조회수: 6524 작성자: Aili Industry 출시 시간: 2026-09-22 출처: 아이 리 산업
장비 끝단의 EFU 공기량에 대한 기본 변환 공식은 Q=A×v×3600입니다. Q의 단위는 m³/h이고, A는 유효 급기 면적 m², v는 목표 평균 풍속 m/s이다. 예를 들어 유효 면적은 0.5m², 목표 평균 풍속은 0.45m/s, 예비 풍량은 810m²/h입니다. 이 결과는 실제 작업 조건에 따라 수정될 필요가 있습니다.
전체 기계 외관 영역에는 프레임, 구조 부품 및 비통풍 영역이 포함되며 공식에 직접 대체될 수 없습니다. 장비 내부의 특정 공정 영역만 커버해야 하는 경우에는 유효 공기 공급 범위 및 공기 흐름 확산을 기반으로 해당 영역도 확인해야 합니다.
계산되는 것은 평균 수요입니다. 실제 바람 배출구 표면의 측정 지점에는 차이가 있으므로 프로젝트에서는 풍속의 균일성 또는 각 측정 지점의 허용 범위도 지정해야 합니다. 반도체 장비의 경우 중요한 공정 영역의 국지적 풍속이 단일 평균보다 더 중요한 경우가 많습니다.
동일한 팬의 풍량은 자유 공기 공급과 H14 또는 U15 필터에 따라 다릅니다. 정격 값을 재현하지 못하는 것을 방지하려면 필터 모델 또는 저항, 공기 흡입구 및 배출구 경계, 팬 속도를 기술 계약에 명시해야 합니다.
필터를 사용한 후에는 저항이 증가하고 공기량이 감소할 수 있습니다. 선택 시 초기 저항과 목표 최종 저항 하에서 작동점을 평가하고 속도 조정 범위가 작동 요구 사항을 충족할 수 있는지 확인할 수 있습니다.
여러 장치를 병렬로 연결할 경우 전체 공기량을 예비 합계로 사용할 수 있지만 장비 내부 역류, 인접한 공기 흐름 및 구조적 방해로 인해 고르지 못한 분포가 발생할 수 있습니다. 그리드 측정은 중요한 영역에서 수행되어야 합니다.
필터 저항 증가, 제조 편차 및 작동 모드를 고려하여 합리적인 금액을 확보해야 하며, 근거 없이 확대하는 것은 권장되지 않습니다.
이는 일반적으로 장비 프로세스, 오염 제어 목표 및 검증 결과에 따라 결정됩니다.
풍속은 초 단위로 측정되기 때문에 풍량은 시간 단위로 측정되는 경우가 많으며 1시간은 3600초와 같습니다.
Aili Industry는 EFU 전체 기계, 팬 및 모터, 제어 시스템, 판금 구조 및 공기 필터를 중심으로 R&D 및 생산을 수행합니다. 장비측 프로젝트의 경우 장비 도면, 목표 공기량, 정압, 여과 효율, 설치 인터페이스 및 제어 로직을 기반으로 구성을 수행할 수 있습니다. 초박형, 작은 크기 또는 특수 인터페이스의 경우 먼저 도면과 합의된 작업 조건을 확인한 다음 프로토타입을 통해 경화 매개변수를 테스트하여 후속 대량 생산에서 구성이 일관될 수 있도록 하는 것이 좋습니다.
프로젝트 상담 시 사용 가능한 장비 내부 길이, 너비 및 높이, 대상 청결도, 급기 면적, 풍량 또는 풍속 요구 사항, 여과 효율, 전원 공급 및 통신 방법을 제공하여 표준 제품이 적합한지 또는 비표준 설계가 필요한지 여부를 신속하게 판단할 수 있습니다.
EFU FAQ 및 기술 지원 EFU 장비 팬 필터 장치 70mm 초박형 EFU
결론: EFU 요구 공기량은 유효 급기 면적과 목표 평균 풍속을 기반으로 계산할 수 있지만 계산된 값은 시작점일 뿐입니다. 실제 선정 시에는 필터, 박스, 공기 흡입구 및 배출구, 장비 내부 구조로 인해 발생하는 저항도 고려해야 합니다.