¿Cómo se debe configurar el filtro químico en el taller de producción de paneles según el proceso?

La producción de paneles, incluidos TFT-LCD, AMOLED, Mini/Micro LED, etc., implica muchos procesos, y cada proceso utiliza diferentes materiales, condiciones de proceso y objetos de protección. Tratar todo el taller como un entorno unificado para configurar filtros químicos a menudo no es el enfoque más razonable.

Hay dos razones: primero, diferentes procesos producen diferentes contaminantes gaseosos y requieren diferentes medios; en segundo lugar, diferentes procesos tienen diferente sensibilidad a la contaminación gaseosa y los requisitos de exportación pueden ser flexibles o estrictos. La identificación separada y la configuración de partición son más específicas que la configuración unificada. Para conocer la lógica de selección específica, consulte Discusión sobre por qué se deben seleccionar filtros químicos según los gases objetivo .

Identificar fuentes por región

Las fuentes de contaminación gaseosa en el taller de paneles están relativamente dispersas y deben investigarse por separado por área de proceso.

Proceso de limpieza. Los agentes de limpieza pueden contener disolventes orgánicos, ingredientes alcalinos u otros compuestos volátiles. Los diferentes métodos de limpieza (húmedo, seco, plasma) liberan diferentes componentes. Si se cambia el agente de limpieza, los componentes liberados también pueden cambiar.

Proceso de recubrimiento y revelado. Los fotoprotectores, reveladores y diluyentes pueden contener solventes orgánicos. Estos materiales se volatilizan durante los procesos de recubrimiento, secado y desarrollo y son fuentes importantes de COV. Para métodos de selección específicos, consulte Discusión sobre cómo elegir un filtro químico de aire para la contaminación por tolueno .

Proceso de grabado. Los gases de grabado pueden contener componentes ácidos, fluoruro u otros gases especiales. Estos componentes plantean riesgos de corrosión para los equipos y materiales y requieren un tratamiento específico. Para diferencias específicas, consulte si los filtros químicos pueden eliminar el dióxido de azufre del aire . Discusión sobre

Proceso de recubrimiento. Procesos como PECVD y pulverización catódica pueden producir gases o subproductos específicos. Algunos componentes tienen un impacto en las propiedades ópticas.

Almacenamiento de materiales y operación de equipos. El almacenamiento expuesto de materiales, sellos de equipos y lubricantes puede liberar continuamente trazas de materia orgánica a temperaturas de funcionamiento. Esta parte de la fuente se pasa fácilmente por alto.

Se deben confirmar los materiales relevantes y los datos representativos del aire para evitar una selección basada únicamente en los nombres de los procesos. Para métodos de muestreo específicos, consulte si se debe realizar un muestreo de aire antes de elegir un filtro químico . Analice

Distinguir entre entrada y liberación interna

Después de confirmar la fuente de contaminación, también es necesario determinar si se trata de un insumo externo o una liberación interna.

El aire exterior está controlado por la sección de aire fresco. Si el taller está cerca de una zona industrial o arteria de tráfico, el aire fresco puede transportar gases ácidos, materia orgánica u otros componentes. Esta parte requiere la instalación de una sección de filtración química en la unidad de aire fresco. Para una configuración específica, consulte Discusión sobre por qué MAU necesita configurar la sección de filtración química .

Las liberaciones internas requieren extracción de la fuente, aire de retorno o protección local. Si la contaminación proviene del proceso mismo o de los materiales del equipo, el tratamiento del aire fresco no es suficiente y la filtración debe configurarse localmente o en la ruta del aire de retorno. Para diferencias específicas, consulte Discusión sobre qué contaminación localizada se puede tratar con FFU más filtro químico .

Al distribuir entre regiones, también se debe comprobar la diferencia de presión y la zonificación del aire de retorno. Si el aire de retorno se comparte entre diferentes procesos, la contaminación de un área puede ingresar a otra a través del aire de retorno. En este momento, es necesario evaluar la relación entre la zonificación del aire de retorno y la diferencia de presión para evitar la propagación de la contaminación. Para métodos específicos, consulte Discusión sobre cómo interactúan entre sí los olores en los edificios de fábricas de varios pisos y cómo se debe dividir la filtración química .

Establecer objetivos para cada distrito

Diferentes áreas de proceso tienen diferentes objetos de protección y los requisitos de exportación también deben determinarse por separado.

Áreas de fotolitografía y recubrimiento. Puede ser sensible a gases alcalinos y vapores orgánicos. Los componentes alcalinos pueden afectar el rendimiento del fotoprotector y el vapor orgánico puede formar una película en la superficie. Las secciones de filtración química en estas áreas deben configurarse para los componentes correspondientes. Para más detalles, consulte Discusión sobre cómo elegir filtros químicos para la contaminación por gas amina .

Zona de grabado y recubrimiento. Puede ser sensible a los gases ácidos y ciertos subproductos. Las piezas metálicas y los componentes ópticos del interior del dispositivo pueden verse afectados por la corrosión o la contaminación.

Área de inspección y pruebas. Existen requisitos para la contaminación tanto de partículas como de gases, pero el objeto sensible puede ser el propio equipo de detección o la superficie del producto.

Se pueden comparar datos de diferentes áreas, pero no se puede aplicar el mismo ciclo de mantenimiento a todos los procesos de forma predeterminada. Cada zona tiene diferentes requisitos de concentración de entrada, capacidad de medio y salida, y el ciclo de reemplazo también puede ser diferente. Para una evaluación de vida específica, consulte Discusión sobre cuánto duran los filtros químicos .

La estrategia de mantenimiento debe dividirse

Una vez configurada la partición, la estrategia de mantenimiento debe ajustarse en consecuencia.

Los ciclos de reemplazo son diferentes. Las secciones del filtro químico se pueden reemplazar con más frecuencia en áreas de alta carga y por más tiempo en áreas de baja carga. Los libros de mantenimiento deben registrarse por separado por región.

La frecuencia de detección es diferente. La frecuencia de las pruebas de concentración de salida en áreas clave de proceso puede ser mayor y, en áreas generales, puede flexibilizarse adecuadamente.

Registro y seguimiento. En consecuencia, se deben registrar el modelo de sección del filtro, la ubicación de instalación, la fecha de reemplazo y los resultados de las pruebas de cada área. Si más adelante hay un problema en un área determinada, se puede localizar rápidamente. involucrando Filtro químico de caja MAU o El sistema, la interfaz y la resistencia del filtro químico de soporte de la FFU deben comprobarse juntos durante la etapa de planificación.

Ejemplo de juicio de proyecto

Cierto taller de paneles instaló el mismo filtro de carbón activado en múltiples áreas de proceso.

Después de ejecutarlo durante un período de tiempo, se descubrió que algunas áreas funcionaban bien, mientras que el olor aún era evidente en otras áreas. Investigación y confirmación: Las áreas con olores evidentes liberan principalmente gases alcalinos, mientras que el carbón activado ordinario tiene una capacidad de adsorción limitada para gases alcalinos y requiere medios específicos.

Plan de ajuste: Reidentificar los principales contaminantes por área, utilizar medios para gases orgánicos en las áreas de fotolitografía y limpieza, y agregar secciones de filtración química para gases alcalinos en las áreas de grabado y desarrollo. El volumen de aire, la resistencia y el ciclo de reemplazo de las secciones de filtro en cada área se verifican por separado. La calidad del aire en cada área se ha mejorado después de ajustes.

Este caso ilustra: La filtración química en el taller de paneles debe configurarse por separado según el proceso y no puede ser única. involucrando Al seleccionar una serie de productos de filtrado químico , se recomienda proporcionar al proveedor los datos de contaminación, los objetos sensibles y las condiciones del sistema de cada proceso para su verificación.

Puntos clave para la inspección de selección y aceptación.

Acerca de los paquetes de filtración para la industria de paneles de Aili Industrial

El núcleo de la configuración de filtración química en el taller de paneles es hacer coincidir las características de contaminación, los objetos sensibles y las rutas de aire de cada proceso, y luego seleccionar los medios correspondientes por partición.

Aili Industrial tiene capacidades de fabricación independientes en filtros, motores, ventiladores, sistemas de control y procesamiento de chapa metálica, y puede proporcionar series de productos de filtros químicos y equipos de suministro de aire de soporte. Para proyectos de la industria de paneles, los datos de contaminación, los objetos de protección, el volumen de aire y el espacio de instalación de cada proceso se pueden combinar para ayudar a verificar el plan de filtración por zonas. Cuando el filtro se combina con MAU, FFU, EFU y otros equipos, la resistencia, la interfaz y los métodos de mantenimiento se pueden confirmar de manera uniforme.

Productos relacionados:Serie de productos de filtros químicos.、Filtro químico de caja MAU、FFU viene con filtro químico . Proporcionar información sobre contaminación, objetivos de protección y condiciones del sistema para cada proceso durante la investigación ayudará a confirmar el esquema de filtración por zonas adecuado. La selección específica está sujeta a los documentos técnicos y a los resultados de las pruebas confirmados por el proyecto.