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EFU设备风机过滤单元

艾立工业EFU设备风机过滤单元是一种面向自动化生产设备、精密加工设备及局部洁净区域的空气过滤与送风设备。EFU将风机、高效过滤器和箱体集成于一体,通过风机驱动空气经过HEPA或ULPA过滤器,为设备内部或指定区域提供经过过滤的空气。产品可根据安装空间、风量、静压、过滤器等级、风机类型、进出风方式及控制要求进行配置,适用于半导体、面板显示、光伏、锂电池、电子制造、光学、精密制造、生物医药等多种行业设备。
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艾立工业EFU设备端风机过滤单元 (9)

EFU设备端风机过滤单元

面向设备内部与局部洁净区域的空气过滤与送风单元


艾立工业EFU将风机、高效过滤器与箱体集成于一体,可根据设备空间、空气处理要求及控制需求进行产品配置。


适用于半导体设备、面板显示设备、光伏设备、锂电设备、电子制造设备、光学设备、精密制造设备及其他需要局部洁净空气处理的应用。


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核心特点


01|一体化结构

体化集 成


风机、箱体和高效过滤器集成于一个设备单元,适合设备内部或局部洁净空气处理。

02|稳定气流

风机、过滤器与气流结构协同设计


根据目标风量、风速及系统阻力匹配空气动力系统。

03|核心部件自产

从电机、风机到控制系统


艾立工业建立了覆盖核心部件与整机装配的生产体系

04|深度定制

根据设备,而不是让设备迁就标准产品


支持尺寸、风量、风速、过滤器、安装结构及控制系统定制。

艾立工业EFU设备端风机过滤单元 (7)

面向设备内部的洁净空气处理


EFU,即Equipment Fan Filter Unit,是一种设备端风机过滤单元。


与主要用于洁净室吊顶或洁净区域送风的FFU不同,EFU更多用于设备内部、设备上方或局部洁净区域,通过风机驱动空气经过高效过滤器,为目标空间提供过滤后的空气。

艾立工业EFU可以根据不同设备的安装空间和空气处理要求进行配置,在满足基本安装条件的基础上,对产品尺寸、风机、过滤器、控制方式以及进出风结构进行调整。

产品适用于自动化生产设备、精密加工设备、检测设备、洁净生产设备以及其他存在局部空气洁净需求的设备。

EFU工作原理

EFU内部风机运行后,将周围空气吸入设备内部,空气经过高效过滤器进行过滤,再通过出风侧进入设备内部或目标洁净区域。

工作流程

环境空气 → EFU进风 → 风机驱动 → HEPA/ULPA过滤 → 洁净空气输出 → 设备内部/局部洁净区域

通过将风机和高效过滤器集成在设备端,可以根据实际设备结构形成相对独立的局部空气处理单元。

具体气流方向、出风形式和空气组织方式根据EFU结构及设备安装要求确定。

EFU设备风机过滤单元产品参数

基础结构参数

产品名称

EFU设备风机过滤单元

英文名称

Equipment Fan Filter Unit

产品类型

设备风机过滤单元

产品结构

标准型,紧凑型,超薄型,定制型

箱体材质

冷轧钢板,镀锌钢板,铝合金,SUS304不锈钢,SUS316不锈钢

表面处理

喷涂,烤漆,粉末涂层,不锈钢表面处理,其他定制

产品尺寸

标准规格,非标尺寸,根据设备安装空间定制

产品颜色

根据项目要求配置

安装方式

设备内置安装,设备顶部安装,吊装,嵌入式安装,其他定制方式

安装接口

标准接口,法兰接口,设备定制接口

进风方式

顶部进风,侧面进风,底部进风,其他定制进风方式

出风方式

顶部出风,侧面出风,底部出风,其他定制出风方式

检修方式

根据产品结构配置

定制服务

支持

风机系统参数

风机类型

EC风机,AC风机,DC风机,其他项目配置

电机类型

EC电机,AC电机,DC电机,其他项目配置

风机形式

离心风机等,根据具体型号配置

风机数量

单风机,多风机,根据产品结构配置

风量

根据风机型号及项目要求配置

静压

根据风机型号及项目要求配置

风速

根据具体型号及项目要求配置

风机功率

根据风机型号配置

风机转速

根据风机型号及控制要求配置

调速方式

多档调速,无级调速,通信调速,控制系统调速

电源

AC220V,AC380V,DC24V,DC48V及其他项目要求

频率

50Hz,60Hz及其他项目要求

运行方式

连续运行,定时运行,联动运行,系统控制

风机控制

单台控制,群组控制,集中控制,通信控制

注:具体风机类型、电压、功率、风量、静压及转速应根据EFU具体型号和项目要求确定。

过滤系统参数

过滤器类型

HEPA,ULPA

过滤等级

H13,H14,U15,U16,U17

过滤器尺寸

标准规格,非标尺寸,项目定制尺寸

过滤器厚度

根据型号及过滤器规格配置

过滤器框材

铝合金,镀锌钢板,不锈钢及其他可选材料

滤料类型

根据过滤等级及过滤器型号配置

密封方式

根据过滤器结构配置

安装方式

卡扣式,压紧式,法兰式,其他定制结构

更换方式

设备内部更换,侧面更换,底部更换,其他定制方式

过滤器配置

根据洁净要求及项目技术要求配置

过滤器等级根据设备洁净要求、空气处理要求和项目技术参数进行选择。

多种控制与通信方式可选

控制方式

单台控制,群组控制,集中控制,通信控制

调速方式

多档调速,无级调速,通信调速,控制系统调速

通信方式

根据项目控制系统配置

控制接口

根据控制系统及项目要求配置

通信接口

根据项目控制系统配置

运行控制

启停控制,转速调节,运行状态监控,系统联动

系统集成

可根据设备控制系统进行配套配置

运行方式

连续运行,定时运行,联动运行,系统控制

EFU可配置项目

定制项目

可选配置

定制项目

可选配置

产品尺寸

标准规格,非标尺寸,项目定制尺寸

箱体材料

冷轧钢板,镀锌钢板,铝合金,SUS304不锈钢,SUS316不锈钢

风机类型

EC,AC,DC,根据项目要求配置

过滤器

HEPA,ULPA

过滤等级

H13,H14,U15,U16,U17

进风方式

顶部,侧面,底部,定制

出风方式

顶部,侧面,底部,定制

安装方式

嵌入式,设备内置,顶部安装,吊装,定制

控制方式

单台,群组,集中,通信

电源

AC220V,AC380V,DC24V,DC48V及其他项目要求

表面处理

喷涂,烤漆,粉末涂层,不锈钢表面处理,其他定制

安装接口

标准接口,法兰接口,设备定制接口

参数说明

以上参数为艾立工业EFU产品的主要配置范围。具体产品的尺寸、风量、静压、风速、功率、转速、电源、过滤器规格及控制方式,根据具体EFU型号、设备安装条件和项目技术要求确定。

产品选型——根据设备需求选择EFU配置

EFU并非只有单一规格,不同设备在安装空间、风量、静压、过滤器和控制系统方面存在差异。可以按照以下流程进行选型:

确定安装空间 → 确定风量/静压 → 选择风机 → 选择过滤器 → 确定进出风方式 → 确定控制方式 → 确定材料与结构

01|安装空间

02|风量与静压

03|选择风机

04|选择过滤器

确认EFU安装位置、长度、宽度、高度以及维护空间。

根据设备内部空气处理需求以及系统阻力确定风量和静压要求。

根据风量、静压、电源和控制要求选择EC、AC或相应风机配置。

根据洁净要求选择HEPA或ULPA过滤器。H13 / H14 / U15 / U16 / U17可选

05|确定进出风方式

06|确定控制方式

07|确定材料与结构

08|确认定制要求

根据设备内部结构选择顶部、侧面、底部或定制进出风结构。

根据设备自动化要求选择单台、群组、集中或通信控制。

根据设备环境、安装方式和维护要求选择箱体材料、表面处理和结构形式。

根据设备实际需求确认尺寸、接口、过滤器、风机及控制等配置。

艾立工业EFU应用场景——EFU适用于多种行业设备

EFU主要面向设备内部及局部洁净空气处理需求,可根据不同行业设备的空间、空气处理和洁净要求进行配置。

半导体

面板显示

光伏

锂电池

晶圆制造、封装、检测及半导体生产设备。

LCD、OLED及其他平板显示相关生产设备。

太阳能电池、组件及相关生产设备。

电芯制造、装配、检测及相关设备。

电子制造

光电

光学

精密制造

SMT、PCB、电子元器件及精密电子装配设备。

光电器件、显示器件及相关生产设备。

镜片、光学元件、光学检测及精密设备。

精密仪器、精密机械、精密模具及自动化设备。

生物医药

医疗器械

食品

化妆品

部分制药、实验及洁净生产设备。

医疗器械、耗材及相关洁净生产设备。

食品加工、洁净包装及相关生产设备。

化妆品生产、灌装及包装设备。

科研实验室

新能源

汽车电子

3C电子

实验室设备、检测仪器及局部洁净环境。

新能源材料及相关自动化生产设备。

汽车电子元器件及相关精密生产设备。

手机、电脑、消费电子及相关精密制造设备。

航空航天

其他精密行业

自动化设备

洁净设备

航空航天精密零部件及相关洁净制造设备。

精密仪器、元器件及其他洁净制造应用。

自动化生产、检测、装配等设备。

洁净工作站、局部洁净设备及相关空气处理设备。

从核心部件到EFU的配套生产能力

艾立工业拥有净化设备相关产品的生产和配套能力,产品体系覆盖风机、电机、控制系统、钣金、过滤器、FFU、EFU及其他净化设备。

在EFU项目中,可以围绕风机、过滤器、箱体结构和控制系统进行产品配置和匹配。

主要产品体系

EC/AC风机 → 电机 → 控制系统 → HEPA/ULPA过滤器 → FFU → EFU → 其他净化设备

通过相关产品的配套生产能力,为不同EFU项目提供从核心部件到整机产品的配置支持。

EFU常见问题

EFU是什么?

EFU是Equipment Fan Filter Unit的缩写,即设备风机过滤单元,主要用于设备内部或局部洁净区域的空气过滤和送风。

EFU和FFU有什么区别?

FFU通常用于洁净室吊顶、洁净棚等洁净空间的空气过滤与送风;EFU主要面向设备内部、设备端或局部洁净区域。具体产品形式需要结合实际应用和安装方式确定。

EFU可以使用HEPA过滤器吗?

可以。根据项目洁净要求,可以配置相应HEPA过滤器。

EFU可以使用ULPA过滤器吗?

可以。对于有相应洁净要求的应用,可以根据项目要求配置ULPA过滤器。

EFU可以使用EC风机吗?

可以。艾立工业EFU可以根据项目风量、静压和控制要求配置EC风机。

EFU尺寸可以定制吗?

可以。可以根据设备安装空间、风机、过滤器及接口要求进行尺寸和结构配置。

EFU适合半导体设备吗?

可以。EFU可用于半导体设备内部或局部洁净区域,具体配置需要根据设备空间、风量、静压和过滤器要求确定。

EFU可以用于面板设备吗?

可以。LCD、OLED等面板相关生产设备存在局部洁净空气处理需求时,可以根据设备结构进行EFU配置。

EFU可以用于光伏和锂电设备吗?

可以。EFU可以根据光伏、锂电生产设备的具体安装空间和空气处理要求进行配置。

EFU可以用于其他行业吗?

可以。EFU并不局限于单一行业,只要设备或局部区域存在相应的空气过滤和洁净送风需求,都可以根据具体条件评估产品配置。

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艾立工业可以根据设备结构和项目要求,对EFU的尺寸、风机、过滤器、箱体结构、进出风方式及控制系统进行配置。

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