Что означает загрязнение воздуха AMC?

AMC — это аббревиатура «Молекулярное загрязнение воздуха», которое на китайском языке обычно называют молекулярным загрязнением воздуха.

Это относится к загрязнителям, которые существуют в молекулярной форме в воздухе. В отличие от частиц, эти загрязнения находятся на молекулярном уровне, невидимы невооруженным глазом и не обнаруживаются обычными счетчиками частиц. Они могут поступать из наружного воздуха, технологических материалов, выбросов оборудования или чистящих средств, а их компоненты включают кислые газы, щелочные газы, пары органических веществ, примеси и т. д.

Тот факт, что количество частиц в чистой комнате соответствует стандарту, не означает, что AMC также соответствует стандарту. Системы HEPA или ULPA могут очень хорошо контролировать частицы, но имеют мало возможностей для очистки газообразных загрязняющих веществ. Если процесс чувствителен к определенным молекулярным загрязнителям, его необходимо оценивать и контролировать индивидуально.

Каковы общие источники?

Источники AMC относительно сложны и часто не из одного канала.

наружный воздух. Промышленные выбросы, выхлопные газы и окружающие объекты могут приносить кислые газы, органические вещества или другие компоненты. Расположение приточного отверстия для свежего воздуха и окружающая среда напрямую влияют на количество подаваемого свежего воздуха.

Материалы для рукоделия. Чистящие средства, растворители, фоторезисты, клеи, смазочные материалы и т. д. могут испаряться во время использования. Различные материалы имеют разные компоненты и количества высвобождения, которые необходимо анализировать в сочетании с конкретными процессами.

Выпуск устройства. Материалы, уплотнения, кабели и покрытия внутри оборудования могут выделять следовые количества органических веществ при рабочих температурах. Такие источники легко упустить из виду, но они могут оказать влияние на прецизионные процессы.

кадровая деятельность. Дыхание персонала, пот, косметика и волокна одежды могут приносить или выделять определенные газовые компоненты.

Чистка и обслуживание. Использование дезинфицирующих и чистящих средств, а также операции во время технического обслуживания могут временно повысить концентрацию некоторых газов.

При выявлении источников используйте сочетание анализа материалов и потоков воздуха, а не только запахи. Некоторые ингредиенты AMC не имеют явного запаха, но все же могут влиять на процесс.

Почему цели процесса важнее

Один и тот же газ по-разному влияет на разные продукты.

Процессы, связанные с фотолитографией, могут быть сосредоточены на щелочных компонентах (таких как аммиак), поскольку щелочные вещества могут влиять на эффект экспонирования фоторезиста.

Защита электронного оборудования может быть связана с агрессивными газами, такими как серосодержащие соединения, хлориды и т. д. Эти компоненты могут влиять на надежность металлических линий и контактов.

В прецизионной оптике могут возникнуть проблемы с органическими отложениями, а некоторые летучие вещества могут образовывать пленку на поверхности линзы.

Производство полупроводников может иметь отношение к легирующим добавкам (таким как соединения бора и фосфора), и их присутствие в следовых количествах может повлиять на электрические характеристики устройства.

Таким образом, проекты контроля должны строиться вокруг реальных чувствительных объектов, а не гоняться за общим показателем КУА. Различные технологические участки и разное оборудование могут иметь совершенно разную чувствительность к AMC и вызывающим беспокойство компонентам. Конкретные планы управления см. ассортимента химических фильтров . Описание

Как подключить детектирование и фильтрацию

Чтобы управлять АМС, нужно сначала понять, «что измерять» и «что контролировать».

Определите ингредиенты, подлежащие тестированию. Это кислый газ, щелочной газ, органическое вещество или определенная присадка? Методы отбора проб, аналитические инструменты и пределы обнаружения различаются для разных компонентов.

Определите диапазон концентраций. Это нормальный уровень окружающей среды или его необходимо контролировать при крайне низкой концентрации? Диапазон концентраций определяет выбор метода обнаружения и конструкцию схемы фильтрации.

Выберите точку отбора проб. Приток свежего воздуха, возвратный воздух, ключевые рабочие места и внутренние помещения оборудования отражают ситуацию с загрязнением в различных звеньях. Парный отбор проб из входных и выходных отверстий помогает определить эффективность фильтрации.

Затем определите план фильтрации. В соответствии с целевым составом, концентрацией, объемом воздуха и требованиями к выпуску выберите соответствующий химический фильтрующий материал и метод настройки.

TVOC может наблюдать тенденцию некоторых органических загрязнений, но не может отражать кислый газ, аммиак и все молекулярные загрязнения. Если в проекте есть требования к конкретным ингредиентам, их необходимо тестировать отдельно. с участием химических фильтров коробчатого типа MAU точки отбора проб должны закрывать входное и выходное отверстия. В проектах по очистке свежего воздуха с использованием

Более одного средства контроля

Химическая фильтрация является важным, но не единственным средством контроля АМС.

Контроль источника. Выбор материалов с низким уровнем выбросов, улучшение процессов и усиление местной вентиляции могут снизить образование АМК из источника. Зачастую это более экономично, чем терминальная обработка.

Разбавление вентиляции. Увеличение объема свежего воздуха или количества замен воздуха может снизить концентрацию, но потребление энергии велико и может оказаться недостаточным для определенных требований низкой концентрации.

Химическая фильтрация. Выберите подходящую среду для целевого газа и установите секцию фильтра на пути потока газа. Подходит для обработки загрязнений низкой концентрации с устойчивым выделением.

Оптимизация организации воздушного потока. Правильно организуйте каналы подачи, возврата и вытяжки воздуха, чтобы избежать скопления загрязняющих веществ в чувствительных зонах.

В реальных проектах эти методы обычно необходимо использовать в сочетании. Трудно решить все проблемы КУА одним лишь методом. Конкретные методы настройки см. FFU с химическим фильтром или Объяснение разницы между химическими фильтрами и фильтрами HEPA .

Пример оценки проекта

Определенный участок оборудования выдержал испытание на частицы, но на поверхности продукта появились неизвестные загрязнения.

Предварительная проверка не выявила проблем с частицами. Дальнейшие испытания выявили следы органических паров в воздухе, происходящие из уплотнительных материалов и смазочных материалов внутри оборудования. Эти органические соединения медленно высвобождаются при рабочих температурах и откладываются на поверхности продукта.

Направление очистки: сначала подтвердите основные компоненты загрязнения, а затем оцените добавление соответствующей секции химического фильтра в путь подачи воздуха к оборудованию или замену материалов с низким уровнем выбросов. Система фильтрации частиц остается неизменной, поскольку она не способна справляться с загрязнениями такого типа.

Этот случай показывает, что квалифицированные частицы не означают, что воздух в порядке. Процессы, чувствительные к AMC, требуют отдельных планов обнаружения и контроля.

Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле

О пакете управления AMC компании Aili Industrial

Управление AMC включает в себя множество звеньев: от идентификации и обнаружения загрязнений до решений по фильтрации, и необходимо согласовывать технологические требования с условиями системы.

Aili Industrial имеет независимые производственные мощности по производству фильтров, двигателей, вентиляторов, систем управления и обработки листового металла, а также может предоставить серию продуктов для химических фильтров и вспомогательное оборудование для подачи воздуха. Для проектов, требующих управления AMC, целевой газ, диапазон концентрации, объем воздуха и условия установки можно объединить, чтобы облегчить проверку конфигурации секции фильтра. Когда фильтр сочетается с FFU, MAU и другим оборудованием, сопротивление, интерфейс и методы обслуживания могут быть подтверждены единообразно.

Сопутствующие товары:Серия химических фильтров、Химический фильтр коробки МАУ、FFU поставляется с химическим фильтром . Предоставление списка целевых загрязнителей, требований к тестированию и условий системы во время запроса поможет подтвердить соответствующую конфигурацию. Конкретный выбор зависит от технической документации и результатов испытаний, подтвержденных проектом.