Que signifie la pollution atmosphérique par l’AMC ?

AMC est l'abréviation de Airborne Molecular Contamination, généralement appelée pollution moléculaire de l'air en chinois.

Il s’agit de polluants présents sous forme moléculaire dans l’air. Contrairement aux particules, ces contaminants se situent au niveau moléculaire, invisibles à l’œil nu et indétectables par les compteurs de particules conventionnels. Ils peuvent provenir de l’air extérieur, des matériaux de traitement, des rejets des équipements ou des agents de nettoyage, et leurs composants comprennent des gaz acides, des gaz alcalins, des vapeurs organiques, des dopants, etc.

Ce n’est pas parce que le nombre de particules dans la salle blanche est conforme aux normes que l’AMC est également conforme aux normes. Un système HEPA ou ULPA peut très bien contrôler les particules, mais a peu de capacité à traiter les polluants gazeux. Si un processus est sensible à certains contaminants moléculaires, cela devra être évalué et contrôlé individuellement.

Quelles sont les sources communes ?

Les sources d’AMC sont relativement complexes et ne proviennent souvent pas d’un seul canal.

air extérieur. Les émissions industrielles, les gaz d'échappement du trafic et les installations environnantes peuvent apporter des gaz acides, des matières organiques ou d'autres composants. L'emplacement de l'entrée d'air frais et l'environnement environnant affectent directement la quantité d'air frais introduit.

Matériaux artisanaux. Les produits de nettoyage, solvants, photorésists, adhésifs, lubrifiants, etc. peuvent s'évaporer pendant l'utilisation. Différents matériaux ont des composants et des quantités de rejet différents, qui doivent être analysés en conjonction avec des processus spécifiques.

Libération de l'appareil. Les matériaux, joints, câbles et revêtements à l'intérieur de l'équipement peuvent libérer des traces de matière organique aux températures de fonctionnement. Ces sources sont facilement négligées, mais peuvent avoir un impact sur les processus de précision.

activités du personnel. L'haleine, la sueur, les cosmétiques et les fibres des vêtements du personnel peuvent introduire ou produire certains composants gazeux.

Nettoyage et entretien. L'utilisation de désinfectants, de nettoyants et les opérations de maintenance peuvent augmenter temporairement la concentration de certains gaz.

Lors de l’identification des sources, utilisez une combinaison d’analyses des matériaux et du flux d’air, et pas seulement des odeurs. Certains ingrédients AMC n'ont pas d'odeur évidente mais peuvent néanmoins affecter le processus.

Pourquoi les objectifs du processus sont plus importants

Le même gaz a des effets différents sur différents produits.

Les processus liés à la photolithographie peuvent se concentrer sur les composants alcalins (tels que l'ammoniac), car les substances alcalines peuvent affecter l'effet d'exposition de la résine photosensible.

La protection des équipements électroniques peut concerner les gaz corrosifs, tels que les composés contenant du soufre, les chlorures, etc. Ces composants peuvent affecter la fiabilité des lignes et des contacts métalliques.

Les optiques de précision peuvent être préoccupées par les dépôts organiques et certaines substances volatiles peuvent former un film sur la surface de la lentille.

La fabrication de semi-conducteurs peut concerner des dopants (tels que des composés de bore et de phosphore), et leur présence à l'état de traces peut affecter les performances électriques du dispositif.

Par conséquent, les projets de contrôle devraient être construits autour d’objets sensibles réels plutôt que de poursuivre un indicateur AMC général. Différentes zones de processus et différents équipements peuvent avoir une sensibilité complètement différente à l'AMC et aux composants préoccupants. Pour des plans de contrôle spécifiques, veuillez vous référer à la gamme de produits filtres chimiques . Description de

Comment connecter la détection et le filtrage

Pour contrôler l'AMC, vous devez d'abord comprendre « quoi mesurer » et « quoi contrôler ».

Identifiez les ingrédients à tester. S'agit-il d'un gaz acide, d'un gaz alcalin, d'une substance organique ou d'un dopant spécifique ? Les méthodes d'échantillonnage, les instruments d'analyse et les limites de détection varient selon les composants.

Déterminez la plage de concentration. S'agit-il d'un niveau environnemental normal ou doit-il être contrôlé à une concentration extrêmement faible ? La plage de concentrations détermine le choix de la méthode de détection et la conception du système de filtration.

Sélectionnez un point d'échantillonnage. L'entrée d'air frais, l'air repris, les postes de travail clés et l'intérieur des équipements reflètent chacun la situation de pollution dans différents maillons. L'échantillonnage apparié des entrées et des sorties aide à déterminer l'efficacité du filtrage.

Déterminez ensuite le plan de filtrage. En fonction de la composition cible, de la concentration, du volume d'air et des exigences de sortie, sélectionnez le média filtrant chimique et la méthode de configuration correspondants.

Les COVT peuvent observer la tendance d'une certaine pollution organique, mais ils ne peuvent pas représenter les gaz acides, l'ammoniac et toute la pollution moléculaire. Si le projet comporte des exigences concernant des ingrédients spécifiques, ils doivent être testés séparément. impliquant des filtres chimiques de type caisson MAU , les points de prélèvement doivent couvrir l'entrée et la sortie. Pour les projets de traitement de l'air neuf avec

Plus d'un moyen de contrôle

La filtration chimique est un moyen important de contrôle de l’AMC, mais ce n’est pas le seul.

Contrôle des sources. Le choix de matériaux à faibles rejets, l’amélioration des processus et le renforcement de la ventilation locale peuvent réduire la génération d’AMC à partir de la source. C'est souvent plus économique que le traitement terminal.

Dilution aérée. L'augmentation du volume d'air frais ou du nombre de renouvellements d'air peut réduire la concentration, mais la consommation d'énergie est élevée et peut ne pas suffire à certains besoins de faible concentration.

Filtration chimique. Sélectionnez le média approprié pour le gaz cible et configurez une section de filtre sur le chemin d'écoulement du gaz. Convient à la gestion de la pollution à faible concentration et à libération prolongée.

Optimisation de l'organisation des flux d'air. Aménager correctement les voies d'alimentation, de retour et d'évacuation de l'air pour éviter l'accumulation de polluants dans les zones sensibles.

Dans les projets réels, ces méthodes doivent généralement être utilisées en combinaison. Il est difficile de résoudre tous les problèmes AMC avec une seule méthode. Pour les méthodes de configuration spécifiques, veuillez vous référer à FFU avec filtre chimique ou Une explication de la différence entre les filtres chimiques et les filtres HEPA .

Exemple de jugement de projet

Une certaine zone d'équipement a réussi le test de particules, mais une contamination inconnue est apparue à la surface du produit.

L'inspection préliminaire n'a révélé aucun problème de particules. Des tests plus approfondis ont révélé des traces de vapeurs organiques dans l'air, provenant des matériaux d'étanchéité et des lubrifiants à l'intérieur de l'équipement. Ces composés organiques sont lentement libérés aux températures de fonctionnement et se déposent à la surface du produit.

Direction du traitement : confirmez d'abord les principaux composants de la pollution, puis évaluez l'ajout d'une section de filtre chimique appropriée au chemin d'alimentation en air de l'équipement, ou le remplacement de matériaux à faible rejet. Le système de filtration des particules reste inchangé car il n’a pas la capacité de gérer ce type de contamination.

Ce cas montre que les particules qualifiées ne signifient pas que l’air est bon. Les processus sensibles à l’AMC nécessitent des plans de détection et de contrôle distincts.

Points clés pour le contrôle de sélection et de réception

À propos du package de contrôle AMC d'Aili Industrial

Le contrôle AMC implique de nombreux liens, depuis l'identification et la détection de la pollution jusqu'aux solutions de filtration, et il est nécessaire de faire correspondre les exigences du processus avec les conditions du système.

Aili Industrial dispose de capacités de fabrication indépendantes dans les domaines des filtres, des moteurs, des ventilateurs, des systèmes de contrôle et du traitement de la tôle, et peut fournir des séries de produits de filtres chimiques et des équipements d'alimentation en air de support. Pour les projets nécessitant un contrôle AMC, le gaz cible, la plage de concentration, le volume d'air et les conditions d'installation peuvent être combinés pour faciliter la vérification de la configuration de la section de filtre. Lorsque le filtre est associé à FFU, MAU et autres équipements, les méthodes de résistance, d'interface et de maintenance peuvent être uniformément confirmées.

Produits associés :Série de produits de filtres chimiques、Filtre chimique boîte MAU、FFU est livré avec un filtre chimique . Fournir une liste des contaminants cibles, des exigences de test et des conditions du système au cours de l'enquête aidera à confirmer la configuration appropriée. La sélection spécifique est soumise aux documents techniques et aux résultats d'essais confirmés par le projet.