информацию см. Дискуссия о том, как выбрать химические фильтры от аминных газовых загрязнений .

Участок травления и нанесения покрытия. Может быть чувствителен к кислым газам и некоторым побочным продуктам. Металлические детали и оптические компоненты внутри устройства могут подвергнуться коррозии или загрязнению.

Зона контроля и испытаний. Существуют требования к загрязнению как частицами, так и газами, но чувствительным объектом может быть само оборудование обнаружения или поверхность продукта.

Данные в разных областях можно сравнивать, но один и тот же цикл обслуживания не может быть применен ко всем процессам по умолчанию. Каждая зона имеет различную концентрацию на входе, производительность среды и требования к выходу, а цикл замены также может быть разным. Для конкретной оценки жизни, пожалуйста, обратитесь к Обсуждение срока службы химических фильтров .

Стратегию технического обслуживания необходимо разделить

После настройки разделения необходимо соответствующим образом скорректировать стратегию обслуживания.

Циклы замены разные. Секции химического фильтра можно заменять чаще в зонах с высокой нагрузкой и дольше в зонах с низкой нагрузкой. Журналы технического обслуживания должны вестись отдельно по регионам.

Частота обнаружения различна. Частота проверки концентрации на выходе на ключевых участках процесса может быть выше, а на общих участках она может быть соответствующим образом снижена.

Записывайте и отслеживайте. Модель секции фильтра, место установки, дата замены и результаты испытаний каждой секции должны быть записаны соответствующим образом. Если позже в определенной области возникнет проблема, ее можно будет быстро обнаружить. с участием Химический фильтр коробки МАУ или Систему, интерфейс и сопротивление поддерживающего химического фильтра FFU необходимо проверить вместе на этапе планирования.

Пример оценки проекта

Одна мастерская установила один и тот же фильтр с активированным углем на нескольких технологических участках.

Поработав некоторое время, было обнаружено, что некоторые участки работали хорошо, в то время как в других запах все еще был заметен. Исследование и подтверждение: Области с явными запахами в основном выделяют щелочные газы, в то время как обычный активированный уголь имеет ограниченную адсорбционную способность для щелочных газов и требует специальной среды.

План корректировки: повторно определить основные загрязняющие вещества по площадям, использовать среду для органических газов в зонах фотолитографии и очистки, а также добавить секции химической фильтрации для щелочных газов в зонах травления и проявки. Объем воздуха, сопротивление и периодичность замены секций фильтра в каждой зоне проверяются отдельно. Качество воздуха в каждой зоне было улучшено после корректировок.

Этот случай иллюстрирует: химическая фильтрация в цехе по производству панелей должна настраиваться отдельно в зависимости от процесса и не может быть универсальной. с участием При выборе серии химических фильтров рекомендуется предоставлять поставщику для проверки данные о загрязнении, чувствительных объектах и ​​состояниях системы каждого процесса.

Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле

О фильтрующих пакетах Aili Industrial для панельной промышленности

Суть конфигурации химической фильтрации в панельном цехе заключается в согласовании характеристик загрязнения, чувствительных объектов и воздушных путей каждого процесса, а затем выборе соответствующих сред по перегородкам.

Aili Industrial имеет независимые производственные мощности по производству фильтров, двигателей, вентиляторов, систем управления и обработки листового металла, а также может предоставить серию продуктов для химических фильтров и вспомогательное оборудование для подачи воздуха. Для проектов панельной промышленности данные о загрязнении, объектах защиты, объеме воздуха и пространстве установки каждого процесса могут быть объединены, чтобы помочь в проверке плана фильтрации по зонированию. Когда фильтр сочетается с MAU, FFU, EFU и другим оборудованием, сопротивление, интерфейс и методы обслуживания могут быть подтверждены единообразно.

Сопутствующие товары:Серия химических фильтров、Химический фильтр коробки МАУ、FFU поставляется с химическим фильтром . Предоставление информации о загрязнении, целях защиты и условиях системы для каждого процесса во время запроса поможет подтвердить соответствующую схему зонирования фильтрации. Конкретный выбор зависит от технической документации и результатов испытаний, подтвержденных проектом.