Почему изменения в выхлопном воздухе полупроводникового оборудования влияют на воздушный поток в близлежащих зонах ФФУ?
Какова связь между изменениями вытяжного воздуха и воздушным потоком FFU?
В чистых помещениях для производства полупроводников оборудование для полупроводников часто оборудуется технологической вытяжной системой для удаления тепла, химических газов и частиц, образующихся внутри оборудования. Объем отработанного воздуха будет меняться в зависимости от состояния процесса. Например, объем вытяжного воздуха будет больше, когда оборудование работает, и уменьшится, когда оборудование находится в режиме ожидания или технического обслуживания.
Это изменение объема вытяжного воздуха меняет подачу воздуха и пути потока вокруг оборудования. Когда объем отработанного воздуха увеличивается, необходимо подавать больше воздуха рядом с оборудованием. Если путь подачи воздуха неровный, воздух может забираться из соседних зон, что влияет на зону подачи воздуха в близлежащие FFU. Когда объем вытяжного воздуха уменьшается, воздух, первоначально унесенный вытяжным воздухом, может изменить направление, вызывая локальный застой или обратный поток воздуха.
Хотя ФФУ и устанавливается на потолке, это не самостоятельная система. Приточный воздух FFU, возвратный воздух помещения, технологический вытяжной воздух и дополнительный воздух вместе составляют организацию воздушного потока чистого помещения. Изменения в какой-либо одной области могут повлиять на другие области. Aili Industrial обладает полными производственными возможностями в области подбора полупроводниковых FFU и может предоставить решения по конфигурации FFU в соответствии с требованиями организации воздушного потока проекта. Базовую структуру машины FFU вы можете найти вФильтрующий вентилятор Aili Industrial FFU。
По каким путям изменение вытяжного воздуха влияет на зону ФФУ?
Изменения вытяжного воздуха влияют на зону ФФУ, как правило, по нескольким направлениям. Первый – это путь подачи ветра. Когда объем отработанного воздуха из оборудования увеличивается, для пополнения требуется больше воздуха. Если свежий или дополнительный воздух не подается вовремя, возле оборудования может образоваться отрицательное давление, затягивающее воздух из прилегающих зон и изменяющее направление подачи воздуха ФФУ.
Второй – путь возврата воздуха. Изменения объема вытяжного воздуха повлияют на объем возвратного воздуха в помещение. Если путь возврата воздуха заблокирован оборудованием или материалами, в некоторых местах может возникнуть плохой поток воздуха, что повлияет на циркуляцию подаваемого воздуха FFU.
Третий пункт – изменение разницы давлений. Изменения объема технологических выхлопов могут изменить перепад давления в помещении или зоне. Если разница давлений сильно колеблется, это может повлиять на направление потока воздуха между чистым помещением и снаружи, а также может повлиять на стабильность подачи воздуха в FFU.
Четвертый – тепловой шлейф. Нагрев оборудования создаст восходящий воздушный поток, который взаимодействует с нисходящей подачей воздуха из ФФУ. Изменения объема вытяжного воздуха изменят интенсивность и направление теплового шлейфа, тем самым влияя на поле течения в близлежащей зоне ФФУ.
Как регистрировать изменения вытяжного воздуха на объекте
Чтобы исследовать влияние изменений вытяжного воздуха на воздушный поток FFU, сначала необходимо записать состояние выхлопа. Содержимое записи включает в себя: режим работы оборудования, настройку объема вытяжного воздуха или фактическое измеренное значение, время смены вытяжного воздуха, скорость ветра и направление потока воздуха в зоне FFU до и после смены вытяжного воздуха, разницу давления в помещении, состояние возвратного воздуха и состояние дополнительного воздуха.
Если устройство имеет несколько режимов работы, рекомендуется записывать данные о расходе воздуха в каждом режиме отдельно. Например, поток воздуха в вытяжной зоне и зоне FFU во время производства оборудования, режима ожидания, технического обслуживания, очистки и т. д.
Эти записи могут помочь определить корреляцию между изменениями потока вытяжного воздуха и изменениями потока воздуха в FFU. Если каждый раз, когда объем вытяжного воздуха увеличивается, скорость ветра в близлежащей зоне ФФУ уменьшается или меняется направление воздушного потока, это означает, что между ними существует взаимосвязь.
Как проверить пути воздушного потока
Проверку пути потока воздуха можно начать с выпускного отверстия оборудования и постепенно подтверждать направление потока воздуха. Подтвердите положение и объем выпускного отверстия, подтвердите направление, из которого дополнительный воздух поступает в зону оборудования, подтвердите путь, по которому выходит возвратный воздух, и подтвердите, охватывает ли подача воздуха FFU ключевые области вокруг оборудования.
Если вы обнаружите, что путь приточного воздуха неровный, вы можете проверить вход свежего воздуха, клапан приточного воздуха, канал подачи воздуха и отверстие в помещении. Если путь возвратного воздуха заблокирован, вы можете проверить вентиляционные отверстия, каналы возвратного воздуха и антресоли потолка. Если на подачу воздуха FFU влияет вытяжной воздух, вы можете оценить, необходимо ли отрегулировать положение компоновки FFU и направление подачи воздуха.
В чистых помещениях, где производятся полупроводники, проверка путей воздушного потока обычно требует сочетания CFD-моделирования или тестирования визуализации воздушного потока на месте. При полевых испытаниях можно использовать дымовые, проволочные или анемометры для наблюдения за направлением воздушного потока.
В каком направлении можно начать корректировку баланса?
Если подтвердится, что изменение вытяжного воздуха влияет на воздушный поток в зоне ФФУ, его можно будет скорректировать в нескольких направлениях. Оптимизируйте путь подачи воздуха, чтобы гарантировать, что приточный воздух может вовремя меняться в зависимости от выхлопного воздуха оборудования, и уменьшить вытяжку из прилегающих зон. Отрегулируйте путь возвратного воздуха, чтобы предотвратить блокирование возвратного воздуха оборудованием или материалами и обеспечить плавную циркуляцию воздуха. Отрегулируйте расположение FFU или направление подачи воздуха так, чтобы критические зоны могли сохранять приток воздуха при изменении вытяжного воздуха. Отрегулируйте стратегию управления перепадом давления, чтобы уменьшить колебания перепада давления, вызванные изменениями в отработанном воздухе.
В проектах, где выхлопной воздух оборудования значительно изменяется, вы также можете рассмотреть возможность разделения воздушного потока между зоной оборудования и прилегающими зонами, чтобы уменьшить взаимное влияние. Если для оборудования требуется местная вытяжка, можно спроектировать отдельный вытяжной колпак или ограждение.
Роль ФФУ в системе
FFU в основном отвечает за циркуляционную фильтрацию и подачу воздуха в чистых полупроводниковых помещениях. Он обеспечивает чистый воздух и поддерживает региональную организацию воздушного потока, но не может в одиночку решить системные проблемы, вызванные изменениями в отработанном воздухе. Объем подачи воздуха, статическое давление и расположение ФФУ должны быть согласованы с системами вытяжки, рециркуляции и подпитки.
Если в проекте необходимо скорректировать конфигурацию FFU для адаптации к изменениям вытяжного воздуха, вы можете выбрать FFU с разными объемами воздуха, статическим давлением или методами управления. Если проект требует настройки группового управления, вы можете обратиться кКонтроллер сенсорного экрана группового управления FFU/EFU иСистема управления компьютерной группой ФФУ понимает план настройки раздела. Aili Industry обладает полными производственными возможностями в области комплексных машин и систем управления FFU и может предоставить вспомогательные решения в соответствии с требованиями организации воздушного потока проекта.
Проблемы, которые должны быть подтверждены заранее во время обсуждения проекта
На этапе проектирования воздушного потока и проверки чистых помещений для полупроводников рекомендуется подтвердить с проектировщиком и поставщиком оборудования следующее: диапазон объема выхлопных газов и характер изменения полупроводникового оборудования; мощность и скорость срабатывания системы дополнительной подачи воздуха; путь рециркуляционного воздуха и расположение выхода рециркуляционного воздуха; стратегия управления перепадом давления в помещении; компоновка ФФУ и зона притока воздуха; требования к защите ключевых территорий; требуется ли CFD-моделирование или тестирование на месте; и скорректированный метод проверки.
Если вы имеете дело с влиянием выхлопных газов полупроводникового оборудования на воздушный поток ФФУ, вы можете посетить.Чтобы узнать о полной конфигурации машины, вы также можете связаться с Aili Industrial, чтобы получить поддержку решения по подаче воздуха для полупроводниковых проектов
в заключение
Изменения в отработанном воздухе пластинчатого оборудования повлияют на воздушный поток в близлежащей зоне FFU через такие пути, как подпиточный воздух, возвратный воздух, перепад давления и тепловой шлейф. ФФУ не является независимой системой. Вытяжной воздух, возвратный воздух, дополнительный воздух и приточный воздух должны оцениваться совместно. Во время проверки следует записать состояние выхлопа и данные о расходе воздуха, проверить путь воздушного потока, а затем внести коррективы в отношении дополнительного воздуха, возвратного воздуха, компоновки FFU и контроля перепада давления.
Aili Industrial обладает полными производственными возможностями в области систем поддержки и управления полупроводниковыми FFU и может предоставить решения по конфигурации FFU в соответствии с требованиями организации воздушного потока проекта. Если вам нужно узнать больше о применении FFU в чистых помещениях для полупроводников, вы можете посетитьВентиляционно-фильтрующий блок Aili Industrial FFU . Вы также можете связаться с Aili Industrial для поддержки проекта.
