EFEM 用に U15 または U16 を選択するにはどうすればよいですか?ウエハエリアの風量と均一性の検証

EFEM による U15 または U16 の選択は、プロセスの目的、テスト基準、風量分布、抵抗、材料要件に基づいて確認する必要があります。レベルが高くても、ウェーハ領域全体のパフォーマンスが必ずしも向上するわけではありません。 U15 と U16 の違いは効率レベルにありますが、ウェーハ領域での EFEM のパフォーマンスはフィルター レベルだけではなく、空気供給の均一性、空気量が十分であるかどうか、機構が動作しているときの空気流の安定性、材料のガス放出などにも依存します。これらの要因が総合して、輸送中にウェーハが保護されるかどうかを決定します。 1段階上のレベルを選択すると抵抗が増加し、風量が減少する場合があります。システムに対応するマージンがない場合、ウェーハ領域のパフォーマンスに影響を与える可能性があります。アイリ産業はEFU機器側のファンフィルタユニットは、 EFEMの風量要件やスペース条件に応じてグレードやファン構成を適合させることができます。ULPA超高性能フィルターはU15/U16ギアを提供します。EFEM構造に合わせて超薄型EFUや小型モデルも構成可能です。

1. まず装置の要件を明確にします: ウェーハ面積の目標、動作ステータス、および戻り空気の条件

ウエハ領域のパーティクルターゲット、キャリアとドアの状態、機械的動作、戻り空気と排気をリストし、テスト位置と動作モードを確認します。

U15 または U16 を選択する前に、まず EFEM が何を達成する必要があるかを明確にする必要があります。ウェーハ領域でのパーティクル制御の対象となる粒子サイズと濃度レベル、テストが行​​われる条件 (静的または動的)、機械的動作とキャリアドアの開口部が気流にどの程度影響するか、戻り条件と排気条件は何か - これらの入力により、レベル要件と空気量要件が決まります。アイリ産業はHEPA/ULPAフィルターを選択する際は、粒子径と保護範囲に応じてギアをご確認ください。EFU機器側のファンフィルターユニットをマッチングする場合は、EFEMの動作状況に応じて必要風量をご確認ください。非標準ULPAフィルタプロジェクトでは、ウエハエリア構成に応じた設置条件を確認できます。レベルとフィルタリング要件の関係は、次のとおりです。ISO清浄度レベルの比較。

2. 完全な構成を比較します。同じ風量の下でフィルターエレメント、ファン、およびシールインターフェースを確認します。

グレードを直接変更するのではなく、同じ風量条件でフィルターエレメントのデータ、ファンマージン、有効断面積、シール界面を確認し、必要に応じてサイズや構造を調整してください。

U15 を U16 に置き換えると効率は向上しますが、通常は抵抗も増加します。ファンマージンが不足して風量が低下すると、ウエハエリアのエアフロー範囲が悪くなる場合があります。比較する場合は、同じ目標風量で、この風量におけるU16の抵抗はどのくらいか、既存のファンが維持できるか、有効濾過面積は十分か、シール界面は互換性があるかなどを確認する必要があります。アイリ産業はULPA超高性能フィルタの選定にあたり、目標風量に応じたU15、U16の抵抗データをご用意しております。FFUファンフィルターユニットとEFU機器側のファンフィルタユニットは抵抗変化により動作点を確認できます。FFUコンピュータグループ制御システムは風量と動作パラメータを記録し、比較すると口径は一貫しています。フィルタ抵抗とファンマッチングの関係は以下を参照してください。HEPA FAQ と選択ガイド。

3. 実際の動作下でのウェーハ領域の空気量、均一性、保護を検証します。

実際の操作下で設置の完全性、排気口の均一性、保護境界を確認し、必要に応じて AMC および材料放出データを追加します。

レベルが決定された後、検証は 3 つの側面をカバーする必要があります。取り付けの完全性 (フィルターとボックスの間のシールが効果的かどうか)、空気出口の均一性 (ウェーハの経路に沿った風速分布が一貫しているかどうか)、および実際の動作下での保護 (ロボットが移動し、キャリア ドアが開閉するときのウェーハでの粒子濃度) です。 AMC および材料のガス放出要件はプロセスごとに個別に評価されるため、ULPA 評価から推測することはできません。アイリ産業はEFU装置側でファンフィルタユニットを支持する場合、EFEM構造により空気の吹き出し方向や均一性の状態を確認することができます。FFUコンピュータグループ制御システムは、動作風量と機器の状態を記録し、検証中に実際の動作と比較できます。PTFE HEPA/ULPA フィルターは、低ガス放出要件について評価できます。ウェーハ面積検証方法については、こちらをご参照ください。ULPA超高性能フィルターFAQと選定ガイド。

4. 取り付け後に U16 サンプルの風量が不十分な場合は、完全な機械を再調整する必要があります。

設置後に U16 サンプルの風量が不十分な場合は、機械全体を再調整する必要があり、フィルターエレメントの効率が認定された結果が保持されません。空気量が不十分であると、空気流の適用範囲と粒子除去能力が低下し、ウェーハ領域の実際の保護が期待に応えられない可能性があります。

アイリ産業はEFU装置エンドファンフィルタユニットEFEMプロジェクトでは、更新後に風量が不足する場合、フィルタ面積、ファン構成、排気口構造の3つの観点から調整計画を評価します。小型 EFU 機器ファン フィルタ ユニットは、スペースが限られている場合にさまざまな構成オプションを提供します。非標準ULPAフィルタの構造は、EFEM空間に応じて調整できます。バージョンアップ後の風量調整方法をご参照ください。EFU FAQ とテクニカル サポート。

5. 関連する質問と回答

U15 は必ずしも U16 ほど EFEM に適していないのでしょうか?
適用可能性はプロセスとシステムのマッチングに依存し、グレード番号だけで分類することはできません。

EFEMがU16を選択した後に風量が低下した場合はどうすればよいですか?
ファンのマージンとフィルター面積を確認し、効率指数を維持するだけでなく、フィルター面積、ファン構成、または排気口構造から調整を行う必要があります。

EFEM の AMC 要件は ULPA グレードで解決できますか?
できません。 ULPA は粒子濾過、AMC を担当し、材料のガス放出要件はプロセスごとに個別に評価する必要があります。

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アイリ産業はEFU機器側のファンフィルタユニットは、 EFEMの風量要件やスペース条件に合わせてグレードやファン構成を適合させます。ULPA超高性能フィルターはU15/U16ギアを提供し、目標風量に応じた抵抗データを提供します。超薄型EFUおよび小型モデルはEFEM構造に従って構成されています。HEPA/ULPAフィルターの選択は、ギアを確認するために判断された粒子サイズと保護範囲に基づいています。EFU装置側のファンフィルタユニットを装備し、EFEM動作状況に応じた要求風量を確認します。非標準ULPAフィルタープロジェクトでは、ウェーハエリア構造に応じて設置条件を確認します。FFUファンフィルターユニットとEFU機器側ファンフィルターユニットには、抵抗変化に応じてチェックする動作点が装備されています。FFU コンピュータグループ制御システムは、風量と動作パラメータを記録します。EFU装置側のファンフィルタユニットとEFEMの構造を照合し、空気の吹き出し方向や均一性の状態を確認します。FFUコンピュータ群制御システムは、運転風量や機器の状態を記録し、実際の動作と比較して検証します。PTFE HEPA/ULPA フィルターは、低ガス放出要件について評価されています。バージョンアップ後に風量が不足する場合は、フィルター面積、ファン形状、排気口構造の3点から調整を行います。小型 EFU 機器のファン フィルター ユニットは、さまざまな構成オプションで利用できます。プロセスの目標、設置図面、動作条件、および受け入れ要件を提供し、さらに ULPA 標準仕様、非標準インターフェース、サンプル、バッ​​チマッチングについても伝達できます。具体的なパラメータとテスト範囲は、確認されたモデルと技術文書に基づいています。