반도체 FFU를 단계적으로 생산할 때 작업영역과 건축영역의 경계를 설정하는 방법
단계별 생산에 경계 관리가 필요한 이유
반도체 프로젝트는 일반적으로 건설 기간이 길고 단계적으로 생산에 들어갈 수 있습니다. 일부 지역은 먼저 가동되고, 다른 지역은 공사가 계속될 예정이다. 작업 영역은 청결도와 공정 안정성을 유지해야 하며, 건설 영역에는 먼지, 진동, 인력 활동이 있습니다.
작업 영역과 건설 영역 사이에 효과적인 경계가 없으면 건설 먼지가 공유 환기, 천장 중이층 또는 직원 통로를 통해 작업 영역으로 유입되어 공정에 영향을 미칠 수 있습니다. 건설 진동은 정밀 장비에도 영향을 미칠 수 있습니다. 따라서 스테이징에는 운영 영역과 건설 영역 간의 경계 관리가 필요합니다.
FFU는 작업 영역에 깨끗한 공기를 공급하지만 경계 관리에서는 FFU가 시스템의 일부일 뿐입니다. 경계에는 칸막이, 압력 차이, 환기 경로 및 인력 관리도 포함됩니다. Aili Industrial은 FFU 전체 기계 및 반도체 프로젝트 지원 분야에서 완전한 생산 능력을 보유하고 있으며 프로젝트와 협력하여 단계적인 생산 경계 계획을 수행할 수 있습니다. FFU 기계의 기본 구조에 대해서는 다음을 참조하십시오.Aili 산업용 FFU 팬 필터 장치。
경계를 식별하는 방법
경계 식별은 관리의 첫 번째 단계입니다. 작업구역과 공사구역의 경계를 확인하는 것이 필요하다. 경계는 벽, 칸막이, 통로 또는 공유 메자닌일 수 있습니다. 경계에는 개구부, 문, 전송 또는 파이프라인 교차가 있을 수 있습니다.
경계를 식별할 때 두 영역이 환기, 신선한 공기 또는 천장 공간을 공유하는지 여부도 확인해야 합니다. 공유하면 공유 경로를 통해 오염이 확산될 수 있습니다.
경계를 식별한 후 도면에 표시하고 격리 또는 통제해야 할 위치를 확인할 수 있습니다.
임시 파티션을 설정하는 방법
임시 칸막이는 건설 먼지와 인력 이동을 제한할 수 있습니다. 칸막이의 형태는 단단한 칸막이벽, 부드러운 커튼, 임시 울타리 또는 압력차 격리일 수 있습니다. 칸막이는 개구부를 줄이기 위해 가능한 한 연속적이어야 합니다.
경계에 문이나 통로가 있는 경우 완충실이나 에어커튼을 설치할 수 있습니다. 공사 구역에 출입하는 인원은 옷을 갈아입거나 청소를 해야 합니다. 먼지가 작업 영역으로 유입되지 않도록 물질의 출입을 통제해야 합니다.
임시 칸막이는 정기적으로 검사하여 상태가 양호한지 확인해야 합니다.
압력차를 조절하는 방법
차압 제어는 오염 물질이 건설 구역에서 작업 구역으로 흘러가는 것을 방지합니다. 일반적으로 시공면적은 약간의 음압을 유지하고, 작업면적은 양압을 유지합니다. 이러한 방식으로 공기가 작업 영역에서 건축 영역으로 흐르므로 먼지가 반대 방향으로 유입되는 것을 줄입니다.
차압 제어는 신선한 공기, 환기 및 배출 공기가 이를 지원할 수 있는지 확인해야 합니다. 건설 구역의 배기 공기가 증가하면 그에 따라 작업 구역의 보충 공기를 조정해야 합니다. 압력차를 지속적으로 모니터링하고 이상이 있는 경우 즉시 처리해야 합니다.
공유 환기 및 천장 공간을 처리하는 방법
작업 영역과 건설 영역이 환기 또는 매달린 천장 공간을 공유하는 경우 특별한 주의가 필요합니다. 건설 먼지는 공유 메자닌을 통해 작업 영역으로 들어갈 수 있습니다.
처리 방법에는 다음이 포함됩니다. 공유 메자닌에 칸막이를 설치하여 공기 흐름 경로를 차단합니다. 건설구역의 환기공기가 작업구역을 통과하지 않도록 환기통로를 조정하는 단계; 건설 지역의 환기를 필터링하거나 별도로 배출합니다. 작업 영역에서 FFU의 공기 흡입구 측면에 보호 기능을 추가합니다.
공유 메자닌에 대해서는 다음을 참조하십시오.FFU 공기 흡입구가 브릿지에 의해 막히면 얼마나 많은 공기량이 손실될 것인가 (참고: 이 링크는 FFU 제품 페이지의 예입니다. 특정 공기 흡입구 콘텐츠에 대해서는 사이트의 해당 페이지를 참조하십시오). 공기 흡입구 조건을 이해하십시오.
운영 전략을 조정하는 방법
단계적 생산 기간 동안 운영 영역의 FFU 운영 전략을 조정해야 할 수도 있습니다. 예를 들어 작업 영역의 양압을 높이고 공기 공급량을 늘리며 필터 모니터링을 강화하십시오. 경계 근처에 건설 활동이 있는 경우 국지적 보호 또는 임시 여과가 추가될 수 있습니다.
운영전략은 건설단계에 따라 조정되어야 하며, 건설이 완료된 후에는 복원되어야 한다.
무대 수락 방법
각 건설 단계가 완료된 후 경계 구역을 검사하고 승인해야 합니다. 수락 내용에는 다음이 포함됩니다: 파티션 무결성; 압력차 회복; 작업 공간의 청결도; FFU 작동 상태; 복귀 공기 경로; 필터 상태.
승인을 통과한 후 다음 단계로 이동하거나 경계를 조정할 수 있습니다. 수락 기록은 보관되어야 합니다.
프로젝트 커뮤니케이션 시 사전에 확인해야 할 사항
반도체의 단계별 생산 경계 관리 단계에서는 설계자 및 FFU 제조업체와 함께 다음 사항을 확인하는 것이 좋습니다. 운영 영역과 건설 영역 간의 경계; 공유 환기 및 천장 경로; 임시 파티션 구성표; 압력차 제어 요구사항; 인력 및 자재 출입 관리; FFU 운영 전략; 모니터링 및 수용 방법; 건설 단계 조정 계획.
반도체 스테이징 경계 관리를 계획하고 있다면 다음을 방문하세요.전체 기계 구성에 대해 알아보려면 Aili Industrial FFU 팬 필터 장치를 참조하십시오.FFU/EFU 그룹 제어 터치스크린 컨트롤러 및FFU 컴퓨터 그룹 제어 시스템을 통해 제어 체계에 대해 알아보거나 Aili Industrial에 문의하여 프로젝트 지원을 받으세요.
결론적으로
반도체를 단계적으로 생산에 투입할 때에는 운영 영역과 건설 영역의 경계를 관리해야 한다. 경계 식별, 임시 칸막이, 압력차 제어, 공유 환기 처리 및 운영 전략 조정이 주요 링크입니다. 생산되지 않는 구역이 폐쇄되면 공유 환기 또는 천장 공간을 통해 운영 구역에 영향을 미칠 수 있습니다. 위상 수용은 경계 효과를 확인할 수 있습니다.
Aili Industrial은 FFU 전체 기계 및 반도체 프로젝트 지원 분야에서 완전한 생산 능력을 보유하고 있으며 프로젝트와 협력하여 단계적인 생산 경계 계획을 수행할 수 있습니다. 반도체 FFU 애플리케이션에 대해 더 자세히 알고 싶다면 다음을 방문하세요.Aili Industrial FFU 팬 필터 장치 , 프로젝트 지원을 위해 Aili Industrial에 문의하실 수도 있습니다.
