设备端EFU风量的基础换算公式为Q=A×v×3600。Q的单位为m³/h,A为有效送风面积m²,v为目标平均风速m/s。例如有效面积0.5m²、目标平均风速0.45m/s,初步风量为810m³/h。该结果还需按实际工况修正。
整机外形面积包含边框、结构件和非通风区域,不能直接代入公式。若只需要覆盖设备内部某一工艺区,也应按有效送风范围和气流扩散情况确认面积。
计算得到的是平均需求。实际出风面会存在测点差异,因此项目还应规定风速均匀性或各测点允许范围。对半导体设备而言,关键工艺区的局部风速往往比单一平均值更重要。
同一风机在自由送风和带H14或U15过滤器时风量不同。技术协议中应注明过滤器型号或阻力、进出风边界和风机档位,避免额定值无法复现。
过滤器使用后阻力上升,风量可能下降。选型时可评估初阻力与目标终阻力下的工作点,并确认调速范围能否满足运行要求。
多台并列时,总风量可作为初步合计,但设备内部回流、相邻气流和结构遮挡可能造成分布不均。应对关键区域进行网格测量。
应根据过滤器阻力增长、制造偏差和运行模式合理留量,不建议无依据统一放大。
通常由设备工艺、污染控制目标和验证结果共同确定。
因为风速以每秒计,风量常以每小时计,1小时等于3600秒。
艾立工业围绕EFU整机、风机与电机、控制系统、钣金结构及空气过滤器开展研发与生产。对于设备端项目,可结合设备图纸、目标风量、静压、过滤效率、安装接口和控制逻辑进行配置。涉及超薄、小尺寸或特殊接口时,建议先确认图纸与约定工况,再通过样机测试固化参数,以便后续批量生产保持配置一致。
项目咨询时可提供设备内部可用长宽高、目标洁净度、送风区域、风量或风速要求、过滤效率、电源及通讯方式,便于快速判断标准产品是否适用,或是否需要非标设计。
EFU常见问题与技术支持 EFU设备风机过滤单元 70mm超薄EFU
结论:EFU需求风量可先按有效送风面积与目标平均风速计算,但计算值只是起点。实际选型还要考虑过滤器、箱体、进出风和设备内部结构形成的阻力。