Comment définir la limite entre la zone d'exploitation et la zone de construction lorsque le FFU semi-conducteur est mis en production par phases
Pourquoi la production par étapes nécessite une gestion des limites
Les projets de semi-conducteurs ont généralement une longue période de construction et peuvent être mis en production par étapes. Certaines zones seront mises en service en premier, tandis que la construction se poursuivra dans d'autres zones. La zone d'exploitation doit maintenir la propreté et la stabilité des processus, et il y a de la poussière, des vibrations et des activités de personnel dans la zone de construction.
S'il n'y a pas de limite efficace entre la zone d'exploitation et la zone de construction, la poussière de construction peut pénétrer dans la zone d'exploitation par l'air de reprise commun, la mezzanine du plafond ou le passage du personnel, affectant ainsi le processus. Les vibrations de la construction peuvent également affecter les équipements de précision. L’étape nécessite donc une gestion des limites entre les zones d’exploitation et de construction.
FFU fournit un approvisionnement en air pur dans la zone d’opération, mais dans la gestion des limites, FFU n’est qu’une partie du système. Les limites impliquent également des cloisons, des différences de pression, des chemins de retour d'air et la gestion du personnel. Aili Industrial dispose de capacités de production complètes en matière de machines complètes FFU et de projets de semi-conducteurs, et peut coopérer avec le projet pour mener à bien une planification progressive des limites de production. Pour la structure de base de la machine FFU, veuillez vous référer àUnité de filtre de ventilateur Aili Industrial FFU。
Comment identifier les limites
L'identification des limites est la première étape de la gestion. Il est nécessaire de confirmer la limite entre la zone d'exploitation et la zone de construction. La limite peut être un mur, une cloison, un passage ou une mezzanine commune. Il peut y avoir des ouvertures, des portes, des transferts ou des croisements de pipelines à la frontière.
Lors de l'identification des limites, vous devez également confirmer si les deux zones partagent de l'air de reprise, de l'air frais ou de l'espace au plafond. En cas de partage, la contamination peut se propager par des voies partagées.
Une fois la limite identifiée, elle peut être marquée sur le dessin et les emplacements qui doivent être isolés ou contrôlés peuvent être confirmés.
Comment configurer des partitions temporaires
Des cloisons temporaires peuvent limiter la poussière de construction et les mouvements du personnel. La forme de la cloison peut être une cloison dure, un rideau souple, une clôture temporaire ou une isolation par différence de pression. Les cloisons doivent être aussi continues que possible pour réduire les ouvertures.
S'il y a des portes ou des passages à la limite, des salles tampons ou des rideaux d'air peuvent être installés. Le personnel entrant et sortant de la zone de construction doit changer de vêtements ou être nettoyé. L'entrée et la sortie des matériaux doivent être contrôlées pour éviter d'amener de la poussière dans la zone d'opération.
Les cloisons temporaires doivent être inspectées régulièrement pour garantir leur bon état.
Comment contrôler la différence de pression
Le contrôle de la pression différentielle empêche la contamination de s'écouler de la zone de construction vers la zone d'exploitation. Habituellement, la zone de construction est maintenue à une légère pression négative et la zone d’exploitation est maintenue à une pression positive. De cette manière, l’air circule de la zone d’exploitation vers la zone de construction, réduisant ainsi la pénétration de poussière dans la direction opposée.
Le contrôle de la pression différentielle doit confirmer que l’air frais, l’air repris et l’air évacué peuvent la supporter. Si l'air évacué dans la zone de construction augmente, l'air supplémentaire dans la zone d'exploitation doit être ajusté en conséquence. La différence de pression doit être surveillée en permanence et toute anomalie doit être traitée rapidement.
Comment gérer le partage de l'air de reprise et de l'espace au plafond
Une attention particulière est requise si la zone opérationnelle et la zone de construction partagent un espace de reprise d'air ou un espace de plafond suspendu. Les poussières de construction peuvent pénétrer dans la zone d'exploitation par la mezzanine commune.
Les méthodes de traitement comprennent : la mise en place de cloisons dans la mezzanine commune pour bloquer le passage de l'air ; ajuster le chemin d'air de retour de sorte que l'air de retour dans la zone de construction ne traverse pas la zone d'exploitation ; filtrer ou évacuer séparément l'air de retour dans la zone de construction ; et l'ajout d'une protection du côté entrée d'air du FFU dans la zone d'opération.
Pour les mezzanines partagées, veuillez vous référer àQuel volume d'air sera perdu si l'entrée d'air FFU est bloquée par le pont (Remarque : ce lien est un exemple de la page produit FFU, veuillez vous référer à la page correspondante sur le site pour le contenu spécifique de l'entrée d'air) pour comprendre les conditions d'entrée d'air.
Comment ajuster la stratégie opérationnelle
Au cours de la période de production progressive, la stratégie opérationnelle FFU de la zone d'exploitation devra peut-être être ajustée. Par exemple, augmentez la pression positive dans la zone d'exploitation, augmentez le volume d'alimentation en air et renforcez la surveillance des filtres. S'il y a des activités de construction à proximité de la limite, une protection locale ou une filtration temporaire peut être ajoutée.
La stratégie d'exploitation doit être ajustée en fonction de l'étape de construction et rétablie une fois la construction terminée.
Comment faire l'acceptation de scène
Une fois chaque étape de construction terminée, la zone limite doit être inspectée et acceptée. Le contenu de l'acceptation comprend : l'intégrité de la partition ; récupération de la différence de pression ; propreté de la zone d'opération ; État de fonctionnement du FFU ; chemin d'air de retour ; état du filtre.
Après avoir réussi l'acceptation, vous pouvez passer à l'étape suivante ou ajuster les limites. Les dossiers d’acceptation doivent être conservés.
Problèmes qui doivent être confirmés à l'avance lors de la communication du projet
Au cours de la phase de gestion progressive des limites de production des semi-conducteurs, il est recommandé de confirmer les éléments suivants avec le concepteur et le fabricant de FFU : la limite entre la zone d'exploitation et la zone de construction ; chemins de retour d'air et de plafond partagés ; schéma de partition temporaire ; exigences de contrôle de la différence de pression ; gestion des entrées et sorties du personnel et du matériel ; Stratégie opérationnelle FFU ; méthodes de contrôle et d’acceptation ; plan d’ajustement de la phase de construction.
Si vous envisagez de gérer les limites de stockage des semi-conducteurs, vous pouvez visiterUnité de filtre de ventilateur Aili Industrial FFU pour en savoir plus sur la configuration complète de la machine, vous pouvez également vous référer àContrôleur d'écran tactile de contrôle de groupe FFU/EFU etSystème de contrôle de groupe informatique FFU pour en savoir plus sur le schéma de contrôle, ou contactez Aili Industrial pour obtenir de l'aide sur le projet.
en conclusion
Lorsque la production de semi-conducteurs est mise en production par étapes, les limites entre la zone opérationnelle et la zone de construction doivent être gérées. L'identification des limites, les cloisons temporaires, le contrôle des différences de pression, le traitement de l'air de reprise partagé et l'ajustement de la stratégie d'exploitation sont les principaux maillons. Après la fermeture de la zone qui n'est pas en production, cela peut affecter la zone d'exploitation en raison du retour d'air partagé ou de l'espace au plafond. L'acceptation de l'étape peut confirmer les effets de frontière.
Aili Industrial dispose de capacités de production complètes en matière de machines complètes FFU et de projets de semi-conducteurs, et peut coopérer avec le projet pour mener à bien une planification progressive des limites de production. Si vous avez besoin d'en savoir plus sur les applications FFU des semi-conducteurs, vous pouvez visiterUnité de filtre de ventilateur Aili Industrial FFU , vous êtes également invités à contacter Aili Industrial pour une assistance au projet.
