EFU 定格風量の計算方法は?設備端給気面積と目標風速の換算
機器側 EFU 風量の基本換算式は Q=A×v×3600 となります。 Q の単位は m3/h、A は有効給気面積 m2、v は目標平均風速 m/s です。例えば、有効面積は0.5m2、目標平均風速は0.45m/s、予備風量は810m3/hとなります。この結果は実際の作業条件に応じて修正する必要があります。
エリアは効果的な換気エリアを使用する必要があります
機械全体の外観領域にはフレーム、構造部品、非換気領域が含まれるため、式に直接代入することはできません。装置内の特定のプロセスエリアのみをカバーする必要がある場合は、有効エア供給範囲とエア流の拡散に基づいてそのエリアも確認する必要があります。
平均風速はすべての地点で同じであることを意味するわけではありません
計算されるのは平均需要です。実際の風の吹き出し面では測定点にばらつきがあるため、プロジェクトでは風速の均一性や各測定点の許容範囲も指定する必要があります。半導体装置の場合、多くの場合、重要なプロセス領域における局所的な風速が、単一の平均値よりも重要です。
定格空気量は試験抵抗に対応する必要があります
同じファンでもフリーエア供給とH14またはU15フィルタでは風量が異なります。定格値を再現できないことを避けるために、フィルターのモデルまたは抵抗、空気の入口と出口の境界、およびファンの速度を技術契約に記載する必要があります。
最終的な抵抗の動作条件が調整マージンを決定します
フィルターを使用すると抵抗が増加し、風量が減少する場合があります。機種選定時には初期抵抗値と目標終端抵抗値での動作点を評価し、速度調整範囲が動作要件を満たしているか確認できます。
複数の EFU は単純な加算を行うことはできません
複数台並列した場合、総風量を暫定集計として使用できますが、機器内部の逆流や隣接する空気の流れ、構造上の障害物などにより、風量が偏る場合があります。重要な領域ではグリッド測定を行う必要があります。
よくある質問
風量を計算する際に安全係数を加える必要はありますか?
フィルタ抵抗の増加、製造偏差、動作モードに基づいて適切な量を確保する必要があり、根拠なく拡大することはお勧めできません。
目標風速は誰が決めるのですか？
通常、装置のプロセス、汚染防止の目的、検証結果によって決定されます。
なぜ単位変換に 3600 を掛けるのでしょうか?
風速は秒単位で測定されるため、風量は時間単位で測定されることが多く、1 時間は 3600 秒に相当します。
Aili Industryは設備側のEFUプロジェクトにどのように協力しますか?
Aili Industry は、EFU 完成機、ファンとモーター、制御システム、板金構造、エアフィルターに関する研究開発と生産を行っています。装置側のプロジェクトでは、装置図面、目標風量、静圧、濾過効率、設置インターフェース、制御ロジックに基づいて構成を実行できます。超薄型、小型サイズ、または特殊なインターフェイスの場合は、最初に図面と合意された作業条件を確認し、その後の量産で構成が一貫しているように試作品を通じて硬化パラメータをテストすることをお勧めします。
プロジェクトのコンサルティング中に、利用可能な内部の長さ、装置の幅と高さ、ターゲットの清浄度、給気面積、風量または風速の要件、濾過効率、電源および通信方法を提供することで、標準製品が適切かどうか、または非標準設計が必要かどうかを迅速に判断することができます。
関連コンテンツ
EFU FAQ とテクニカル サポート EFU装置ファンフィルターユニット 70mm超薄型EFU
結論： EFU 需要空気量は、有効空気供給面積と目標平均風速に基づいて計算できますが、計算値は単なる出発点にすぎません。実際の選定にはフィルター、ボックス、吸気口、排気口などの抵抗や機器の内部構造も考慮する必要があります。
