Как сотрудничать с химической фильтрацией и фильтрацией частиц в мастерской ЖК-дисплеев?

Производство ЖК-дисплеев, включая TFT-матрицы, формование коробок, модулей и другие процессы, требования к чистоте окружающей среды в основном сосредоточены на контроле над частицами. Цеха обычно оборудуются секциями фильтрации первичной, средней и высокой эффективности, а некоторые даже имеют ФФУ по всему потолку. Индекс частиц обычно контролируется относительно стабильно.

Но если вы управляете только частицами, некоторые проблемы все равно возникнут. Например, в некоторых процессах используются органические растворители, фоторезисты и чистящие средства. Эти материалы испаряются в воздух, образуя газообразные загрязнения, которые не могут быть остановлены фильтрами твердых частиц. Со временем он может накапливаться в оптических компонентах оборудования, на поверхностях изделий или в вентиляционных каналах. Поэтому система фильтрации в цехе ЖК-дисплеев должна учитывать контроль частиц и контроль газообразных загрязнений отдельно, а затем согласовывать их в системе. Подробную информацию о логике разделения труда см. Обсуждение разницы между химическими фильтрами и фильтрами HEPA .

Определить нагрузки по процессам

Объекты загрязнения, образующиеся в результате различных процессов в цехе ЖК-дисплеев, различны, и методы координации необходимо рассматривать отдельно.

Процесс массива. Включает фотолитографию, травление, нанесение пленки и другие этапы. Фоторезист, проявитель и травильный газ могут выделять пары органических веществ или кислотные компоненты. Требования к контролю частиц высоки, и газовое загрязнение также требует внимания.

Процесс бокса. Такие операции, как капание жидких кристаллов, герметизация рамы клеем, выравнивание и ламинирование и т. д. Клеи и жидкокристаллические материалы могут выделять следовые количества органических веществ. Этот процесс чувствителен как к частицам, так и к газам.

Модульный процесс. Крепление поляризатора, привязка микросхемы драйвера и сборка подсветки. При использовании клеев и чистящих средств могут выделяться летучие органические соединения. Требования к контролю частиц немного ниже, чем при массивном процессе, но газовое загрязнение может повлиять на внешний вид и надежность.

Уборка и хранение материалов. Испарение чистящего средства и хранение материалов на открытом воздухе могут продолжать выделять газообразные компоненты. Эту часть источника легко упустить из виду. Конкретные методы расследования см. следует ли проводить отбор проб воздуха перед выбором химического фильтра . Обсудите,

Определите слои и пути фильтра

После выявления объектов загрязнения подумайте, как расположить секции фильтра в системе.

Обычно фильтрацию частиц ставят на первое место, а химическую – на последнюю. Начальное и среднее воздействие в первую очередь улавливают пыль и уменьшают запыленность химических сред. Терминал высокой эффективности или ULPA отвечает за окончательный контроль частиц. Секция химической фильтрации размещается после промежуточной эффективности и перед конечной эффективностью или интегрирована с конечной эффективностью в FFU. Конкретную конфигурацию см. Обсуждение разделения труда между химическими фильтрами и фильтрами первичной очистки .

Расположение секции химической фильтрации зависит от источника загрязнения. Если газообразные загрязнения происходят в основном из наружного свежего воздуха, проще установить секцию химической фильтрации в установке приточного воздуха. Если выбросы в основном происходят в результате внутренних процессов, их можно обрабатывать на пути рециркуляционного воздуха или циркуляции FFU. Конкретные различия см. Зачем МАУ необходимо настраивать секцию химического фильтра и Обсуждение того , с какими локальными загрязнениями справляется ФФУ плюс химический фильтр .

Последовательность не является фиксированной и должна быть подтверждена с учетом средней потери порошка, выделения газа и структуры технического обслуживания. Некоторые химические среды могут образовывать следы пыли. Если разместить ее за высокоэффективным терминалом, эта часть пыли попадет непосредственно в мастерскую. Поставьте это выше эффективности: эффективность может играть сдерживающую роль. Конкретные различия см. Обсуждение того , следует ли устанавливать химический фильтр FFU до или после HEPA .

Распределение объема воздуха и сопротивление следует рассчитывать вместе. Добавление секции химической фильтрации увеличит общую устойчивость системы. Сможет ли оригинальный вентилятор поддерживать заданный объем воздуха, необходимо рассчитывать на основе фактической рабочей точки. Конкретные методы см. Обсуждение того , насколько добавочное сопротивление химического фильтра увеличит потребление электроэнергии вентилятором .

Устанавливайте способы приемки отдельно

Частицы и газ — это два типа индикаторов, и приемку необходимо производить отдельно.

Принятие стороны частицы. Для терминала высокой эффективности или ULPA подтверждение эффективности, проверка герметичности установки и обнаружение утечек на месте выполняются в соответствии с соответствующим уровнем. Методы обнаружения и стандарты оценки реализованы в соответствии с требованиями фильтров твердых частиц. Можно ссылаться Описание высокоэффективного фильтра HEPA .

Приемка газовой стороны. Секция химической фильтрации проводит испытания концентрации на входе и выходе на основе целевых компонентов для подтверждения эффекта удаления. Точки отбора проб должны быть репрезентативными для воздуха до и после секции фильтрации, а метод обнаружения должен подходить для целевого газа. Конкретные методы см. Обсуждение точек отбора проб для проверки работоспособности химических фильтров .

Основа обслуживания другая. Замена противосажевого фильтра зависит от разницы давлений и результатов обнаружения утечек; замена секции химического фильтра зависит от потребления мощности по переработке газа, и очевидного изменения разницы давлений может не быть. Ритмы обслуживания этих двух систем различны, и реестры должны вестись отдельно. Конкретные различия см. Обсуждение возможности замены химического фильтра из-за разницы давлений .

Вы не можете использовать данные о частицах только для оценки воздействия газа, а также не можете только измерять газ и игнорировать частицы. Оба типа индикаторов архивируются отдельно, что позволяет быстро обнаружить проблемы.

Обратите внимание на межпроцессное влияние

В цехе ЖК много процессов и организация воздушных потоков сложна. Конфигурация фильтрации должна учитывать взаимодействие между процессами.

Общий возвратный воздух может вызвать перекрестное загрязнение. Если разные процессы используют одну и ту же систему возвратного воздуха, газообразные компоненты, выделяемые из одного процесса, могут попасть в другой процесс через возвратный воздух. В это время необходимо проверить взаимосвязь между перегородкой возвратного воздуха и перепадом давления и при необходимости добавить секцию химической фильтрации в путь возвратного воздуха. Подробную информацию см. Дискуссия о том, как запахи в многоэтажных заводских зданиях взаимодействуют друг с другом и как следует разделять химическую фильтрацию .

Повторная оценка после корректировок процесса. Если в ходе определенного процесса заменяется чистящее средство, фоторезист или клей, то выпускаемые компоненты могут измениться. Необходимо еще раз проверить, пригодна ли исходная секция химической фильтрации. Конкретные методы см. Дискуссия о том, почему химические фильтры следует выбирать в зависимости от целевых газов .

Сторона устройства может быть защищена индивидуально. Для оборудования или рабочих станций, которые особенно чувствительны к газовым загрязнениям, на воздухозаборном тракте оборудования может быть установлена ​​местная химическая фильтрация. Информацию о приложениях на стороне устройства см. Дискуссия о том, почему EFU нуждается в поддержке химических фильтров .

Пример оценки проекта

После того, как определенная мастерская по производству ЖК-модулей работала в течение определенного периода времени, на поверхности некоторых продуктов появились неизвестные туманные следы, но обнаружение частиц было нормальным.

Расследование подтвердило, что в мастерской использовался какой-то клей, который в процессе отверждения выделял следы органических паров и осаждался на поверхности поляризатора, образуя туманные следы. Системы фильтрации частиц не способны обрабатывать этот тип газа.

Направление корректировки: добавить секцию химической фильтрации органических паров на пути возврата воздуха модульного процесса и усилить местную вытяжку в точке использования клея. Перед настройкой секции фильтра были проверены концентрация органических паров, объем воздуха, а также температурно-влажностный режим. После регулировки туманные следы на поверхности уменьшились, а индекс частиц не пострадал.

Этот случай иллюстрирует: химическая фильтрация и фильтрация частиц в цехе ЖК-дисплеев должны быть разделены в зависимости от объектов загрязнения и не могут заменять друг друга. с участием При выборе серии химических фильтров рекомендуется предоставлять поставщику для проверки данные о загрязнении, чувствительных объектах и ​​состояниях системы каждого процесса.

Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле

О пакете фильтрации ЖК-дисплеев для мастерских Aili Industrial

Для контроля частиц и газовых загрязнений в цехе ЖК-дисплеев эти два типа требований должны быть подтверждены отдельно на этапе планирования, а затем единообразно проверены на уровне системы.

Aili Industrial имеет независимые производственные мощности по производству фильтров, двигателей, вентиляторов, систем управления и обработки листового металла, а также может предоставить серии фильтров HEPA/ULPA и химических фильтров. Для проектов, включающих контроль как твердых частиц, так и газов, данные о загрязнении, объектах защиты, объеме воздуха и пространстве для установки каждого процесса могут быть объединены, чтобы помочь в проверке конфигурации и разделении труда секции фильтра. Когда фильтр сочетается с MAU, FFU, EFU и другим оборудованием, сопротивление, интерфейс и методы обслуживания могут быть подтверждены единообразно.

Сопутствующие товары:Серия химических фильтров、HEPA высокоэффективный фильтр、FFU поставляется с химическим фильтром . Во время запроса предоставляется отдельный список целей контроля частиц и газов, чтобы помочь подтвердить подходящее комбинированное решение. Конкретная конфигурация определяется технической документацией и результатами испытаний, подтвержденными проектом.