So legen Sie die Grenze zwischen dem Betriebsbereich und dem Baubereich fest, wenn die Halbleiter-FFU phasenweise in Produktion geht
Warum eine schrittweise Produktion Grenzmanagement erfordert
Halbleiterprojekte haben in der Regel eine lange Bauzeit und können phasenweise in Produktion gehen. Einige Bereiche werden zunächst in Betrieb genommen, während in anderen Bereichen der Bau fortgesetzt wird. Im Betriebsbereich müssen Sauberkeit und Prozessstabilität gewährleistet sein, außerdem gibt es im Baubereich Staub, Vibrationen und Personalaktivitäten.
Wenn es keine wirksame Grenze zwischen dem Betriebsbereich und dem Baubereich gibt, kann Baustaub über die gemeinsame Abluft, das Deckenzwischengeschoss oder den Personaldurchgang in den Betriebsbereich gelangen und den Prozess beeinträchtigen. Auch Bauvibrationen können Auswirkungen auf Präzisionsgeräte haben. Daher erfordert die Inszenierung die Bewältigung der Grenzen zwischen Betriebs- und Baubereich.
FFU sorgt für die Versorgung mit sauberer Luft im Betriebsbereich, beim Grenzmanagement ist FFU jedoch nur ein Teil des Systems. Zu den Grenzen gehören auch Trennwände, Druckunterschiede, Rückluftwege und Personalmanagement. Aili Industrial verfügt über umfassende Produktionskapazitäten für FFU-Komplettmaschinen und die Unterstützung von Halbleiterprojekten und kann mit dem Projekt zusammenarbeiten, um eine stufenweise Planung der Produktionsgrenzen durchzuführen. Den Grundaufbau der FFU-Maschine finden Sie unterAili Industrial FFU-Lüfterfiltereinheit。
So erkennen Sie Grenzen
Die Grenzerkennung ist der erste Schritt im Management. Es ist notwendig, die Grenze zwischen dem Betriebsbereich und dem Baubereich zu bestätigen. Die Grenze kann eine Wand, eine Trennwand, ein Durchgang oder ein gemeinsames Zwischengeschoss sein. An der Grenze können Öffnungen, Türen, Übergänge oder Rohrleitungskreuzungen vorhanden sein.
Bei der Festlegung der Grenzen sollten Sie auch bestätigen, ob sich die beiden Bereiche Rückluft, Frischluft oder Deckenraum teilen. Bei einer gemeinsamen Nutzung kann sich die Kontamination über gemeinsame Wege ausbreiten.
Nachdem die Grenze identifiziert wurde, kann sie in der Zeichnung markiert werden und die Orte, die isoliert oder kontrolliert werden müssen, können bestätigt werden.
So richten Sie temporäre Partitionen ein
Temporäre Trennwände können den Baustaub und die Personenbewegung einschränken. Die Form der Trennwand kann eine harte Trennwand, ein weicher Vorhang, ein temporärer Zaun oder eine Druckdifferenzisolierung sein. Trennwände sollten möglichst durchgehend sein, um Öffnungen zu reduzieren.
Befinden sich an der Grenze Türen oder Durchgänge, können Pufferräume oder Luftschleier eingerichtet werden. Personal, das den Baubereich betritt und verlässt, sollte sich umziehen oder gereinigt werden. Der Ein- und Austritt von Materialien sollte kontrolliert werden, um zu verhindern, dass Staub in den Betriebsbereich gelangt.
Temporäre Trennwände sollten regelmäßig überprüft werden, um sicherzustellen, dass sie in gutem Zustand sind.
So kontrollieren Sie den Druckunterschied
Die Differenzdruckregelung verhindert, dass Verunreinigungen vom Baubereich in den Betriebsbereich gelangen. Normalerweise wird im Baubereich ein leichter Unterdruck und im Operationsbereich ein Überdruck herrscht. Auf diese Weise strömt die Luft vom Betriebsbereich zum Baubereich und verringert so das Eindringen von Staub in die entgegengesetzte Richtung.
Die Differenzdruckregelung muss sicherstellen, dass die Frischluft, die Rückluft und die Abluft dies unterstützen können. Steigt die Abluft im Baubereich, muss die Zusatzluft im Betriebsbereich entsprechend angepasst werden. Der Druckunterschied sollte kontinuierlich überwacht und etwaige Anomalien umgehend behoben werden.
Umgang mit gemeinsam genutzter Rückluft und Deckenraum
Besondere Aufmerksamkeit ist erforderlich, wenn der Betriebsbereich und der Baubereich sich die Abluft oder den abgehängten Deckenraum teilen. Über das gemeinsame Zwischengeschoss kann Baustaub in den Betriebsbereich gelangen.
Zu den Behandlungsmethoden gehören: Aufstellung von Trennwänden im gemeinsamen Zwischengeschoss, um den Luftstromweg zu blockieren; Anpassen des Rückluftwegs, so dass die Rückluft im Baubereich nicht durch den Operationsbereich strömt; Filterung oder separate Ableitung der Rückluft im Baubereich; und Hinzufügen von Schutz auf der Lufteinlassseite der FFU im Operationsbereich.
Informationen zu gemeinsam genutzten Zwischengeschossen finden Sie unterWie viel Luftvolumen geht verloren, wenn der FFU-Lufteinlass durch die Brücke blockiert wird (Hinweis: Dieser Link ist ein Beispiel für die FFU-Produktseite. Informationen zum spezifischen Lufteinlassinhalt finden Sie auf der entsprechenden Seite auf der Website), um die Lufteinlassbedingungen zu verstehen.
So passen Sie die Betriebsstrategie an
Während des gestaffelten Produktionszeitraums muss möglicherweise die FFU-Betriebsstrategie des Betriebsbereichs angepasst werden. Erhöhen Sie beispielsweise den Überdruck im Betriebsbereich, erhöhen Sie die Luftzufuhrmenge und verstärken Sie die Filterüberwachung. Wenn in der Nähe der Grenze Bautätigkeiten stattfinden, kann ein lokaler Schutz oder eine temporäre Filterung hinzugefügt werden.
Die Betriebsstrategie sollte entsprechend der Bauphase angepasst und nach Abschluss der Bauarbeiten wiederhergestellt werden.
So führen Sie eine Bühnenabnahme durch
Nach Abschluss jeder Bauphase sollte der Grenzbereich inspiziert und abgenommen werden. Der Akzeptanzinhalt umfasst: Partitionsintegrität; Wiederherstellung der Druckdifferenz; Sauberkeit des Betriebsbereichs; FFU-Betriebsstatus; Rückluftweg; Filterstatus.
Nach bestandener Abnahme können Sie mit der nächsten Stufe fortfahren oder die Grenzen anpassen. Die Abnahmeunterlagen sollten aufbewahrt werden.
Probleme, die im Rahmen der Projektkommunikation vorab bestätigt werden sollten
Während der Grenzmanagementphase der Halbleiterproduktion wird empfohlen, die folgenden Inhalte mit dem Designer und FFU-Hersteller zu bestätigen: die Grenze zwischen dem Betriebsbereich und dem Baubereich; gemeinsame Rückluft- und Deckenwege; temporäres Partitionsschema; Anforderungen an die Druckdifferenzregelung; Personal- und Materialein- und -ausgangsmanagement; FFU-Betriebsstrategie; Überwachungs- und Akzeptanzmethoden; Bauphasenanpassungsplan.
Wenn Sie ein Halbleiter-Staging-Grenzenmanagement planen, können Sie hier vorbeischauenAili Industrial FFU-Lüfterfiltereinheit beziehenUm mehr über die komplette Maschinenkonfiguration zu erfahren, können Sie sich auch auf die FFU/EFU-Gruppensteuerung, Touchscreen-Controller undInformieren Sie sich über das FFU-Computergruppensteuerungssystem, um mehr über das Steuerungsschema zu erfahren, oder wenden Sie sich für Projektunterstützung an Aili Industrial.
abschließend
Wenn Halbleiter phasenweise in Produktion gehen, sollten die Grenzen zwischen dem Betriebsbereich und dem Baubereich beachtet werden. Grenzerkennung, temporäre Trennwände, Druckdifferenzkontrolle, gemeinsame Rückluftaufbereitung und Anpassung der Betriebsstrategie sind die wichtigsten Verbindungen. Nach der Abschaltung des Bereichs, in dem nicht produziert wird, kann es durch die gemeinsame Abluft oder den Deckenraum zu Auswirkungen auf den Betriebsbereich kommen. Phasenakzeptanz kann Grenzeffekte bestätigen.
Aili Industrial verfügt über umfassende Produktionskapazitäten für FFU-Komplettmaschinen und die Unterstützung von Halbleiterprojekten und kann mit dem Projekt zusammenarbeiten, um eine stufenweise Planung der Produktionsgrenzen durchzuführen. Wenn Sie mehr über Halbleiter-FFU-Anwendungen erfahren möchten, besuchen Sie unsAili Industrial FFU-Lüfterfiltereinheit , Sie können sich auch gerne an Aili Industrial wenden, um Projektunterstützung zu erhalten.
