لماذا تؤثر التغييرات في هواء عادم معدات الرقاقة على تدفق الهواء في مناطق FFU القريبة؟

ما هي العلاقة بين تغيرات هواء العادم وتدفق هواء FFU؟

في غرف الأبحاث الخاصة بأشباه الموصلات، غالبًا ما يتم تجهيز معدات الرقاقات بنظام عادم معالجة لإزالة الحرارة والغازات الكيميائية والجسيمات المتولدة داخل المعدات. سوف يتغير حجم هواء العادم وفقًا لحالة العملية. على سبيل المثال، سيكون حجم هواء العادم أكبر عندما يكون الجهاز قيد التشغيل، وسوف ينخفض ​​عندما يكون الجهاز في وضع الاستعداد أو الصيانة.

يؤدي هذا التغيير في حجم هواء العادم إلى تغيير مسارات إمداد الهواء وتدفقه حول الجهاز. عندما يزيد حجم هواء العادم، يلزم إضافة المزيد من الهواء بالقرب من الجهاز. إذا لم يكن مسار ملحق الهواء سلسًا، فقد يتم استخراج الهواء من المناطق المجاورة، مما يؤثر على تغطية إمداد الهواء لوحدات FFU القريبة. عندما ينخفض ​​حجم هواء العادم، فإن الهواء الذي يحمله هواء العادم في الأصل قد يغير اتجاهه، مما يتسبب في ركود تدفق الهواء المحلي أو التدفق العكسي.

على الرغم من تثبيت FFU على السقف، إلا أنه ليس نظامًا مستقلاً. يشكل هواء إمداد FFU، وهواء إرجاع الغرفة، وهواء عادم المعالجة، والهواء الإضافي معًا تنظيم تدفق هواء الغرفة النظيفة. التغييرات في أي منطقة قد تؤثر على مناطق أخرى. تتمتع Aili Industrial بقدرات إنتاجية كاملة في مطابقة FFU لأشباه الموصلات ويمكنها توفير حلول تكوين FFU وفقًا لمتطلبات تنظيم تدفق هواء المشروع. للتعرف على الهيكل الأساسي لجهاز FFU، يمكنك الرجوع إلىوحدة فلتر مروحة FFU الصناعية من Aili。

ما هي المسارات التي يؤثر من خلالها التغير في هواء العادم على منطقة FFU؟

تؤثر تغيرات الهواء العادم على منطقة FFU، عادةً من خلال عدة مسارات. الأول هو مسار إمدادات الرياح. عندما يزداد هواء عادم المعدات، تكون هناك حاجة إلى المزيد من الهواء لتكملةه. إذا لم يستمر الهواء النقي أو الهواء الإضافي في الوقت المناسب، فقد يتشكل ضغط سلبي بالقرب من الجهاز، مما يؤدي إلى سحب الهواء من المناطق المجاورة وتغيير اتجاه إمداد الهواء FFU.

والثاني هو مسار الهواء العودة. ستؤثر التغييرات في حجم هواء العادم على حجم الهواء العائد للغرفة. إذا تم حظر مسار الهواء العائد بواسطة المعدات أو المواد، فقد يحدث تدفق هواء ضعيف في المناطق المحلية، مما يؤثر على دوران إمداد الهواء FFU.

العنصر الثالث هو تغيير فرق الضغط. يمكن أن تؤدي التغييرات في حجم عادم العملية إلى تغيير فرق الضغط في الغرفة أو المنطقة. إذا تذبذب فرق الضغط بشكل كبير، فقد يؤثر ذلك على اتجاه تدفق الهواء بين الغرفة النظيفة والخارج، وقد يؤثر أيضًا على استقرار مصدر هواء FFU.

والرابع هو عمود حراري. سيؤدي تسخين الجهاز إلى توليد تدفق هواء تصاعدي، والذي يتفاعل مع مصدر الهواء الهابط FFU. ستؤدي التغييرات في حجم هواء العادم إلى تغيير كثافة واتجاه العمود الحراري، مما يؤثر على مجال التدفق في منطقة FFU القريبة.

كيفية تسجيل التغيرات في هواء العادم في الموقع

للتحقق من تأثير التغيرات في هواء العادم على تدفق هواء FFU، تحتاج أولاً إلى تسجيل حالة العادم. يتضمن محتوى السجل: وضع تشغيل المعدات، وإعداد حجم هواء العادم أو القيمة المقاسة الفعلية، ووقت تغيير هواء العادم، وسرعة الرياح واتجاه تدفق الهواء في منطقة FFU قبل وبعد تغيير هواء العادم، وفرق ضغط الغرفة، وحالة الهواء الراجع، وحالة الهواء التكميلي.

إذا كان الجهاز يحتوي على أوضاع تشغيل متعددة، فمن المستحسن تسجيل بيانات تدفق الهواء في كل وضع على حدة. على سبيل المثال، تدفق هواء منطقة العادم وFFU أثناء إنتاج المعدات، والاستعداد، والصيانة، والتنظيف، وما إلى ذلك.

يمكن أن تساعد هذه السجلات في تحديد العلاقة بين التغيرات في تدفق هواء العادم والتغيرات في تدفق هواء FFU. إذا زاد حجم هواء العادم في كل مرة، انخفضت سرعة الرياح في منطقة FFU القريبة أو تغير اتجاه تدفق الهواء، فهذا يعني أن هناك علاقة ربط بين الاثنين.

كيفية التحقق من مسارات تدفق الهواء

عند التحقق من مسار تدفق الهواء، يمكنك البدء من فتحة عادم المعدات والتأكيد خطوة بخطوة على طول اتجاه تدفق الهواء. تأكد من موضع مخرج العادم وحجمه، وتأكد من الاتجاه الذي يدخل منه الهواء الإضافي إلى منطقة المعدات، وتأكد من المسار الذي يغادر منه الهواء العائد، وتأكد مما إذا كان مصدر هواء FFU يغطي المناطق الرئيسية حول الجهاز.

إذا وجدت أن مسار هواء الإمداد ليس سلسًا، فيمكنك التحقق من مدخل الهواء النقي وصمام إمداد الهواء وقناة إمداد الهواء وفتح الغرفة. إذا كان مسار الهواء الراجع مسدودًا، فيمكنك التحقق من فتحات الهواء الراجع وقنوات الهواء الراجع والميزانين في السقف. إذا تأثر مصدر هواء FFU بهواء العادم، فيمكنك تقييم ما إذا كان موضع تخطيط FFU واتجاه إمداد الهواء بحاجة إلى التعديل.

بالنسبة لغرف الأبحاث التي تحتوي على أشباه الموصلات، يتطلب التحقق من مسارات تدفق الهواء عادةً مجموعة من عمليات محاكاة CFD أو اختبار تصور تدفق الهواء في الموقع. يمكن للاختبار الميداني استخدام الدخان أو الأسلاك أو أجهزة قياس شدة الريح لمراقبة اتجاه تدفق الهواء.

في أي الاتجاهات يمكنك البدء بتعديلات التوازن؟

إذا تم التأكد من أن التغير في هواء العادم يؤثر على تدفق الهواء في منطقة FFU، فيمكن تعديله في عدة اتجاهات. قم بتحسين مسار إمداد الهواء للتأكد من أن هواء الإمداد يمكنه مواكبة تغيرات هواء عادم المعدات في الوقت المناسب وتقليل استخلاص المناطق المجاورة. اضبط مسار الهواء العائد لمنع انسداد الهواء العائد بواسطة المعدات أو المواد والحفاظ على دوران الهواء بسلاسة. اضبط تخطيط FFU أو اتجاه إمداد الهواء بحيث تظل المناطق الحرجة قادرة على الحفاظ على تغطية إمداد الهواء عندما يتغير هواء العادم. اضبط استراتيجية التحكم في فرق الضغط لتقليل تقلبات فرق الضغط الناتجة عن التغيرات في هواء العادم.

بالنسبة للمشروعات التي يتغير فيها هواء عادم المعدات بشكل كبير، يمكنك أيضًا مراعاة فصل تدفق الهواء بين منطقة المعدات والمناطق المحيطة بها لتقليل التأثير المتبادل. إذا كانت المعدات تتطلب عادمًا محليًا، فيمكن تصميم غطاء أو حاوية عادم مستقلة.

دور FFU في النظام

FFU مسؤول بشكل رئيسي عن تعميم الترشيح وإمدادات الهواء في غرف أشباه الموصلات النظيفة. فهو يوفر هواءً نظيفًا ويحافظ على تنظيم تدفق الهواء الإقليمي، لكنه لا يستطيع وحده حل مشكلات النظام الناتجة عن التغيرات في هواء العادم. يجب تنسيق حجم إمداد الهواء والضغط الساكن وتخطيط وحدة FFU مع أنظمة العادم والهواء الراجع والهواء التعويضي.

إذا كان المشروع بحاجة إلى ضبط تكوين FFU للتكيف مع التغيرات في هواء العادم، فيمكنك اختيار FFU بأحجام هواء مختلفة أو ضغوط ثابتة أو طرق تحكم. إذا كان المشروع يتطلب تعديل التحكم في المجموعة، يمكنك الرجوع إلىFFU/EFU مجموعة التحكم التي تعمل باللمس تحكم ويفهم نظام التحكم في مجموعة الكمبيوتر FFU خطة تعديل القسم. تتمتع Aili Industry بقدرات إنتاجية كاملة في آلات FFU الكاملة وأنظمة التحكم، ويمكنها توفير حلول داعمة وفقًا لمتطلبات تنظيم تدفق الهواء للمشروع.

المشكلات التي يجب تأكيدها مسبقًا أثناء الاتصال بالمشروع

أثناء مرحلة تصميم وفحص تدفق الهواء للغرف النظيفة لأشباه الموصلات، يوصى بتأكيد ما يلي مع المصمم ومورد المعدات: نطاق حجم العادم ونمط الاختلاف لمعدات الرقاقة؛ قدرة وسرعة استجابة نظام الهواء الإضافي؛ مسار الهواء الراجع وموقع مخرج الهواء الراجع؛ استراتيجية التحكم في فرق ضغط الغرفة؛ تخطيط FFU وتغطية إمدادات الهواء؛ متطلبات الحماية للمناطق الرئيسية؛ ما إذا كانت محاكاة عقود الفروقات (CFD) أو الاختبار في الموقع مطلوبة؛ وطريقة التحقق المعدلة.

إذا كنت تتعامل مع تأثير عادم معدات الرقاقة على تدفق هواء FFU، فيمكنك زيارة الموقعوحدة مرشح المروحة Aili Industrial FFU للتعرف على التكوين الكامل للماكينة، يمكنك أيضًا الاتصال بـ Aili Industrial للحصول على دعم حلول إمداد الهواء لمشاريع أشباه الموصلات.

ختاماً

ستؤثر التغييرات في هواء العادم لمعدات الرقاقة على تدفق الهواء في منطقة FFU القريبة من خلال مسارات مثل هواء التركيب، والهواء الراجع، وفرق الضغط، والعمود الحراري. FFU ليس نظامًا مستقلاً. يجب تقييم هواء العادم والهواء الراجع والهواء الإضافي وهواء الإمداد بشكل مشترك. أثناء الفحص، يجب تسجيل حالة العادم وبيانات تدفق الهواء، ويجب فحص مسار تدفق الهواء، ومن ثم يجب إجراء التعديلات من الهواء الإضافي والهواء الراجع وتخطيط FFU والتحكم في فرق الضغط.

تتمتع Aili Industrial بقدرات إنتاج كاملة في أنظمة دعم وتحكم FFU لأشباه الموصلات، ويمكنها توفير حلول تكوين FFU وفقًا لمتطلبات تنظيم تدفق هواء المشروع. إذا كنت تريد معرفة المزيد عن تطبيقات FFU في الغرف النظيفة لأشباه الموصلات، فيمكنك زيارة الموقعوحدة مرشح المروحة Aili Industrial FFU ، نرحب أيضًا بالاتصال بـ Aili Industrial لدعم المشروع.