Cómo establecer el límite entre el área de operación y el área de construcción cuando el semiconductor FFU se pone en producción en fases

Por qué la producción por fases requiere gestión de límites

Los proyectos de semiconductores suelen tener un largo período de construcción y pueden ponerse en producción en fases. Algunas áreas se pondrán en funcionamiento primero, mientras que la construcción continuará en otras. El área de operación necesita mantener la limpieza y la estabilidad del proceso, y hay polvo, vibración y actividad del personal en el área de construcción.

Si no existe un límite efectivo entre el área de operación y el área de construcción, el polvo de la construcción puede ingresar al área de operación a través del aire de retorno compartido, el entrepiso del techo o el pasaje del personal, afectando el proceso. Las vibraciones de la construcción también pueden afectar los equipos de precisión. Por lo tanto, la puesta en escena requiere la gestión de los límites entre las áreas de operación y construcción.

FFU proporciona suministro de aire limpio en el área operativa, pero en la gestión de límites, FFU es solo una parte del sistema. Los límites también implican particiones, diferenciales de presión, rutas de aire de retorno y gestión de personal. Aili Industrial tiene capacidades de producción completas en máquinas completas FFU y soporte de proyectos de semiconductores, y puede cooperar con el proyecto para llevar a cabo la planificación de límites de producción por fases. Para conocer la estructura básica de la máquina FFU, consulteUnidad de filtrado de ventilador Aili Industrial FFU。

Cómo identificar límites

La identificación de límites es el primer paso en la gestión. Es necesario confirmar el límite entre el área de operación y el área de construcción. El límite puede ser un muro, un tabique, un pasillo o un entrepiso compartido. Puede haber aberturas, puertas, transferencias o cruces de tuberías en el límite.

Al identificar los límites, también debe confirmar si las dos áreas comparten aire de retorno, aire fresco o espacio en el techo. Si se comparte, la contaminación puede propagarse a través de caminos compartidos.

Una vez identificado el límite, se puede marcar en el dibujo y se pueden confirmar las ubicaciones que deben aislarse o controlarse.

Cómo configurar particiones temporales

Las particiones temporales pueden limitar el polvo de la construcción y el movimiento del personal. La forma de partición puede ser una pared divisoria dura, una cortina suave, una cerca temporal o un aislamiento por diferencia de presión. Los tabiques deben ser lo más continuos posible para reducir las aberturas.

Si hay puertas o pasillos en el límite, se pueden instalar habitaciones intermedias o cortinas de aire. El personal que entre y salga del área de construcción debe cambiarse de ropa o limpiarse. Se debe controlar la entrada y salida de materiales para evitar introducir polvo en el área de operación.

Las particiones temporales deben inspeccionarse periódicamente para garantizar que estén en buenas condiciones.

Cómo controlar la diferencia de presión

El control de presión diferencial evita que la contaminación fluya desde el área de construcción al área de operación. Generalmente, el área de construcción se mantiene a una ligera presión negativa y el área de operación se mantiene a una presión positiva. De esta manera, el aire fluye desde el área de operación al área de construcción, reduciendo la entrada de polvo en la dirección opuesta.

El control de presión diferencial debe confirmar que el aire fresco, el aire de retorno y el aire de escape puedan soportarlo. Si el aire de escape en el área de construcción aumenta, el aire suplementario en el área de operación debe ajustarse en consecuencia. La diferencia de presión debe controlarse continuamente y cualquier anomalía debe abordarse con prontitud.

Cómo lidiar con el aire de retorno compartido y el espacio en el techo

Se requiere atención especial si el área operativa y el área de construcción comparten aire de retorno o espacio de techo suspendido. El polvo de la construcción puede ingresar al área de operación a través del entrepiso compartido.

Los métodos de tratamiento incluyen: instalar particiones en el entrepiso compartido para bloquear el paso del flujo de aire; ajustar la ruta del aire de retorno para que el aire de retorno en el área de construcción no pase a través del área de operación; filtrar o descargar por separado el aire de retorno en el área de construcción; y agregar protección en el lado de entrada de aire de la FFU en el área de operación.

Para entrepisos compartidos, consulteCuánto volumen de aire se perderá si el puente bloquea la entrada de aire de FFU (Nota: este enlace es un ejemplo de la página del producto FFU; consulte la página correspondiente en el sitio para conocer el contenido específico de la entrada de aire) para comprender las condiciones de la entrada de aire.

Cómo ajustar la estrategia de operación.

Durante el período de producción por fases, es posible que sea necesario ajustar la estrategia operativa de FFU del área operativa. Por ejemplo, aumente la presión positiva en el área de operación, aumente el volumen de suministro de aire y fortalezca el monitoreo del filtro. Si hay actividad de construcción cerca del límite, se puede agregar protección local o filtración temporal.

La estrategia operativa debe ajustarse según la etapa de construcción y restaurarse una vez finalizada la construcción.

Cómo hacer aceptación escénica

Después de completar cada etapa de la construcción, se debe inspeccionar y aceptar el área límite. El contenido de aceptación incluye: integridad de la partición; recuperación de diferencia de presión; limpieza del área operativa; estado operativo de la FFU; vía aérea de retorno; estado del filtro.

Después de pasar la aceptación, puede pasar a la siguiente etapa o ajustar los límites. Se deben conservar los registros de aceptación.

Cuestiones que deben confirmarse con antelación durante la comunicación del proyecto

Durante la etapa de gestión de los límites de producción por fases de los semiconductores, se recomienda confirmar lo siguiente con el diseñador y el fabricante de la FFU: el límite entre el área de operación y el área de construcción; rutas compartidas de aire de retorno y techo; esquema de partición temporal; requisitos de control de diferencia de presión; gestión de entradas y salidas de personal y materiales; estrategia operativa de la FFU; métodos de seguimiento y aceptación; Plan de adecuación de la fase de construcción.

Si está planificando la gestión de límites de etapas de semiconductores, puede visitarUnidad de filtro de ventilador Aili Industrial FFU para conocer la configuración completa de la máquina, también puede consultarControlador de pantalla táctil de control de grupo FFU/EFU ySistema de control del grupo informático FFU para conocer el esquema de control o comuníquese con Aili Industrial para obtener soporte para el proyecto.

en conclusión

Cuando los semiconductores se ponen en producción por fases, se deben gestionar los límites entre el área operativa y el área de construcción. Los principales vínculos son la identificación de límites, las particiones temporales, el control de la diferencia de presión, el tratamiento del aire de retorno compartido y el ajuste de la estrategia de operación. Una vez que se cierra el área que no está en producción, esto puede afectar el área de operación a través del aire de retorno compartido o el espacio del techo. La aceptación de la fase puede confirmar los efectos límite.

Aili Industrial tiene capacidades de producción completas en máquinas completas FFU y soporte de proyectos de semiconductores, y puede cooperar con el proyecto para llevar a cabo la planificación de límites de producción por fases. Si necesita obtener más información sobre las aplicaciones FFU de semiconductores, puede visitarUnidad de filtro de ventilador FFU de Aili Industrial , también puede comunicarse con Aili Industrial para obtener soporte en el proyecto.