半導体FFUを段階的に生産する場合、稼働エリアと建設エリアの境界をどのように設定するか

段階的生産に境界管理が必要な理由

半導体プロジェクトは通常、建設期間が長く、段階的に生産が開始される場合があります。一部のエリアが最初に稼働し、他のエリアでは建設が継続されます。作業エリアは清潔さとプロセスの安定性を維持する必要があり、建設エリアでは粉塵、振動、人の活動が発生します。

作業エリアと建設エリアの間に有効な境界がない場合、建設粉塵が共有の戻り空気、天井の中二階、または人員通路を通って作業エリアに侵入し、プロセスに影響を与える可能性があります。建築物の振動も精密機器に影響を与える可能性があります。したがって、ステージングでは、運用エリアと建設エリアの間の境界を管理する必要があります。

FFU は作業エリアにクリーンな空気を供給しますが、境界管理においては FFU はシステムの一部にすぎません。境界には、隔壁、差圧、空気の戻り経路、人員管理も含まれます。 Aili Industrial は、FFU 完成機と半導体プロジェクトのサポートにおける完全な生産能力を備えており、プロジェクトに協力して段階的な生産境界計画を実行できます。 FFU マシンの基本構造については、以下を参照してください。Aili Industrial FFUファンフィルターユニット。

境界を特定する方法

境界の特定は管理の第一歩です。作業エリアと工事エリアの境界確認が必要です。境界は、壁、パーティション、通路、または共有の中二階である場合があります。境界には開口部、ドア、乗り換え、またはパイプラインの交差がある場合があります。

境界を特定するときは、2 つのエリアが還気、外気、または天井スペースを共有しているかどうかも確認する必要があります。共有すると、共有経路を通じて汚染が広がる可能性があります。

境界が特定されたら、図面上に境界をマークし、隔離または管理する必要がある場所を確認できます。

一時パーティションを設定する方法

一時的な間仕切りは、建設中の粉塵や人の移動を制限する可能性があります。パーティションの形式は、ハードパーティションウォール、ソフトカーテン、仮設フェンス、または圧力差隔離などがあります。開口部を減らすために、パーティションはできるだけ連続している必要があります。

境界にドアや通路がある場合は、緩衝室やエアカーテンを設置することも可能です。工事エリアに出入りする人員は、衣服を着替えるか、清潔にする必要があります。粉塵が作業領域に持ち込まれないように、材料の出入りを制御する必要があります。

一時パーティションは定期的に検査して、良好な状態であることを確認する必要があります。

圧力差の制御方法

差圧制御により、建設エリアから動作エリアへの汚染物の流入を防ぎます。通常、施工エリアは若干の負圧、手術エリアは正圧に保たれます。これにより、作業エリアから施工エリアへ空気が流れ、粉塵の逆侵入が軽減されます。

差圧制御では、外気、還気、排気が対応できることを確認する必要があります。建設エリアの排気が増加すると、それに応じて作業エリアの補助空気を調整する必要があります。圧力差を継続的に監視し、異常があれば速やかに対処する必要があります。

共用の還気と天井スペースにどう対処するか

運用エリアと建設エリアが還気スペースまたは吊り天井スペースを共有する場合は、特別な注意が必要です。建設粉塵が共有メザニンから作業エリアに侵入する可能性があります。

処理方法としては、共用中二階に間仕切りを設置して空気の流路を遮断する。建設エリアの戻り空気が作業エリアを通過しないように戻り空気経路を調整する。建設エリアで戻り空気を濾過するか、または個別に排出する。動作領域の FFU の空気入口側に保護を追加します。

共有メザニンについては、を参照してください。空気入口の状態を理解するには、 FFU 空気入口がブリッジによってブロックされた場合にどのくらいの空気量が失われるか(注: このリンクは FFU 製品ページの例です。具体的な空気入口の内容については、サイトの対応するページを参照してください)。

運用戦略を調整する方法

段階的生産期間中は、動作領域の FFU 動作戦略を調整する必要がある場合があります。例えば、動作領域の陽圧を高める、エア供給量を増やす、フィルタ監視を強化するなどです。境界付近で建設活動が行われている場合は、局所的な保護または一時的な濾過を追加できます。

運営戦略は建設段階に応じて調整し、建設完了後に復元する必要があります。

ステージ受付方法

建設の各段階が完了したら、境界領域を検査して受け入れなければなりません。承認内容には、パーティションの整合性が含まれます。圧力差の回復。手術エリアの清潔さ。 FFU の動作ステータス。戻り空気経路。フィルターの状態。

承認に合格したら、次の段階に移動したり、境界を調整したりできます。受け入れ記録は保存する必要があります。

プロジェクトコミュニケーション時に事前に確認すべき事項

半導体の段階的な生産境界管理段階では、設計者および FFU メーカーに次の点を確認することをお勧めします。 動作領域と建設領域の境界。戻り空気と天井の経路を共有。一時的なパーティションスキーム。圧力差制御要件。人員および資材の出入りの管理。 FFU の運用戦略。監視および受け入れ方法。建設段階調整計画。

半導体ステージング境界管理を計画している場合は、次のサイトを参照してください。Aili Industrial FFU ファン フィルター ユニットの完全なマシン構成については、こちらも参照してください。FFU/EFUグループ制御タッチスクリーンコントローラとFFU コンピュータ グループ制御システムの制御スキームについて学ぶか、プロジェクト サポートについては Aili Industrial にお問い合わせください。

結論は

半導体を段階的に生産する場合、稼働エリアと建設エリアの境界を管理する必要があります。境界の特定、一時的な仕切り、差圧制御、共用戻り空気処理、および運用戦略の調整が主なリンクです。生産を行っていないエリアが停止すると、共用の還気や天井スペースを通じて稼働エリアに影響が出る可能性があります。位相受け入れにより境界効果を確認できます。

Aili Industrial は、FFU 完成機と半導体プロジェクトのサポートにおける完全な生産能力を備えており、プロジェクトに協力して段階的な生産境界計画を実行できます。半導体 FFU アプリケーションについてさらに詳しく知りたい場合は、次のサイトを参照してください。Aili Industrial FFU ファン フィルター ユニット、プロジェクト サポートについては、Aili Industrial にお問い合わせいただくことも歓迎します。