Pourquoi les changements dans l’air évacué des équipements de tranches affectent-ils le flux d’air dans les zones FFU à proximité ?

Quelle est la relation entre les changements d’air évacué et le débit d’air FFU ?

Dans les salles blanches de semi-conducteurs, les équipements sur tranches sont souvent équipés d’un système d’échappement de processus pour éliminer la chaleur, les gaz chimiques et les particules générés à l’intérieur de l’équipement. Le volume d'air évacué changera en fonction de l'état du processus. Par exemple, le volume d'air évacué sera plus important lorsque l'équipement est en fonctionnement, et il diminuera lorsque l'équipement est en veille ou en maintenance.

Ce changement dans le volume d'air évacué modifie l'alimentation en air et les voies d'écoulement autour de l'équipement. Lorsque le volume d’air évacué augmente, davantage d’air doit être ajouté à proximité de l’équipement. Si le trajet d’apport d’air n’est pas régulier, de l’air peut être extrait des zones adjacentes, affectant la couverture d’alimentation en air des FFU à proximité. Lorsque le volume d'air évacué diminue, l'air initialement emporté par l'air évacué peut changer de direction, provoquant une stagnation ou un reflux local du flux d'air.

Bien que FFU soit installé au plafond, il ne s’agit pas d’un système indépendant. L'air soufflé, l'air repris de la pièce, l'air extrait du processus et l'air supplémentaire du FFU constituent ensemble l'organisation du flux d'air de la salle blanche. Les changements dans un domaine peuvent affecter d’autres domaines. Aili Industrial dispose de capacités de production complètes en matière d'adaptation de FFU de semi-conducteurs et peut fournir des solutions de configuration FFU en fonction des exigences d'organisation du flux d'air du projet. Pour la structure de base de la machine FFU, vous pouvez vous référer àUnité de filtre de ventilateur Aili Industrial FFU。

Par quelles voies la modification de l’air évacué affecte-t-elle la zone FFU ?

Les changements d’air évacué affectent la zone FFU, généralement par plusieurs chemins. Le premier est le chemin de l’approvisionnement éolien. Lorsque l’air évacué de l’équipement augmente, davantage d’air est nécessaire pour compléter. Si l’air frais ou l’air supplémentaire ne suit pas le rythme, une pression négative peut se former à proximité de l’équipement, aspirant l’air des zones adjacentes et modifiant la direction de l’alimentation en air FFU.

Le second est le chemin de retour d’air. Les changements dans le volume d’air évacué affecteront le volume d’air repris dans la pièce. Si le chemin de retour d'air est bloqué par un équipement ou des matériaux, un mauvais débit d'air peut se produire dans les zones locales, affectant la circulation de l'alimentation en air FFU.

Le troisième élément est le changement de différence de pression. Les modifications du volume d'échappement du procédé peuvent modifier la différence de pression dans une pièce ou une zone. Si la différence de pression fluctue considérablement, cela peut affecter la direction du flux d'air entre la salle blanche et l'extérieur, ainsi que la stabilité de l'alimentation en air FFU.

Le quatrième est un panache thermique. Le chauffage de l’équipement générera un flux d’air ascendant, qui interagit avec l’alimentation en air descendante FFU. Les changements dans le volume d'air évacué modifieront l'intensité et la direction du panache thermique, affectant ainsi le champ d'écoulement dans la zone FFU voisine.

Comment enregistrer les changements dans l'air évacué sur place

Pour étudier l'impact des changements dans l'air évacué sur le débit d'air FFU, vous devez d'abord enregistrer l'état d'échappement. Le contenu de l'enregistrement comprend : le mode de fonctionnement de l'équipement, le réglage du volume d'air évacué ou la valeur mesurée réelle, le temps de changement d'air évacué, la vitesse du vent et la direction du flux d'air dans la zone FFU avant et après le changement d'air évacué, la différence de pression ambiante, l'état de l'air de reprise et l'état de l'air supplémentaire.

Si l'appareil dispose de plusieurs modes de fonctionnement, il est recommandé d'enregistrer les données de débit d'air dans chaque mode séparément. Par exemple, le flux d'air d'échappement et de zone FFU pendant la production d'équipement, la veille, la maintenance, le nettoyage, etc.

Ces enregistrements peuvent aider à déterminer la corrélation entre les modifications du débit d’air évacué et les modifications du débit d’air FFU. Si à chaque fois que le volume d'air évacué augmente, la vitesse du vent dans la zone FFU voisine diminue ou la direction du flux d'air change, cela signifie qu'il existe une relation de liaison entre les deux.

Comment vérifier les chemins de circulation de l'air

Lors de la vérification du chemin du flux d'air, vous pouvez commencer par l'évent d'évacuation de l'équipement et confirmer étape par étape dans la direction du flux d'air. Confirmez la position et le volume de la sortie d'échappement, confirmez la direction à partir de laquelle l'air supplémentaire entre dans la zone de l'équipement, confirmez le chemin d'où sort l'air de retour et confirmez si l'alimentation en air FFU couvre les zones clés autour de l'équipement.

Si vous constatez que le chemin de l'air soufflé n'est pas fluide, vous pouvez vérifier l'entrée d'air frais, la vanne d'air soufflé, le conduit d'alimentation en air et l'ouverture de la pièce. Si le chemin de retour d'air est bloqué, vous pouvez vérifier les bouches d'aération de retour, les canaux de retour d'air et les mezzanines du plafond. Si l'alimentation en air FFU est affectée par l'air évacué, vous pouvez évaluer si la position de disposition du FFU et la direction de l'alimentation en air doivent être ajustées.

Pour les salles blanches de semi-conducteurs, la vérification des chemins de flux d’air nécessite généralement une combinaison de simulations CFD ou de tests de visualisation du flux d’air sur site. Les tests sur le terrain peuvent utiliser de la fumée, du fil ou des anémomètres pour observer la direction du flux d'air.

Dans quelles directions pouvez-vous commencer avec des ajustements d’équilibre ?

S'il est confirmé que le changement d'air évacué affecte le débit d'air dans la zone FFU, celui-ci peut être ajusté dans plusieurs directions. Optimisez le chemin d'alimentation en air pour garantir que l'air soufflé puisse suivre les changements d'air évacué de l'équipement dans le temps et réduire l'extraction des zones adjacentes. Ajustez le chemin d'air de retour pour éviter que l'air de retour ne soit bloqué par des équipements ou des matériaux et maintenir une circulation d'air fluide. Ajustez la disposition du FFU ou la direction de l'alimentation en air afin que les zones critiques puissent toujours maintenir une couverture d'alimentation en air lorsque l'air évacué change. Ajustez la stratégie de contrôle de la différence de pression pour réduire les fluctuations de la différence de pression causées par les changements dans l'air évacué.

Pour les projets dans lesquels l'air évacué de l'équipement change de manière significative, vous pouvez également envisager une séparation des flux d'air entre la zone de l'équipement et les zones environnantes afin de réduire l'influence mutuelle. Si l'équipement nécessite une évacuation locale, une hotte ou une enceinte d'évacuation indépendante peut être conçue.

Le rôle de FFU dans le système

FFU est principalement responsable de la filtration en circulation et de l’alimentation en air dans les salles blanches pour semi-conducteurs. Il fournit de l'air pur et maintient l'organisation régionale du flux d'air, mais ne peut à lui seul résoudre les problèmes du système causés par les changements dans l'air évacué. Le volume d'alimentation en air, la pression statique et la disposition du FFU doivent être coordonnés avec les systèmes d'évacuation, de reprise d'air et d'air d'appoint.

Si le projet doit ajuster la configuration du FFU pour s'adapter aux changements dans l'air évacué, vous pouvez choisir un FFU avec différents volumes d'air, pressions statiques ou méthodes de contrôle. Si le projet nécessite un ajustement du contrôle de groupe, vous pouvez vous référer àContrôleur d'écran tactile de contrôle de groupe FFU/EFU etLe système de contrôle du groupe informatique FFU comprend le plan d'ajustement des partitions. Aili Industry dispose de capacités de production complètes de machines complètes et de systèmes de contrôle FFU, et peut fournir des solutions de support en fonction des exigences d'organisation du flux d'air du projet.

Problèmes qui doivent être confirmés à l'avance lors de la communication du projet

Pendant la phase de conception du flux d'air et d'inspection des salles blanches pour semi-conducteurs, il est recommandé de confirmer les éléments suivants avec le concepteur et le fournisseur d'équipement : la plage de volumes d'échappement et le modèle de variation de l'équipement de plaquette ; la capacité et la vitesse de réponse du système d'air d'appoint ; le chemin d'air de reprise et l'emplacement de la sortie d'air de reprise ; la stratégie de contrôle de la différence de pression ambiante ; Disposition des FFU et couverture de l'alimentation en air ; les exigences de protection pour les zones clés ; si une simulation CFD ou des tests sur site sont nécessaires ; et la méthode de vérification ajustée.

Si vous êtes confronté à l'impact de l'échappement des équipements de plaquettes sur le flux d'air FFU, vous pouvez visiterUnité de filtre de ventilateur Aili Industrial FFU pour en savoir plus sur la configuration complète de la machine, vous pouvez également contacter Aili Industrial pour obtenir une assistance en matière de solution d'alimentation en air pour les projets de semi-conducteurs.

en conclusion

Les changements dans l'air évacué de l'équipement de plaquette affecteront le flux d'air dans la zone FFU voisine à travers des chemins tels que l'air d'appoint, l'air de retour, la différence de pression et le panache thermique. FFU n'est pas un système indépendant. L’air extrait, l’air repris, l’air d’appoint et l’air soufflé doivent être évalués conjointement. Au cours de l'inspection, les données sur l'état des gaz d'échappement et le débit d'air doivent être enregistrées, le chemin du flux d'air doit être vérifié, puis des ajustements doivent être effectués à partir de l'air supplémentaire, de l'air de retour, de la disposition FFU et du contrôle de la différence de pression.

Aili Industrial dispose de capacités de production complètes dans les systèmes de support et de contrôle des semi-conducteurs FFU, et peut fournir des solutions de configuration FFU en fonction des exigences d'organisation du flux d'air du projet. Si vous avez besoin d'en savoir plus sur les applications FFU dans les salles blanches pour semi-conducteurs, vous pouvez visiterUnité de filtre de ventilateur Aili Industrial FFU , vous êtes également invités à contacter Aili Industrial pour une assistance au projet.