Was bedeutet AMC-Belastung in der Luft?

AMC ist die Abkürzung für Airborne Molecular Contamination, die auf Chinesisch üblicherweise als molekulare Luftverschmutzung bezeichnet wird.

Dabei handelt es sich um Schadstoffe, die in molekularer Form in der Luft vorkommen. Im Gegensatz zu Partikeln liegen diese Verunreinigungen auf molekularer Ebene vor, sind für das bloße Auge unsichtbar und mit herkömmlichen Partikelzählern nicht nachweisbar. Sie können aus der Außenluft, Prozessmaterialien, Gerätefreisetzungen oder Reinigungsmitteln stammen und zu ihren Bestandteilen gehören saure Gase, alkalische Gase, organische Dämpfe, Dotierstoffe usw.

Nur weil die Anzahl der Partikel im Reinraum dem Standard entspricht, heißt das nicht, dass auch das AMC dem Standard entspricht. Ein HEPA- oder ULPA-System kann Partikel sehr gut kontrollieren, ist jedoch kaum in der Lage, gasförmige Schadstoffe zu behandeln. Reagiert ein Prozess empfindlich auf bestimmte molekulare Verunreinigungen, muss dies individuell beurteilt und kontrolliert werden.

Was sind die gemeinsamen Quellen?

Die AMC-Quellen sind relativ komplex und stammen oft nicht aus einem einzigen Kanal.

Außenluft. Industrieemissionen, Verkehrsabgase und umliegende Anlagen können saure Gase, organische Stoffe oder andere Bestandteile mit sich bringen. Der Ort des Frischlufteinlasses und die Umgebung wirken sich direkt auf die Menge der zugeführten Frischluft aus.

Bastelmaterialien. Reinigungsmittel, Lösungsmittel, Fotolacke, Klebstoffe, Schmiermittel usw. können während des Gebrauchs verdunsten. Unterschiedliche Materialien haben unterschiedliche Freisetzungskomponenten und -mengen, die in Verbindung mit spezifischen Prozessen analysiert werden müssen.

Gerätefreigabe. Materialien, Dichtungen, Kabel und Beschichtungen im Inneren von Geräten können bei Betriebstemperaturen Spuren organischer Stoffe freisetzen. Solche Quellen werden leicht übersehen, können jedoch Auswirkungen auf Präzisionsprozesse haben.

Personalaktivitäten. Atem, Schweiß, Kosmetika und Kleidungsfasern des Personals können bestimmte Gasbestandteile einbringen oder produzieren.

Reinigung und Wartung. Durch den Einsatz von Desinfektions- und Reinigungsmitteln sowie durch Wartungsarbeiten kann die Konzentration bestimmter Gase vorübergehend ansteigen.

Verwenden Sie bei der Identifizierung von Quellen eine Kombination aus Material- und Luftstromanalyse und nicht nur Gerüchen. Einige AMC-Inhaltsstoffe haben keinen offensichtlichen Geruch, können aber dennoch den Prozess beeinträchtigen.

Warum Prozessziele wichtiger sind

Das gleiche Gas hat unterschiedliche Auswirkungen auf verschiedene Produkte.

Prozesse im Zusammenhang mit der Fotolithografie können sich auf alkalische Komponenten (z. B. Ammoniak) konzentrieren, da alkalische Substanzen die Belichtungswirkung des Fotolacks beeinträchtigen können.

Beim Schutz elektronischer Geräte kann es zu Bedenken hinsichtlich korrosiver Gase wie schwefelhaltigen Verbindungen, Chloriden usw. kommen. Diese Komponenten können die Zuverlässigkeit von Metallleitungen und -kontakten beeinträchtigen.

Bei Präzisionsoptikern kann es zu Bedenken hinsichtlich der Ablagerung organischer Stoffe kommen, und bestimmte flüchtige Stoffe können einen Film auf der Linsenoberfläche bilden.

Bei der Herstellung von Halbleitern kann es zu Dotierstoffen (z. B. Bor- und Phosphorverbindungen) kommen, deren Vorhandensein in Spuren die elektrische Leistung des Geräts beeinträchtigen kann.

Daher sollten Kontrollprojekte um tatsächlich sensible Objekte herum aufgebaut werden, anstatt einen allgemeinen AMC-Indikator zu verfolgen. Unterschiedliche Prozessbereiche und unterschiedliche Geräte können eine völlig unterschiedliche Empfindlichkeit gegenüber AMC und bedenklichen Komponenten aufweisen. Spezifische Kontrollpläne finden Sie unter Produktpalette chemischer Filter . Beschreibung der

So verbinden Sie Erkennung und Filterung

Um AMC zu kontrollieren, müssen Sie zunächst verstehen, „was gemessen werden soll“ und „was kontrolliert werden soll“.

Identifizieren Sie die zu testenden Inhaltsstoffe. Handelt es sich um ein saures Gas, ein alkalisches Gas, eine organische Substanz oder einen bestimmten Dotierstoff? Probenahmemethoden, Analyseinstrumente und Nachweisgrenzen variieren je nach Komponente.

Bestimmen Sie den Konzentrationsbereich. Handelt es sich um ein normales Umweltniveau oder muss es auf eine extrem niedrige Konzentration kontrolliert werden? Der Konzentrationsbereich bestimmt die Wahl der Nachweismethode und die Gestaltung des Filtrationsschemas.

Wählen Sie einen Probenahmepunkt aus. Der Frischlufteinlass, die Abluft, die Schlüsselarbeitsplätze und die Geräteinnenräume spiegeln jeweils in unterschiedlichen Zusammenhängen die Schadstoffsituation wider. Die paarweise Probenahme von Ein- und Auslässen hilft bei der Bestimmung der Filtereffektivität.

Bestimmen Sie dann den Filterplan. Wählen Sie je nach Zielzusammensetzung, Konzentration, Luftvolumen und Auslassanforderungen das entsprechende chemische Filtermedium und die Konfigurationsmethode aus.

TVOC kann den Trend einiger organischer Verschmutzungen beobachten, aber es kann nicht saure Gase, Ammoniak und alle molekularen Verschmutzungen darstellen. Wenn das Projekt Anforderungen an bestimmte Inhaltsstoffe stellt, müssen diese separat getestet werden. involvierend kastenförmigen chemischen MAU-Filtern sollten die Probenahmestellen den Ein- und Auslass abdecken. Bei Frischluftaufbereitungsprojekten mit

Mehr als ein Kontrollmittel

Die chemische Filtration ist ein wichtiges Mittel zur AMC-Kontrolle, aber nicht das einzige Mittel.

Quellcodeverwaltung. Die Wahl von Materialien mit geringer Freisetzung, die Verbesserung von Prozessen und die Stärkung der lokalen Belüftung können die Entstehung von AMC aus der Quelle reduzieren. Dies ist oft wirtschaftlicher als die Terminalabwicklung.

Belüftungsverdünnung. Eine Erhöhung der Frischluftmenge oder der Anzahl der Luftwechsel kann die Konzentration verringern, der Energieverbrauch ist jedoch hoch und reicht möglicherweise nicht für bestimmte niedrige Konzentrationsanforderungen aus.

Chemische Filterung. Wählen Sie das geeignete Medium für das Zielgas aus und richten Sie einen Filterabschnitt im Gasströmungsweg ein. Geeignet für den Umgang mit Schadstoffen geringer Konzentration und verzögerter Freisetzung.

Optimierung der Luftstromorganisation. Ordnen Sie die Luftzufuhr-, Rückluft- und Abluftwege ordnungsgemäß an, um eine Ansammlung von Schadstoffen in sensiblen Bereichen zu vermeiden.

In tatsächlichen Projekten müssen diese Methoden normalerweise kombiniert verwendet werden. Es ist schwierig, alle AMC-Probleme mit einer Methode allein zu lösen. Spezifische Konfigurationsmethoden finden Sie unter FFU mit chemischem Filter oder Eine Erklärung des Unterschieds zwischen chemischen Filtern und HEPA-Filtern .

Beispiel für eine Projektbeurteilung

Ein bestimmter Gerätebereich hat den Partikeltest bestanden, es traten jedoch unbekannte Verunreinigungen auf der Oberfläche des Produkts auf.

Bei der Voruntersuchung wurde kein Partikelproblem festgestellt. Weitere Tests ergaben Spuren organischer Dämpfe in der Luft, die von Dichtungsmaterialien und Schmiermitteln im Inneren der Ausrüstung stammen. Diese organischen Verbindungen werden bei Betriebstemperaturen langsam freigesetzt und lagern sich auf der Produktoberfläche ab.

Behandlungsrichtung: Bestätigen Sie zunächst die Hauptverschmutzungskomponenten und bewerten Sie dann die Hinzufügung eines geeigneten chemischen Filterabschnitts zum Luftzufuhrweg des Geräts oder den Austausch von Materialien mit geringer Freisetzung. Das Partikelfiltersystem bleibt unverändert, da es nicht in der Lage ist, diese Art von Kontamination zu bewältigen.

Dieser Fall zeigt, dass qualifizierte Partikel nicht bedeuten, dass die Luft in Ordnung ist. AMC-empfindliche Prozesse erfordern separate Erkennungs- und Kontrollpläne.

Wichtige Punkte für die Auswahl- und Abnahmeprüfung

Über das AMC-Steuerungspaket von Aili Industrial

Die AMC-Kontrolle umfasst viele Zusammenhänge, von der Identifizierung und Erkennung von Verschmutzungen bis hin zu Filtrationslösungen, und es ist notwendig, die Prozessanforderungen mit den Systembedingungen in Einklang zu bringen.

Aili Industrial verfügt über unabhängige Fertigungskapazitäten für Filter, Motoren, Lüfter, Steuerungssysteme und Blechverarbeitung und kann chemische Filterproduktserien und unterstützende Luftversorgungsgeräte liefern. Bei Projekten, die eine AMC-Steuerung erfordern, können Zielgas, Konzentrationsbereich, Luftvolumen und Installationsbedingungen kombiniert werden, um die Überprüfung der Filterabschnittskonfiguration zu unterstützen. Wenn der Filter mit FFU, MAU und anderen Geräten kombiniert wird, können Widerstand, Schnittstelle und Wartungsmethoden einheitlich bestätigt werden.

Verwandte Produkte:Produktreihe chemischer Filter、Chemischer MAU-Kastenfilter、FFU wird mit chemischem Filter geliefert . Die Bereitstellung einer Liste der Zielverunreinigungen, Testanforderungen und Systembedingungen während der Anfrage hilft bei der Bestätigung der geeigneten Konfiguration. Die konkrete Auswahl erfolgt vorbehaltlich der durch das Projekt bestätigten technischen Unterlagen und Prüfergebnisse.