艾立工业卡扣式EFU是一款面向半导体设备、电子设备、光电设备及其他洁净设备应用的设备风机过滤单元。
产品将风机、高效过滤器与箱体集成于一体，通过风机驱动空气经过HEPA或ULPA过滤器，为设备内部或局部洁净区域提供过滤后的空气。
采用卡扣式过滤器固定结构，可根据产品结构进行过滤器拆装和维护。同时可根据项目需求配置不锈钢箱体、EC/AC风机、过滤器及控制方式。
获取产品方案
过滤器采用卡扣方式固定，可按照产品结构进行拆装和维护。
可根据项目需求配置SUS304镜面不锈钢箱体及相应表面处理。
过滤器采用卡扣方式固定，可按照产品结构进行拆装和维护。
根据实际洁净要求选择相应HEPA或ULPA过滤器。
卡扣式EFU采用卡扣结构连接过滤器与箱体。
在过滤器需要检查、维护或更换时，可按照产品结构解除卡扣并进行过滤器拆装。
这种结构将过滤器固定与拆装结合在卡扣结构中，可用于需要定期进行过滤器维护的设备应用。
过滤器维护流程
解除卡扣 → 取下过滤器 → 安装过滤器 → 固定卡扣
实际操作方式应根据具体EFU结构、安装方向以及现场维护条件确定。
根据项目要求，艾立工业卡扣式EFU可以采用SUS304镜面不锈钢箱体。
不锈钢材料适用于对设备材料、表面清洁和日常维护有相应要求的应用环境。
根据具体项目条件，也可以对箱体材料和表面处理方式进行配置。
可根据项目配置
SUS304不锈钢/SUS316不锈钢/其他金属材料/不同表面处理方式
具体材料需要结合使用环境、清洁方式及项目技术要求确定。
卡扣式EFU将风机与高效过滤器集成在设备箱体内。
设备运行时，风机驱动空气进入EFU内部，空气经过高效过滤器过滤后，从出风侧送入设备内部或目标洁净区域。
空气进入 → 风机驱动 → 气流组织 → HEPA/ULPA过滤 → 洁净空气送出
具体气流组织方式根据EFU结构、风机配置和设备安装条件确定。
参数项目 | 配置说明 |
|---|---|
产品名称 | 卡扣式EFU |
英文名称 | Clasp-Type EFU |
产品类型 | Equipment Fan Filter Unit |
箱体材质 | SUS304镜面不锈钢等 |
风机类型 | EC / AC |
过滤器类型 | HEPA / ULPA |
过滤等级 | H13 / H14 / U15等，根据项目要求配置 |
过滤器固定方式 | 卡扣式 |
控制方式 | 单台 / 群组 / 通信控制 |
通信功能 | 根据项目需求配置 |
产品尺寸 | 根据项目需求配置 |
安装方式 | 根据设备结构配置 |
进风方式 | 根据项目需求配置 |
出风方式 | 根据项目需求配置 |
电源 | 根据风机配置确定 |
应用领域 | 半导体、电子、光电、精密制造等 |
定制服务 | 支持 |
风机 → 电机 → 控制系统 → 钣金 → 过滤器 → FFU/EFU → 净化设备
艾立工业长期从事净化设备及相关产品的研发与生产，产品体系覆盖风机、电机、控制系统、钣金、过滤器、FFU、EFU及其他净化设备。
在EFU项目中，可以根据实际需求对风机、过滤器、箱体结构及控制系统进行产品配置和匹配。
EC/AC风机、直流电机、控制系统、HEPA过滤器、ULPA过滤器、FFU、EFU、风机箱、风淋室、洁净工作台、传递窗、洁净棚
按设备空间与洁净需求设计
艾立工业EFU专为半导体、光伏、锂电池、面板显示及电子设备等应用设计，将电机、风机、过滤器与控制系统集成于紧凑结构中，为设备内部提供稳定、可控的洁净空气。
适用于受限安装空间
可根据设备内部高度和安装位置进行结构匹配，提供超薄EFU方案。
风机、过滤器与气流结构协同设计
根据目标风量、风速及系统阻力匹配空气动力系统。
从电机、风机到控制系统
艾立工业建立了覆盖核心部件与整机装配的生产体系
根据设备，而不是让设备迁就标准产品
支持尺寸、风量、风速、过滤器、安装结构及控制系统定制。
在半导体、光伏、锂电池、面板显示及电子制造设备中，部分关键区域需要稳定、洁净的空气环境。
与单纯依赖集中式洁净室空气系统不同，EFU可以直接安装于设备内部或设备端，对目标区域提供局部洁净空气。
艾立工业EFU将风机、电机、过滤器和控制系统集成于紧凑结构中，并根据设备空间和实际工艺需求进行匹配。
不是简单缩小FFU，而是针对设备端应用重新进行结构与空气动力设计。
为风机提供稳定动力，可根据产品需求配置AC、EC或DC电机方案。
艾立工业优势：自产电机，电机方案灵活，成本可控。
根据目标风量、静压及安装空间进行匹配。
艾立工业优势：自产风机，精准匹配，性能稳定，交期有保障。
根据洁净要求配置HEPA、ULPA等过滤方案。
艾立工业优势：自有滤材产线，品质自控，同品质下价格更实惠。
支持调速、设备联动及通讯控制等功能。
艾立工业优势：控制系统自主开发，兼容性强，无中间加价。
根据设备安装空间、尺寸和接口要求进行设计。
艾立工业优势：自有钣金生产，非标定制灵活，综合成本更优。
艾立工业具备电机、风机、过滤器及控制系统等核心部件的研发与制造能力。
根据设备内部高度、宽度、安装位置及接口条件设计EFU结构。
综合考虑风量、静压、风速、过滤器阻力及气流分布。
可根据设备控制系统配置调速、PLC联动、RS485、Modbus等方案。
对风机、过滤器、控制系统及整机运行状态进行相应性能测试。
光刻机、刻蚀机、清洗机、涂胶显影设备等工艺设备的末端洁净送风
针对产尘量大、洁净度要求严苛的生产环境提供高效过滤保障
为贴片头微环境提供百级洁净度，有效杜绝微尘导致的虚焊与短路
晶圆和面板显示制造设备的洁净空气供给
艾立工业EFU以多年的洁净设备研发经验为核心，依托全产业链自产能力与深度定制化服务，致力于为高科技制造行业提供高效、可靠、智能的设备端空气净化解决方案。
卡扣式EFU是一种采用卡扣结构固定过滤器的设备风机过滤单元，将风机和HEPA/ULPA过滤器集成于设备中，可用于设备内部或局部洁净区域的空气过滤和送风。
卡扣用于连接过滤器和EFU箱体，在需要维护或更换过滤器时，可以按照产品结构解除卡扣进行拆装。
可以。根据项目要求，可以采用SUS304镜面不锈钢等材料。
可以。可以根据项目要求配置H13、H14等HEPA过滤器，也可以根据项目要求配置相应ULPA过滤器。
可以。产品可以根据项目要求配置EC或AC风机。
是否支持风速调节取决于具体风机和控制系统配置。采用相应EC风机及控制系统时，可以根据项目要求进行转速控制。
可以。根据项目控制系统配置，可以进行单台或群组控制。
可以根据项目要求配置相应通信控制方式。具体接口及通信协议需要结合实际项目系统确定。
可以。艾立工业可以根据设备安装空间、过滤器尺寸、风机规格、进出风方式及安装接口进行产品配置。
可以用于半导体设备内部或局部洁净区域，具体需要结合设备空间、风量、静压、过滤器及控制要求进行配置。
