¿Por qué los cambios en el aire de escape del equipo de obleas afectan el flujo de aire en áreas FFU cercanas?

¿Cuál es la relación entre los cambios de aire de escape y el flujo de aire FFU?

En las salas blancas de semiconductores, los equipos de obleas suelen estar equipados con un sistema de escape de proceso para eliminar el calor, los gases químicos y las partículas generadas dentro del equipo. El volumen de aire de escape cambiará según el estado del proceso. Por ejemplo, el volumen de aire de escape será mayor cuando el equipo esté en funcionamiento y disminuirá cuando el equipo esté en espera o en mantenimiento.

Este cambio en el volumen de aire de escape cambia el suministro de aire y las rutas de flujo alrededor del equipo. Cuando aumenta el volumen de aire de escape, es necesario complementar más aire cerca del equipo. Si la ruta del suplemento de aire no es uniforme, es posible que se extraiga aire de áreas adyacentes, lo que afectará la cobertura del suministro de aire de las FFU cercanas. Cuando el volumen de aire de escape disminuye, el aire originalmente arrastrado por el aire de escape puede cambiar de dirección, provocando un estancamiento o reflujo del flujo de aire local.

Aunque FFU se instala en el techo, no es un sistema independiente. El aire de suministro, el aire de retorno de la sala, el aire de escape del proceso y el aire suplementario de la FFU constituyen juntos la organización del flujo de aire de la sala limpia. Los cambios en cualquier área pueden afectar otras áreas. Aili Industrial tiene capacidades de producción completas en adaptación de FFU de semiconductores y puede proporcionar soluciones de configuración de FFU de acuerdo con los requisitos de organización del flujo de aire del proyecto. Para conocer la estructura básica de la máquina FFU, puede consultarUnidad de filtrado de ventilador Aili Industrial FFU。

¿A través de qué caminos afecta el cambio en el aire de escape al área FFU?

Los cambios de aire de escape afectan el área FFU, generalmente a través de varias vías. La primera es la ruta de suministro de viento. Cuando aumenta el aire de escape del equipo, se necesita más aire para complementar. Si el aire fresco o el aire suplementario no se mantiene a tiempo, se puede formar presión negativa cerca del equipo, extrayendo aire de áreas adyacentes y cambiando la dirección del suministro de aire de la FFU.

El segundo es el camino aéreo de retorno. Los cambios en el volumen de aire de escape afectarán el volumen de aire de retorno de la habitación. Si la ruta del aire de retorno está bloqueada por equipos o materiales, puede producirse un flujo de aire deficiente en áreas locales, lo que afecta la circulación del suministro de aire de la FFU.

El tercer elemento es el cambio de diferencia de presión. Los cambios en el volumen de escape del proceso pueden cambiar el diferencial de presión en una habitación o área. Si la diferencia de presión fluctúa mucho, puede afectar la dirección del flujo de aire entre la sala limpia y el exterior, y también puede afectar la estabilidad del suministro de aire de la FFU.

El cuarto es una columna térmica. El calentamiento del equipo generará un flujo de aire ascendente, que interactúa con el suministro de aire descendente de la FFU. Los cambios en el volumen de aire de escape cambiarán la intensidad y dirección de la columna térmica, afectando así el campo de flujo en el área FFU cercana.

Cómo registrar cambios en el aire de escape en el sitio

Para investigar el impacto de los cambios en el aire de escape en el flujo de aire de la FFU, primero debe registrar el estado del escape. El contenido del registro incluye: modo de funcionamiento del equipo, configuración del volumen de aire de escape o valor medido real, tiempo de cambio de aire de escape, velocidad del viento y dirección del flujo de aire en el área FFU antes y después del cambio de aire de escape, diferencia de presión de la habitación, estado del aire de retorno y estado del aire suplementario.

Si el dispositivo tiene múltiples modos de funcionamiento, se recomienda registrar los datos del flujo de aire en cada modo por separado. Por ejemplo, el flujo de aire del área de extracción y FFU durante la producción del equipo, el modo de espera, el mantenimiento, la limpieza, etc.

Estos registros pueden ayudar a determinar la correlación entre los cambios en el flujo de aire de escape y los cambios en el flujo de aire FFU. Si cada vez que aumenta el volumen de aire de escape, la velocidad del viento en el área FFU cercana disminuye o la dirección del flujo de aire cambia, significa que existe una relación de vinculación entre los dos.

Cómo comprobar las rutas del flujo de aire

Al verificar la ruta del flujo de aire, puede comenzar desde la ventilación de escape del equipo y confirmar paso a paso a lo largo de la dirección del flujo de aire. Confirme la posición y el volumen de la salida de escape, confirme la dirección desde la cual el aire suplementario ingresa al área del equipo, confirme la ruta desde la cual sale el aire de retorno y confirme si el suministro de aire FFU cubre las áreas clave alrededor del equipo.

Si descubre que el recorrido del aire de suministro no es liso, puede comprobar la entrada de aire fresco, la válvula de suministro de aire, el conducto de suministro de aire y la abertura de la habitación. Si la ruta del aire de retorno está bloqueada, puede revisar las salidas de aire de retorno, los canales de aire de retorno y los entrepisos del techo. Si el suministro de aire de la FFU se ve afectado por el aire de escape, puede evaluar si es necesario ajustar la posición del diseño de la FFU y la dirección del suministro de aire.

Para las salas blancas de semiconductores, la verificación de las rutas del flujo de aire generalmente requiere una combinación de simulaciones CFD o pruebas de visualización del flujo de aire en el sitio. Las pruebas de campo pueden utilizar humo, alambre o anemómetros para observar la dirección del flujo de aire.

¿En qué direcciones se puede empezar con los ajustes de equilibrio?

Si se confirma que el cambio en el aire de escape afecta el flujo de aire en el área FFU, se puede ajustar en varias direcciones. Optimice la ruta de suministro de aire para garantizar que el aire de suministro pueda mantenerse a tiempo con los cambios de aire de escape del equipo y reducir la extracción de áreas adyacentes. Ajuste la ruta del aire de retorno para evitar que el aire de retorno sea bloqueado por equipos o materiales y mantener una circulación de aire suave. Ajuste el diseño de la FFU o la dirección del suministro de aire para que las áreas críticas aún puedan mantener la cobertura del suministro de aire cuando cambie el aire de escape. Ajuste la estrategia de control de diferencia de presión para reducir las fluctuaciones de diferencia de presión causadas por cambios en el aire de escape.

Para proyectos donde el aire de escape del equipo cambia significativamente, también puede considerar la separación del flujo de aire entre el área del equipo y las áreas circundantes para reducir la influencia mutua. Si el equipo requiere escape local, se puede diseñar una campana o recinto de escape independiente.

El papel de FFU en el sistema.

FFU es el principal responsable de la filtración circulante y el suministro de aire en salas blancas de semiconductores. Proporciona aire limpio y mantiene la organización regional del flujo de aire, pero no puede resolver por sí solo los problemas del sistema causados ​​por cambios en el aire de escape. El volumen de suministro de aire, la presión estática y el diseño de la FFU deben coordinarse con los sistemas de escape, aire de retorno y aire de reposición.

Si el proyecto necesita ajustar la configuración de FFU para adaptarse a los cambios en el aire de escape, puede elegir FFU con diferentes volúmenes de aire, presiones estáticas o métodos de control. Si el proyecto requiere un ajuste de control de grupo, puede consultarControlador de pantalla táctil de control de grupo FFU/EFU yEl sistema de control del grupo informático FFU comprende el plan de ajuste de la partición. Aili Industry tiene capacidades de producción completas en máquinas completas y sistemas de control FFU, y puede proporcionar soluciones de soporte de acuerdo con los requisitos de organización del flujo de aire del proyecto.

Cuestiones que deben confirmarse con antelación durante la comunicación del proyecto

Durante la etapa de diseño e inspección del flujo de aire de las salas limpias de semiconductores, se recomienda confirmar lo siguiente con el diseñador y el proveedor del equipo: el rango de volumen de escape y el patrón de variación del equipo de obleas; la capacidad y velocidad de respuesta del sistema de aire suplementario; la vía de aire de retorno y la ubicación de la salida de aire de retorno; la estrategia de control de la diferencia de presión ambiente; Diseño de FFU y cobertura del suministro de aire; requisitos de protección para áreas clave; si se requiere simulación CFD o pruebas in situ; y el método de verificación ajustado.

Si está lidiando con el impacto del escape del equipo de obleas en el flujo de aire de FFU, puede visitarUnidad de filtro de ventilador FFU de Aili Industrial para conocer la configuración completa de la máquina, también puede comunicarse con Aili Industrial para obtener soporte de solución de suministro de aire para proyectos de semiconductores.

en conclusión

Los cambios en el aire de escape de los equipos de obleas afectarán el flujo de aire en el área FFU cercana a través de caminos como el aire de reposición, el aire de retorno, la diferencia de presión y la columna térmica. FFU no es un sistema independiente. El aire de escape, el aire de retorno, el aire suplementario y el aire de suministro deben evaluarse conjuntamente. Durante la inspección, se deben registrar el estado del escape y los datos del flujo de aire, se debe verificar la ruta del flujo de aire y luego se deben realizar ajustes desde el aire suplementario, el aire de retorno, el diseño de la FFU y el control de diferencia de presión.

Aili Industrial tiene capacidades de producción completas en sistemas de control y soporte de FFU de semiconductores, y puede proporcionar soluciones de configuración de FFU de acuerdo con los requisitos de organización del flujo de aire del proyecto. Si necesita saber más sobre las aplicaciones FFU en salas limpias de semiconductores, puede visitarUnidad de filtro de ventilador FFU de Aili Industrial , también puede comunicarse con Aili Industrial para obtener soporte en el proyecto.