Tại sao những thay đổi trong khí thải của thiết bị bán dẫn ảnh hưởng đến luồng không khí ở các khu vực FFU gần đó?
Mối quan hệ giữa sự thay đổi khí thải và luồng khí FFU là gì?
Trong phòng sạch bán dẫn, thiết bị bán dẫn thường được trang bị hệ thống xả quy trình để loại bỏ nhiệt, khí hóa học và các hạt sinh ra bên trong thiết bị. Lượng khí thải sẽ thay đổi theo trạng thái của quá trình. Ví dụ, lượng khí thải sẽ lớn hơn khi thiết bị đang chạy và sẽ giảm khi thiết bị ở chế độ chờ hoặc bảo trì.
Sự thay đổi về thể tích khí thải này làm thay đổi đường cung cấp và dòng khí xung quanh thiết bị. Khi lượng khí thải tăng lên, cần phải bổ sung thêm không khí gần thiết bị. Nếu đường dẫn bổ sung không khí không trơn tru, không khí có thể được lấy ra từ các khu vực lân cận, ảnh hưởng đến phạm vi cung cấp không khí của các FFU gần đó. Khi thể tích khí thải giảm, không khí ban đầu được khí thải mang đi có thể thay đổi hướng, khiến luồng khí cục bộ bị ứ đọng hoặc chảy ngược.
Mặc dù FFU được lắp đặt trên trần nhà nhưng nó không phải là một hệ thống độc lập. Không khí cung cấp, không khí hồi phòng, không khí thải và không khí bổ sung của FFU cùng nhau tạo thành tổ chức luồng không khí trong phòng sạch. Những thay đổi trong bất kỳ lĩnh vực nào có thể ảnh hưởng đến các lĩnh vực khác. Aili Industrial có khả năng sản xuất hoàn chỉnh về kết hợp FFU bán dẫn và có thể cung cấp các giải pháp cấu hình FFU theo yêu cầu tổ chức luồng không khí của dự án. Cấu trúc cơ bản của máy FFU các bạn có thể tham khảoBộ lọc quạt công nghiệp Aili FFU。
Sự thay đổi khí thải ảnh hưởng đến khu vực FFU qua những con đường nào?
Những thay đổi về khí thải ảnh hưởng đến khu vực FFU, thường thông qua một số đường dẫn. Đầu tiên là đường cung cấp gió. Khi lượng khí thải của thiết bị tăng lên thì cần có thêm không khí để bổ sung. Nếu không khí trong lành hoặc không khí bổ sung không được cung cấp kịp thời, áp suất âm có thể hình thành gần thiết bị, hút không khí từ các khu vực lân cận và thay đổi hướng cấp khí FFU.
Thứ hai là đường dẫn không khí trở lại. Những thay đổi về lượng khí thải sẽ ảnh hưởng đến lượng khí hồi trong phòng. Nếu đường dẫn khí hồi bị chặn bởi thiết bị hoặc vật liệu, luồng khí kém có thể xảy ra ở các khu vực cục bộ, ảnh hưởng đến sự lưu thông cấp khí FFU.
Mục thứ ba là sự thay đổi chênh lệch áp suất. Những thay đổi về thể tích khí thải của quá trình có thể làm thay đổi chênh lệch áp suất trong phòng hoặc khu vực. Nếu chênh lệch áp suất dao động lớn, nó có thể ảnh hưởng đến hướng luồng không khí giữa phòng sạch và bên ngoài, đồng thời cũng có thể ảnh hưởng đến sự ổn định của nguồn cung cấp không khí FFU.
Thứ tư là một chùm nhiệt. Việc làm nóng thiết bị sẽ tạo ra luồng không khí đi lên, tương tác với nguồn cung cấp không khí đi xuống FFU. Những thay đổi về thể tích khí thải sẽ làm thay đổi cường độ và hướng của luồng nhiệt, do đó ảnh hưởng đến trường dòng chảy trong khu vực FFU gần đó.
Cách ghi lại những thay đổi về khí thải tại chỗ
Để điều tra tác động của những thay đổi trong khí thải đến luồng khí FFU, trước tiên bạn cần ghi lại trạng thái khí thải. Nội dung ghi lại bao gồm: chế độ vận hành thiết bị, cài đặt thể tích khí thải hoặc giá trị đo thực tế, thời gian thay đổi khí thải, tốc độ gió và hướng luồng khí trong khu vực FFU trước và sau khi thay đổi khí thải, chênh lệch áp suất phòng, trạng thái không khí hồi và trạng thái không khí bổ sung.
Nếu thiết bị có nhiều chế độ vận hành, nên ghi lại dữ liệu luồng khí ở từng chế độ riêng biệt. Ví dụ, luồng khí thải và khu vực FFU trong quá trình sản xuất thiết bị, chế độ chờ, bảo trì, vệ sinh, v.v.
Những hồ sơ này có thể giúp xác định mối tương quan giữa những thay đổi trong luồng khí thải và những thay đổi trong luồng khí FFU. Nếu mỗi khi lượng khí thải tăng lên, tốc độ gió ở khu vực FFU gần đó giảm đi hoặc hướng luồng khí thay đổi, điều đó có nghĩa là có mối liên hệ giữa hai điều này.
Cách kiểm tra đường dẫn luồng khí
Khi kiểm tra đường dẫn luồng khí, bạn có thể bắt đầu từ lỗ thoát khí của thiết bị và xác nhận từng bước dọc theo hướng luồng khí. Xác nhận vị trí và thể tích của cửa thoát khí, xác nhận hướng mà không khí bổ sung đi vào khu vực thiết bị, xác nhận đường đi của không khí hồi lưu và xác nhận xem nguồn cung cấp không khí FFU có bao phủ các khu vực chính xung quanh thiết bị hay không.
Nếu nhận thấy đường dẫn khí cấp không thông suốt, bạn có thể kiểm tra cửa nạp gió tươi, van cấp khí, ống cấp khí và độ mở của phòng. Nếu đường dẫn gió hồi bị tắc, bạn có thể kiểm tra các lỗ thông gió hồi, kênh dẫn gió hồi và các tầng lửng trên trần. Nếu nguồn cấp khí FFU bị ảnh hưởng bởi khí thải, bạn có thể đánh giá xem có cần điều chỉnh vị trí bố trí FFU và hướng cấp khí hay không.
Đối với phòng sạch bán dẫn, việc xác minh đường dẫn luồng không khí thường yêu cầu kết hợp mô phỏng CFD hoặc thử nghiệm trực quan hóa luồng không khí tại chỗ. Thử nghiệm hiện trường có thể sử dụng khói, dây hoặc máy đo gió để quan sát hướng của luồng không khí.
Bạn có thể bắt đầu điều chỉnh số dư theo hướng nào?
Nếu xác nhận rằng sự thay đổi của khí thải ảnh hưởng đến luồng không khí trong khu vực FFU thì có thể điều chỉnh theo nhiều hướng. Tối ưu hóa đường cấp khí để đảm bảo khí cấp có thể theo kịp sự thay đổi khí thải của thiết bị kịp thời và giảm thiểu việc hút ra các khu vực lân cận. Điều chỉnh đường dẫn khí hồi để ngăn không cho khí hồi bị chặn bởi thiết bị hoặc vật liệu và duy trì sự lưu thông không khí trơn tru. Điều chỉnh cách bố trí FFU hoặc hướng cấp khí để các khu vực quan trọng vẫn có thể duy trì phạm vi cấp khí khi khí thải thay đổi. Điều chỉnh chiến lược kiểm soát chênh lệch áp suất để giảm sự dao động chênh lệch áp suất do thay đổi khí thải.
Đối với các dự án mà khí thải của thiết bị thay đổi đáng kể, bạn cũng có thể xem xét việc tách luồng khí giữa khu vực thiết bị và khu vực xung quanh để giảm ảnh hưởng lẫn nhau. Nếu thiết bị yêu cầu khí thải cục bộ, có thể thiết kế một tủ hoặc vỏ bọc khí thải độc lập.
Vai trò của FFU trong hệ thống
FFU chủ yếu chịu trách nhiệm lọc tuần hoàn và cung cấp không khí trong phòng sạch bán dẫn. Nó cung cấp không khí sạch và duy trì tổ chức luồng không khí trong khu vực, nhưng không thể một mình giải quyết các vấn đề hệ thống do thay đổi khí thải gây ra. Thể tích cung cấp không khí, áp suất tĩnh và cách bố trí của FFU cần phải được phối hợp với hệ thống khí thải, khí hồi và không khí bổ sung.
Nếu dự án cần điều chỉnh cấu hình FFU để thích ứng với những thay đổi của khí thải, bạn có thể chọn FFU với thể tích không khí, áp suất tĩnh hoặc phương pháp điều khiển khác nhau. Nếu dự án yêu cầu điều chỉnh điều khiển nhóm, bạn có thể tham khảoBộ điều khiển màn hình cảm ứng điều khiển nhóm FFU/EFU vàHệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU hiểu kế hoạch điều chỉnh phân vùng. Aili Industry có khả năng sản xuất hoàn chỉnh về máy móc và hệ thống điều khiển hoàn chỉnh của FFU, đồng thời có thể cung cấp các giải pháp hỗ trợ theo yêu cầu tổ chức luồng không khí của dự án.
Các vấn đề cần xác nhận trước trong quá trình truyền thông dự án
Trong giai đoạn thiết kế và kiểm tra luồng không khí của phòng sạch bán dẫn, nên xác nhận những điều sau với nhà thiết kế và nhà cung cấp thiết bị: phạm vi thể tích khí thải và kiểu biến đổi của thiết bị tấm bán dẫn; công suất và tốc độ phản hồi của hệ thống không khí bổ sung; đường dẫn khí hồi và vị trí của cửa thoát khí hồi; chiến lược kiểm soát chênh lệch áp suất trong phòng; Bố trí FFU và phạm vi cung cấp không khí; yêu cầu bảo vệ đối với các khu vực trọng điểm; liệu có cần mô phỏng CFD hoặc thử nghiệm tại chỗ hay không; và phương pháp xác minh đã điều chỉnh.
Nếu bạn đang xử lý tác động của khí thải thiết bị wafer đối với luồng khí FFU, bạn có thể truy cậpBộ lọc quạt Aili Industrial FFU để tìm hiểu về cấu hình máy hoàn chỉnh, bạn cũng có thể liên hệ với Aili Industrial để được hỗ trợ giải pháp cấp khí cho các dự án bán dẫn.
Tóm lại
Những thay đổi trong khí thải của thiết bị bán dẫn sẽ ảnh hưởng đến luồng không khí trong khu vực FFU gần đó thông qua các đường dẫn như không khí bổ sung, không khí hồi lưu, chênh lệch áp suất và luồng nhiệt. FFU không phải là một hệ thống độc lập. Khí thải, khí hồi, khí bổ sung và khí cấp cần được đánh giá chung. Trong quá trình kiểm tra, phải ghi lại trạng thái khí thải và dữ liệu luồng không khí, kiểm tra đường dẫn khí và sau đó thực hiện các điều chỉnh từ không khí bổ sung, không khí hồi, bố trí FFU và kiểm soát chênh lệch áp suất.
Aili Industrial có khả năng sản xuất hoàn chỉnh về các hệ thống hỗ trợ và điều khiển FFU bán dẫn, đồng thời có thể cung cấp các giải pháp cấu hình FFU theo yêu cầu tổ chức luồng không khí của dự án. Nếu bạn cần biết thêm về ứng dụng FFU trong phòng sạch bán dẫn, bạn có thể truy cậpBộ lọc quạt Aili Industrial FFU , bạn cũng có thể liên hệ với Aili Industrial để được hỗ trợ dự án.
