Cách thiết lập ranh giới giữa khu vực vận hành và khu vực thi công khi FFU bán dẫn được đưa vào sản xuất theo từng giai đoạn
Tại sao sản xuất theo giai đoạn cần quản lý ranh giới
Các dự án bán dẫn thường có thời gian xây dựng dài và có thể được đưa vào sản xuất theo từng giai đoạn. Một số khu vực sẽ được đưa vào hoạt động trước, trong khi các khu vực khác sẽ tiếp tục xây dựng. Khu vực vận hành cần duy trì sự sạch sẽ và ổn định quy trình, đồng thời có các hoạt động về bụi, rung và nhân sự trong khu vực thi công.
Nếu không có ranh giới hiệu quả giữa khu vực vận hành và khu vực thi công, bụi xây dựng có thể xâm nhập vào khu vực vận hành thông qua đường hồi gió chung, trần lửng hoặc lối đi của nhân viên, ảnh hưởng đến quá trình. Rung động xây dựng cũng có thể ảnh hưởng đến thiết bị chính xác. Vì vậy, việc dàn dựng đòi hỏi phải quản lý ranh giới giữa khu vực vận hành và khu vực xây dựng.
FFU cung cấp nguồn không khí sạch trong khu vực vận hành, nhưng trong quản lý ranh giới, FFU chỉ là một phần của hệ thống. Ranh giới cũng liên quan đến việc phân vùng, chênh lệch áp suất, đường dẫn khí trở lại và quản lý nhân sự. Aili Industrial có năng lực sản xuất hoàn chỉnh trong việc hỗ trợ dự án bán dẫn và máy móc hoàn chỉnh của FFU, đồng thời có thể hợp tác với dự án để thực hiện quy hoạch ranh giới sản xuất theo từng giai đoạn. Cấu trúc cơ bản của máy FFU các bạn có thể tham khảoBộ lọc quạt công nghiệp Aili FFU。
Cách xác định ranh giới
Xác định ranh giới là bước đầu tiên trong quản lý. Cần xác nhận ranh giới giữa khu vực vận hành và khu vực thi công. Ranh giới có thể là tường, vách ngăn, lối đi hoặc gác lửng chung. Có thể có các lỗ mở, cửa ra vào, chuyển giao hoặc giao cắt đường ống ở ranh giới.
Khi xác định ranh giới, bạn cũng nên xác nhận xem hai khu vực có chia sẻ không khí hồi lưu, không khí trong lành hay không gian trần hay không. Nếu được chia sẻ, ô nhiễm có thể lây lan qua các đường dẫn chung.
Sau khi xác định được ranh giới, có thể đánh dấu trên bản vẽ và xác nhận các vị trí cần cách ly hoặc kiểm soát.
Cách thiết lập phân vùng tạm thời
Vách ngăn tạm thời có thể hạn chế bụi xây dựng và sự di chuyển của nhân viên. Hình thức vách ngăn có thể là vách ngăn cứng, rèm mềm, hàng rào tạm thời hoặc cách ly chênh lệch áp suất. Các phân vùng phải càng liên tục càng tốt để giảm lỗ hở.
Nếu có cửa hoặc lối đi trên ranh giới, có thể bố trí phòng đệm hoặc rèm thông gió. Nhân viên ra vào khu vực thi công phải thay quần áo hoặc vệ sinh sạch sẽ. Việc ra vào của nguyên liệu cần được kiểm soát để tránh mang bụi vào khu vực vận hành.
Các vách ngăn tạm thời cần được kiểm tra thường xuyên để đảm bảo chúng ở tình trạng tốt.
Cách kiểm soát chênh lệch áp suất
Kiểm soát áp suất chênh lệch ngăn ngừa ô nhiễm chảy từ khu vực xây dựng sang khu vực vận hành. Thông thường, khu vực thi công được duy trì ở áp suất âm nhẹ và khu vực vận hành được duy trì ở áp suất dương. Bằng cách này, không khí lưu chuyển từ khu vực vận hành đến khu vực thi công, giảm bụi xâm nhập theo hướng ngược lại.
Kiểm soát áp suất chênh lệch cần phải xác nhận rằng không khí trong lành, không khí hồi lưu và khí thải có thể hỗ trợ nó. Nếu lượng khí thải trong khu vực thi công tăng lên thì lượng không khí bổ sung trong khu vực vận hành cần được điều chỉnh cho phù hợp. Sự chênh lệch áp suất cần được theo dõi liên tục và mọi bất thường cần được xử lý kịp thời.
Làm thế nào để giải quyết vấn đề không gian chung và không gian trần
Cần đặc biệt chú ý nếu khu vực vận hành và khu vực xây dựng chia sẻ không gian hồi lưu hoặc trần treo. Bụi xây dựng có thể xâm nhập vào khu vực vận hành qua tầng lửng chung.
Các phương pháp xử lý bao gồm: lắp đặt vách ngăn ở tầng lửng chung để chặn đường đi của không khí; điều chỉnh đường gió hồi trong khu vực thi công không đi qua khu vực vận hành; lọc hoặc thải riêng khí hồi lưu trong khu vực xây dựng; và bổ sung khả năng bảo vệ ở phía hút gió của FFU trong khu vực vận hành.
Đối với tầng lửng chung, vui lòng tham khảoLượng không khí sẽ bị mất bao nhiêu nếu cửa hút gió FFU bị cầu chặn (Lưu ý: Liên kết này là ví dụ về trang sản phẩm FFU, vui lòng tham khảo trang tương ứng trên trang web để biết nội dung cụ thể của cửa hút gió) để hiểu điều kiện cửa hút gió.
Cách điều chỉnh chiến lược điều hành
Trong giai đoạn sản xuất theo từng giai đoạn, chiến lược vận hành FFU của khu vực vận hành có thể cần được điều chỉnh. Ví dụ: tăng áp suất dương trong khu vực vận hành, tăng lượng cung cấp không khí và tăng cường giám sát bộ lọc. Nếu có hoạt động xây dựng gần ranh giới, có thể bổ sung biện pháp bảo vệ cục bộ hoặc lọc tạm thời.
Chiến lược vận hành cần được điều chỉnh theo giai đoạn xây dựng và khôi phục sau khi xây dựng xong.
Làm thế nào để chấp nhận giai đoạn
Sau khi hoàn thành mỗi giai đoạn thi công, khu vực ranh giới cần được kiểm tra và nghiệm thu. Nội dung chấp nhận bao gồm: tính toàn vẹn của phân vùng; thu hồi chênh lệch áp suất; vệ sinh khu vực điều hành; Trạng thái hoạt động của FFU; đường dẫn khí trở lại; trạng thái lọc.
Sau khi vượt qua sự chấp nhận, bạn có thể chuyển sang giai đoạn tiếp theo hoặc điều chỉnh ranh giới. Hồ sơ nghiệm thu phải được lưu giữ.
Các vấn đề cần xác nhận trước trong quá trình truyền thông dự án
Trong giai đoạn quản lý ranh giới của quá trình sản xuất theo từng giai đoạn bán dẫn, nên xác nhận các nội dung sau với nhà thiết kế và nhà sản xuất FFU: ranh giới giữa khu vực vận hành và khu vực xây dựng; đường dẫn khí trở lại và trần chung; sơ đồ phân vùng tạm thời; yêu cầu kiểm soát chênh lệch áp suất; quản lý xuất nhập nhân sự và vật tư; Chiến lược hoạt động của FFU; phương pháp giám sát và nghiệm thu; phương án điều chỉnh giai đoạn thi công.
Nếu bạn đang lập kế hoạch quản lý ranh giới dàn bán dẫn, bạn có thể truy cậpBộ lọc quạt FFU công nghiệp Aili để tìm hiểu về cấu hình máy hoàn chỉnh, bạn cũng có thể tham khảoBộ điều khiển màn hình cảm ứng điều khiển nhóm FFU/EFU vàHệ thống điều khiển nhóm máy tính FFU để tìm hiểu về sơ đồ điều khiển hoặc liên hệ với Aili Industrial để được hỗ trợ dự án.
Tóm lại
Khi chất bán dẫn được đưa vào sản xuất theo từng giai đoạn, cần quản lý ranh giới giữa khu vực vận hành và khu vực xây dựng. Xác định ranh giới, phân vùng tạm thời, kiểm soát chênh lệch áp suất, xử lý không khí hồi lưu chung và điều chỉnh chiến lược vận hành là những liên kết chính. Sau khi khu vực không được sản xuất bị đóng cửa, nó có thể ảnh hưởng đến khu vực vận hành thông qua không gian chung hoặc không gian trần. Việc chấp nhận pha có thể xác nhận các hiệu ứng biên.
Aili Industrial có năng lực sản xuất hoàn chỉnh trong việc hỗ trợ dự án bán dẫn và máy móc hoàn chỉnh của FFU, đồng thời có thể hợp tác với dự án để thực hiện quy hoạch ranh giới sản xuất theo từng giai đoạn. Nếu bạn cần tìm hiểu thêm về các ứng dụng FFU bán dẫn, bạn có thể truy cậpBộ lọc quạt Aili Industrial FFU , bạn cũng có thể liên hệ với Aili Industrial để được hỗ trợ dự án.
