Как установить границу между рабочей зоной и зоной строительства при поэтапном запуске полупроводникового ФФУ в производство
Почему поэтапное производство требует управления границами
Полупроводниковые проекты обычно имеют длительный период строительства и могут быть запущены в производство поэтапно. Некоторые участки будут сданы в эксплуатацию первыми, на других продолжится строительство. В рабочей зоне необходимо поддерживать чистоту и стабильность процесса, а на строительной площадке присутствует пыль, вибрация и активность персонала.
Если между рабочей зоной и строительной зоной нет эффективной границы, строительная пыль может попасть в рабочую зону через общий рециркуляционный воздух, потолочный мезонин или проход для персонала, влияя на процесс. Вибрации конструкции также могут повлиять на точное оборудование. Таким образом, постановка требует управления границами между эксплуатационной и строительной площадями.
ФФУ обеспечивает подачу чистого воздуха в рабочую зону, но при управлении границами ФФУ является лишь частью системы. Границы также включают в себя перегородки, перепады давления, пути возврата воздуха и управление персоналом. Aili Industrial обладает всеми производственными возможностями в области комплексной поддержки проектов FFU по производству машин и полупроводников и может сотрудничать с проектом для поэтапного планирования границ производства. Базовую структуру машины FFU вы можете найти вФильтрующий вентилятор Aili Industrial FFU。
Как определить границы
Определение границ является первым шагом в управлении. Необходимо подтвердить границу между эксплуатационной зоной и строительной зоной. Границей может быть стена, перегородка, коридор или общий мезонин. На границе могут быть проемы, двери, переходы или переходы трубопроводов.
При определении границ вам также следует подтвердить, имеют ли эти две зоны общий возвратный воздух, свежий воздух или потолочное пространство. В случае совместного использования загрязнение может распространиться по общим путям.
После того как граница определена, ее можно отметить на чертеже и подтвердить места, которые необходимо изолировать или контролировать.
Как настроить временные разделы
Временные перегородки могут ограничить строительную пыль и передвижение персонала. Форма перегородки может быть жесткой перегородкой, мягкой завесой, временным ограждением или изоляцией перепада давления. Перегородки должны быть как можно более сплошными, чтобы уменьшить количество проемов.
Если на границе есть двери или проходы, можно установить буферные помещения или воздушные завесы. Персонал, входящий и выходящий из зоны строительства, должен переодеться или пройти чистку. Вход и выход материалов должен контролироваться во избежание попадания пыли в рабочую зону.
Временные перегородки следует регулярно проверять, чтобы убедиться в их хорошем состоянии.
Как контролировать разницу давления
Контроль перепада давления предотвращает попадание загрязнений из строительной зоны в рабочую зону. Обычно в зоне строительства поддерживается небольшое отрицательное давление, а в зоне эксплуатации — положительное давление. Таким образом, воздух перемещается из рабочей зоны в строительную, уменьшая попадание пыли в противоположном направлении.
При контроле перепада давления необходимо подтвердить, что свежий воздух, рециркуляционный воздух и вытяжной воздух могут его поддерживать. Если объем вытяжного воздуха в зоне строительства увеличивается, необходимо соответствующим образом отрегулировать подачу дополнительного воздуха в зону эксплуатации. Разность давлений следует постоянно контролировать, а любые отклонения следует устранять незамедлительно.
Как бороться с общим возвратным воздухом и потолочным пространством
Особое внимание требуется, если рабочая зона и зона строительства имеют общий объем возвратного воздуха или пространство под подвесным потолком. Строительная пыль может попасть в рабочую зону через общий антресоль.
Методы лечения включают в себя: установку перегородок в общем мезонине для перекрытия пути потока воздуха; регулировка пути рециркуляционного воздуха таким образом, чтобы рециркулирующий воздух на строительной площадке не проходил через рабочую зону; фильтрация или раздельная выгрузка возвратного воздуха на территории строительства; и добавление защиты на стороне воздухозаборника FFU в рабочей зоне.
Информацию об общем мезонине см.Какой объем воздуха будет потерян, если воздухозаборник FFU заблокирован перемычкой (Примечание: эта ссылка является примером страницы продукта FFU; для получения информации о конкретном содержимом воздухозаборника обратитесь к соответствующей странице на сайте), чтобы понять условия воздухозаборника.
Как скорректировать стратегию работы
В период поэтапного производства может потребоваться корректировка стратегии работы ФФУ на производственной территории. Например, увеличьте положительное давление в рабочей зоне, увеличьте объем подачи воздуха и усилите контроль фильтра. Если вблизи границы ведутся строительные работы, можно добавить местную защиту или временную фильтрацию.
Стратегия эксплуатации должна корректироваться в соответствии с этапом строительства и восстанавливаться после завершения строительства.
Как пройти прием на сцене
После завершения каждого этапа строительства граничная территория должна быть осмотрена и принята. Содержимое приемки включает в себя: целостность раздела; восстановление перепада давления; чистота рабочей зоны; рабочее состояние ФФУ; обратный воздушный путь; состояние фильтра.
После прохождения приемки вы можете перейти к следующему этапу или скорректировать границы. Протоколы приемки должны сохраняться.
Проблемы, которые должны быть подтверждены заранее во время обсуждения проекта
На этапе поэтапного управления границами производства полупроводников рекомендуется уточнить у проектировщика и производителя ФФУ: границу между производственной зоной и участком строительства; общие пути возврата воздуха и потолочные пути; схема временного раздела; требования к контролю перепада давления; управление входом и выходом персонала и материалов; стратегия работы ФФУ; методы мониторинга и приемки; План корректировки этапа строительства.
Если вы планируете управлять границами полупроводниковых промежутков, вы можете посетитьПромышленный вентиляторный фильтр Aili FFU, чтобы узнать о полной конфигурации машины, вы также можете обратиться кКонтроллер сенсорного экрана группового управления FFU/EFU иСистема управления компьютерной группой ФФУ , чтобы узнать о схеме управления, или свяжитесь с Aili Industrial для поддержки проекта.
в заключение
Когда полупроводники запускаются в производство поэтапно, необходимо контролировать границы между эксплуатационной зоной и строительной зоной. Основными звеньями являются определение границ, временные перегородки, контроль перепада давления, совместная обработка возвратного воздуха и корректировка стратегии эксплуатации. После закрытия непроизводственного участка это может повлиять на операционную зону через общий возвратный воздух или потолочное пространство. Приемка на этапе может подтвердить граничные эффекты.
Aili Industrial обладает всеми производственными возможностями в области комплексной поддержки проектов FFU по производству машин и полупроводников и может сотрудничать с проектом для поэтапного планирования границ производства. Если вам нужно узнать больше о применении полупроводниковых FFU, вы можете посетитьВентиляционно-фильтрующий блок Aili Industrial FFU . Вы также можете связаться с Aili Industrial для поддержки проекта.
